ドライ真空ポンプのメーカーを一覧で紹介

ドライ真空ポンプを取扱している、おすすめのメーカー28社を一覧で紹介しています。

オイル不使用・幅広く使えるスクロール型
ドライ真空ポンプメーカー3選

※Googleで「ドライ真空ポンプ」と検索して表示されたすべてのメーカー(14社)の中で、スクロール型を製造している3社をピックアップしました(2023/06/19調査時点)。

アネスト岩田
無償トライアル&短納期(※1)
アルバック機工
小型真空ポンプが主力商品(※2)
オリオン機械
省エネ性能を重視(※3)
アネスト岩田公式HPキャプチャ 引用元:アネスト岩田公式HP(https://www.anest-iwata.co.jp/vacuum/)
アルバック機工公式HPキャプチャ 引用元:アルバック機工公式HP(https://ulvac-kiko.com/product.php)
オリオン機械公式HPキャプチャ 引用元:オリオン機械公式HP(https://www.orionkikai.co.jp/product/vacuum-pump/dry/)
製品の
最高到達圧力※
1Pa 1Pa 詳細不明
製品の
カスタマイズ
可能 ロット数次第で可能 可能
メンテナンス
頻度の目安
1年または
8,000時間ごと
1年または
5,000~8,000時間ごと
パーツによって
1年~6年ごと
修理見積り 無料 無料 記載なし
納期目安 最短納期:約1.5~3ヶ月
 ※製品・在庫状況などにより変動あり
記載なし 記載なし
納入事例
の記載
あり - -
公式HP
※1:3社の中で唯一無償トライアルを提供しており、。公式HPに記載されている標準納期が3社の中で最短 ※2:売り上げ全体の約80%が小型真空ポンプと小型真空機器で、 小型真空ポンプの分野では世界有数の専門メーカーの一つ。 ※3:業界初のインバータ搭載パッケージ型真空ポンプを製造し、インバータ制御により最大84%の省エネを実現。

アネスト岩田

低騒音・低振動なドライ真空ポンプをはじめ、メンテナンスサイクルにもこだわったドライ真空ポンプを展開しています。オイルフリータイプのドライ真空ポンプを強化し、業界を選ばず、使いやすい機種を多数取り揃えている会社です。

取扱製品の種類 スクロール型、ベーン型
会社所在地 神奈川県横浜市港北区新吉田町3176番地

アルバック機工

ダイヤフラム型のドライ真空ポンプはもちろん、メカニカルブースタータイプや油回転真空ポンプなど、多種多様な製品開発をしています。機種のバリエーションが多く、メンテナンス性にもこだわって開発をしている会社です。

取扱製品の種類 スクロール型、スクリュー型、ダイアフラム型、ルーツ型
会社所在地 宮崎県西都市大字茶臼原291-7

アンレット

省エネ性能にこだわった、ドライ真空ポンプを展開している会社です。1985年に開発されたドライルーツ式真空ポンプは、アンレット独自技術や視点を生かして開発。これまでに100種類以上の製品をプロデュースしています。

取扱製品の種類 ルーツ型
会社所在地 愛知県海部郡蟹江町宝1丁目25番地

オリオン機械

小型のドライ真空ポンプを多種多様に展開しています。運転音をできるだけ小さく、そして長く使えるような設計にこだわって開発。オイルフリーベーシックモデルや、クリーンな環境下で作業できるモデルを取り扱っている会社です。

取扱製品の種類 スクロール型、ベーン型、クロー型
会社所在地 長野県須坂市大字幸高246

ヤマト科学

ダイヤフラム型、空冷式ドライ真空ポンプをはじめ、業界ごとで使いやすい製品開発をしています。”科学技術進歩・発展のために”をコンセプトに展開。1889年創業の老舗会社で、これまでのノウハウを活かした開発をしています。

取扱製品の種類 スクロール型、ルーツ型、ダイアフラム型
会社所在地 東京都中央区晴海1-8-11 晴海トリトンスクエアY棟36階

ライボルト

ドイツに本社を構える、海外企業です。グローバールナ視点を生かし、世界中にドライ真空ポンプを展開しています。食品業界や研究開発に活躍する、ドライ真空ポンプを生産。マーケティング力も強く、ニーズにマッチする製品開発をしています。

