ここでは、ドライ真空ポンプを扱っている宇野澤組鐵工所について、製品例や特徴をまとめています。
ARJ型ロータリブロワ・真空ポンプ
排気速度 (50/60Hz) |
記載なし |
到達圧力 | 記載なし |
騒音値 | 記載なし |
TRVシリーズ
排気速度 (50/60Hz) |
1.0~9.5m3/min |
到達圧力 | 200~50Pa |
騒音値 | 要問合せ |
クリーンプロセス用ドライ真空ポンプの用途(理化学実験編)
宇野澤組鐵工所のクリーンプロセス用ドライ真空ポンプは、理化学実験用に多く使われています。その用途として、「分析装置」、「理化学実験装置」、「電子ビーム加工機」、「プラズマクリーニング装置」、「蒸着装置・スパッタリング装置」、「ロードロック排気用」、「クライオポンプの粗引・再生」、「TMPのバックポンプ」、「Heリークディテクタ」などがあります。
クリーンプロセス用ドライ真空ポンプの用途(半導体・一般産業編)
理化学実験用のほかには、半導体や一般産業向けの用途があります。「真空乾燥装置」、「真空脱気・脱泡」、「真空冷却」、「ガス循環・回収装置」、「ガス置換」、「真空吸着搬送」、「真空成形装置」、「各種粗引き用」、「真空包装機」、「その他クリーンな真空装置」など、一般的な用途のほか、半導体分野では「シリコン単結晶引上げ装置」に使われています。
ケミカルプロセス用ドライ真空ポンプの用途
宇野澤組鐵工所のケミカルプロセス用ドライ真空ポンプの用途としては、「溶剤回収」があり、「その他凝縮性ガスを取扱う真空装置」に使用されます。一般的な用途として、「真空蒸留・精製・濃縮」、「真空乾燥・脱水」もあります。「真空脱気・脱泡」、「真空冷却」、「真空吸着搬送」、「真空包装機」、「真空成形装置」の用途は、クリーンプロセス用ドライ真空ポンプの用途でもカバーしています。
接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。
多品種少量生産
宇野澤組鐵工所では、汎用品を生産することは少なく、多くは顧客のニーズに合わせた製品の生産です。また、宇野澤組鐵工所が生産するポンプの種類は非常に多く、大型のポンプから小型のポンプまで、約1000種類のポンプを製造しています。
長寿命の製品として使用できるよう、メンテナンスサービスを行っています。
クリーンプロセス用・汎用ドライ真空ポンプのラインナップ
宇野澤組鐵工所のクリーンプロセス用の汎用ドライ真空ポンプは、小型空冷ドライポンプ(KTSシリーズ)と大排気速度ドライポンプ(TSシリーズ)の2シリーズがあります。
KTSシリーズは、軽量・コンパクトで、「空冷式」です。耐久性のある「ルーツ式」でメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気が可能です。
TSシリーズは、大排気速度ですが、省エネタイプで、耐久性に優れています。
ケミカルプロセス用・汎用ドライ真空ポンプのラインナップ
ケミカルプロセス用は、縦型ドライ真空ポンプ(TRVシリーズ)とTRMシリーズです。
TRVシリーズは、凝縮性ガスに強く、耐食材質の選択が可能です。ガス流路が上から下へ流れる設計のため、ミストの流入やガスの凝縮液に対して強靭なポンプです。
TRMシリーズは、ルーツ式で、溶剤等の凝縮液の回収や凝縮性ガスの吸引が可能です。単体で約2~35㎥/分の広範な排気速度をカバーでき、耐食材質を選択できます。
社名 | 株式会社 宇野澤組鐵工所 |
所在地 | 東京都大田区下丸子二丁目36-40 |