ドライポンプと他の高真空ポンプの違い

ドライポンプとは、油や液体を使用しない真空ポンプです。従来の油回転ポンプだと、オイルミストや油の逆拡散によって空気汚染や油染みを発生させてしまうのが課題となっていました。一方でドライポンプは油の逆拡散の心配がないため、手軽にクリーンな真空を得ることが可能。

そのため、クリーン度が求められる電子・半導体産業やFPD産業などの分野で重宝されているほか、質量分析や電子顕微鏡などの分析装置、真空乾燥工程などさまざまな装置・用途でドライポンプの使用が進んでいます。

ドライポンプのメリットは、何と言っても油や液体を使用しないことです。油や液体の逆拡散の心配がないことでクリーンな真空を得られ、さらに油の補充・交換などといった定期メンテナンスも必要ありません。従来のポンプにあった油による汚染やメンテナンスの問題が解決されたことが、幅広い分野・用途でドライポンプが選ばれている理由です。

一方で、ドライポンプのデメリットは、従来の油回転ポンプと比べて、導入費や運転費が高くついてしまうこと。また、ドライポンプの種類によっては作動音が大きかったり、結構な発熱がみられたり、と使用場所を選んでしまうことも。そのため、ドライポンプの導入を検討する場合は、種類ごとのデメリットについても把握しておくことが大切です。

イオンポンプはノーブルポンプやスパッタイオンポンプとも呼ばれ、超・極高真空の発生に使用される代表的な真空ポンプの1つです。イオンポンプは強力な磁石をはじめ、ハニカム構造の陽極・チタン製の陰極で構成されており、そこに電場を印加する簡単な構造をしています。ロータリーポンプと違って機械可動部を持たないため、騒音や振動が発生しません。

機械的振動や騒音を起こさないことから、分析器や加速器、超・極高真空排気装置、電子線照射装置など幅広い分野で使用されています。

機械的可動部を持たないイオンポンプは機械的振動や騒音を発生させずに高真空を達成でき、さらにほかの機器の動作に影響を与えないというメリットがあります。また、電力だけで使用できるため、夜間の無人運転や遠隔操作に適しているという利点も。そのほか、オイルを使用しないので、油による汚染の心配もありません。

一方で、大流量での排気が難しく、あらかじめ別のポンプで高真空状態を作ってからでないと使用できないのが難点。そのほか、高電圧を使用すること、排気前にベーキングが必要であること、陰極の交換が必要になることなどがデメリットとしてあげられます。

イオンポンプは機械的振動や騒音を発生させないため、高真空と繊細なコントロールの両方が求められる電子顕微鏡や半導体製造装置用のポンプとして使用されています。そのほか、粒子加速器や核融合実験装置、宇宙環境試験装置、電子管などの真空保持ポンプなど、幅広い用途で用いられている真空ポンプです。