取扱製品の種類 クロー型
会社所在地 神奈川県横浜市港北区新横浜3-233 新横浜AKビル4F

宇野澤組鐵工所

ドライ真空ポンプをはじめ、ロータリーブロワにも力をいれている会社です。創業は明治32年。時代の流れやニーズにあわせ、改良・開発を続けています。ドライ真空ポンプのノウハウや技術力にも期待できる会社です。

取扱製品の種類 ルーツ型
会社所在地 東京都大田区下丸子二丁目36-40

樫山工業

長野県に本社を構えるドライ真空ポンプ取扱会社です。真空技術を用いて、半導体製造業界に貢献しています。メカニカルブースターポンプの開発にも力をいれており、さまざまな業界で真空技術に貢献している会社です。

取扱製品の種類 スクリュー型、ルーツ型
会社所在地 長野県佐久市根々井1-1

佐藤真空

東京都に本社を置く、ドライ真空ポンプ取扱会社です。真空装置や真空計なども取り扱っています。ドライ真空ポンプは9種類の機種を展開。ニーズに応じて、より効率的な作業ができるような商品をプロデュースしています。

取扱製品の種類 ダイアフラム型
会社所在地 東京都品川区大井5丁目1番27号

柴田科学

環境測定機器や科学機器製品を展開している会社です。実験や研究に使いやすいドライ真空ポンプを開発しています。真空技術特化型ではなく、幅広い視野を活かした商品開発に力をいれている会社です。

取扱製品の種類 ダイアフラム型
会社所在地 東京都台東区池之端2-6-6

神港精機

ドライ真空ポンプや真空装置開発メインですが、検査装置も製造している会社です。スクリュー式や油回転真空ポンプをはじめ、多種多様なドライ真空ポンプを開発。業界問わず利用できる製品も、多数展開しています。

取扱製品の種類 スクリュー型
会社所在地 兵庫県神戸市西区高塚台3丁目1番35号

大晃機械工業

流体移送機器の総合メーカーとして、製品開発をしている会社です。ドライ真空ポンプをはじめ、歯車ポンプや遠心ポンプなど、幅広い商品を展開しています。産業用ドライ真空ポンプの開発に強みをもっている会社です。

取扱製品の種類 スクリュー型
会社所在地 山口県熊毛郡田布施町大字下田布施209-1

大阪真空機器製作所

愛知県に本社を構え、ドライ真空ポンプの技術開発を含め、グローバルに展開している会社です。導入先業界のニーズや利用状況をふまえ、商品開発をしています。産業問わずドライ真空ポンプを導入できる製品を展開している会社です。

取扱製品の種類 スクリュー型、空冷式
会社所在地 大阪市中央区今橋3丁目3番13号 ニッセイ淀屋橋イースト

Busch Vacuum Solutions(日本ブッシュ)

ドイツに本社を置く海外企業です。日本のみならず世界40カ国に展開。ドライ真空ポンプはもちろん、真空・加圧テクノロジーを組み合わせ、高真空をキープできる機種をプロデュースしています。

取扱製品の種類 スクリュー型、ベーン型、クロー型
会社所在地 神奈川県平塚市めぐみが丘1-23-33

荏原製作所

国内のみならず世界各国に拠点をおき、半導体製造やリーク検査などの用途に対応するドライ真空ポンプを製造しています。ユーザーに密着したサポート体制やオーバーホール品質で長期的に安定して使用できるのが魅力です。

取扱製品の種類 スクリュー型、ルーツ型
会社所在地 東京都大田区羽田旭町11-1

東製株式会社

スクリュー式ドライ真空ポンプを扱っており、半導体プロセスやケミカルプロセスなどの用途に適しています。装置導入時の指導サポートや定期点検、消耗品交換、改造、不具合対応など充実したアフターサポートがあるのが嬉しいポイントです。

取扱製品の種類 スクリュー型
会社所在地 千葉県習志野市茜浜一丁目12番4号

エドワーズ(EDWARDS)

真空ポンプ専門家が設計から保守まで対応しています。延長保証やリモート監視システムなども用意しており、装置導入後も安心して使用できるでしょう。また、エドワーズが認定した中古真空ポンプの販売も行っているため、予算が厳しい場合には中古購入を検討してみるのもおすすめです。

取扱製品の種類 スクロール型、スクリュー型、ルーツ型、クロー型
会社所在地 千葉県八千代市吉橋1078-1

ベッカーエアーテクノ

ドイツで創業し、日本では1994年に設立した会社です。真空ポンプなどの商品の販売・修理・サポートに対応しており、トラブル時にも迅速に対応してくれます。ロータリーベーン式ドライポンプ・スクリュー真空ポンプなど様々なタイプの真空ポンプを提供。

取扱製品の種類 ベーン型
会社所在地 東京都港区三田3-14-10三田3丁目 MTビル6F

Pfeiffer Vacuum(伯東株式会社)

Pfeiffer Vacuum(伯東株式会社)は世界初のターボポンプを開発した企業です。日本においては伯東株式会社がPfeiffer Vacuumの商品の総代理店を務めており、真空ポンプなど様々な商品を取り扱っています。要望・用途などに応じて、トータルソリューションで用途に合わせたプランを提案してくれます。

取扱製品の種類 スクロール型、ルーツ型、ダイアフラム型、スクリュー型
会社所在地 東京都新宿区新宿一丁目1番13号

サンプラテック

プラスチック製実験機器の開発で知られているサンプラテック。ダイアフラム型のドライ真空ポンプを製造しており、油蒸気の汚染のないクリーンな環境を実現できます。種類は排気速度の異なる4タイプのほか、小型タイプを用意しているのも特徴です。

取扱製品の種類 ダイアフラム型
会社所在地 大阪府大阪市北区同心2-1-3

KNF

ドイツで創設されたKNFはダイアフラムポンプの専門メーカーとして複数種類の真空ポンプを扱っています。医療機器メーカー向けのカスタマイズサービスも実施しており、さまざまな用途やニーズに応じたポンプを開発しています。故障時にはスピーディな修理対応が可能です。

取扱製品の種類 ダイアフラム型
会社所在地 東京都中央区新川1-16-14 アクロス新川ビル アネックス3F

日本ピスコ

ロータリ方式の真空ポンプを製造しています。低発塵性・低揮発性のクリーングリースを使用しており、給油の必要がありません。日本ピスコでは真空ポンプの無料貸し出しも行っているため、導入前に性能を試してみるのもおすすめです。

取扱製品の種類 ロータリ式
会社所在地 長野県岡谷市長地出早3-9-32

東京理化器械

軽量・コンパクトなドライ真空ポンプを取り扱っています。オイル交換不要でメンテナンスも3年に1回とコストが低いのが特徴。カスタマーセンターで購入前の相談からアフターサービスの受付まで対応しており、導入までしっかりサポートしてくれます。

取扱製品の種類 ダイアフラム型
会社所在地 東京都文京区小石川1-15-17 TN小石川ビル6F

D.V.P. Vacuum Technology s.p.a.(スコットプランニング)

D.V.P.社はイタリアの真空ポンプメーカーです。創業当初よりドライ真空ポンプの製造を行っており、扱う種類も豊富。日本では有限会社スコットプランニングが代理店として販売や修理対応を行っています。

取扱製品の種類 ベーン型、クロー型
会社所在地 (国内代理店)有限会社スコットプランニング:東京都足立区中川2-23-12

芝浦エレテック

日本各地にサービス拠点をもつ芝浦エレテック。真空ポンプではピストンポンプやルーツポンプを製造しており、メンテナンスも行っています。真空ポンプの分解洗浄や現在使用している真空ポンプの省エネ化にも対応可能。充実したサポートを受けながら、真空ポンプを長く安心して使用できるでしょう。

取扱製品の種類 ルーツ型、揺動ピストン型
会社所在地 神奈川県横浜市栄区笠間二丁目5番1号

三津海製作所

ロータリー式のモーター直結タイプ「MSV-200-3GV」やダイアフラム式の「MF-5」などを開発。高耐久・低騒音の真空ポンプを実現しており、故障の少ないポンプ提供に自信をもっています。顧客ニーズに対応する「マッチ・ザ・ポンプ」がモットー。

取扱製品の種類 ロータリー型、ダイアフラム型、ピストン型
会社所在地 東京都大田区東蒲田2-16-13

四葉機械製作所

独自の冷却技術を採用しており、直接ローター冷却方式によって安定したクリアランスと真空度を実現しています。腐食性ガスや高温ガスのほか、冷却水を温水に替えれば凝縮性ガスや凝固性ガスの吸引も可能です。

取扱製品の種類 ルーツ型
会社所在地 埼玉県桶川市赤堀2-15-8(東部工業団地内)

日本ビュッヒ

スイスに本社のあるビュッヒでは耐化学薬品性に優れた真空ポンプ「V-100」を開発しており、実験室用具の排気などで活用されています。コンパクトで軽量であり、設置やメンテナンスも簡単。真空ろ過などの用途でも用いられています。

取扱製品の種類 ダイアフラム型
会社所在地 東京都台東区池之端2-7-17 IMONビル3F

アジレント・テクノロジー

アジレント・テクノロジーでは、研究施設向けにドライ真空ポンプをはじめとした装置やサービスなどを提供。研究分野別のソリューションを幅広く揃えているほか、交換サービスや修理、アップグレードなど安定したパフォーマンスを維持するためのサポート体制も充実しています。

取扱製品の種類 スクロール型
会社所在地 東京都八王子市高倉町9-1

堀技研工業

国内外でガソリンペーパー回収施設などに利用されているVRU用真空ポンプの設計・開発・製造を行っています。独自の技術力とノウハウを活かしてクライアントのニーズに対して真空ポンプのオーダーメイドのサービスを提供しており、安全性や動作品質の向上にも妥協していません。

取扱製品の種類 VRU用真空ポンプ(ロータリー式・揺動式)
会社所在地 神奈川県藤沢市葛原2285番地

IWAKI

IWAKIは、多品種少量生産体制でケミカルポンプおよび流体制御機器の開発に取り組んでいるメーカーです。製品バリエーションの豊富さが特徴で、さまざまな用途に対応できるドライ真空ポンプを取り扱っています。日本国内だけでなく、アジアやアメリカ、ヨーロッパ、オセアニアなどにも拠点を構えているグローバルカンパニーです。

取扱製品の種類 ダイアフラム型
会社所在地 東京都千代田区神田須田町2-6-6 ニッセイ神田須田町ビル
オイル不使用・幅広く使えるスクロール型
ドライ真空ポンプメーカー3選

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食品製造向け

アネスト岩田の
DVSLシリーズ

DVSLシリーズ

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/dvsl-500e)

  • 排気経路内にベアリングが無いため、密閉性が向上し衛生面も安心
  • 真空状態でのネリが必要な製麺会社の要望に応えた実例あり
半導体製造向け

宇野澤組鐵工所の
KTSシリーズ

KTSシリーズ

引用元:宇野澤組鐵工所公式HP
(https://www.unozawa.co.jp/product/dry/)

  • 到達圧力:≦0.08Paという半導体製造に適した真空状態を実現
    ※KTS030-H(ECOタイプ)最大排気速度:500L/m、到達圧力:≦0.08Pa(2024/5/24時点)
  • スパッタリング装置、イオンプレーティング装置といった薄膜形成プロセスに対応
  • 水蒸気やミストといった小さな水滴もしっかり排出
製薬・化学品製造向け

東製のスクリュー式
ドライ真空ポンプ

スクリュー式ドライ真空ポンプ

引用元:東製HP
(https://www.dryvacuum-pump.com/wp/wp-content/uploads/anestiwata_dvsl-500e_image.png)

  • 化学反応、蒸留操作などに適した環境生成のため、さまざまな圧力領域に対応
  • 接ガス部は耐食性ガス対策のため、特殊コーティングすることにより錆から守る
  • 化学物質や粉塵の発生を考慮し、少ない部品で分解・組立・洗浄が可能
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。