現場条件別で選ぶドライ真空ポンプメーカー比較

荏原製作所

公式HPキャプチャ 引用元：荏原製作所公式HP（https://www.ebara.co.jp/）

ここでは、小型ドライ真空ポンプなどを扱っている「荏原製作所」について紹介しています。

ドライ真空ポンプの取扱製品例

荏原製作所_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元：荏原製作所公式HP（https://www.ebara.co.jp/products/details/EVL.html）

EV-L型

排気速度 10,000/18,000 L/min
到達圧力 0.5Pa
騒音値 記載なし
荏原製作所_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元：荏原製作所公式HP（https://www.ebara.co.jp/products/details/EVM.html）

EV-M型

排気速度 1,800～50,000L/min
到達圧力 5～0.5Pa
騒音値 記載なし

荏原製作所製ドライ真空ポンプの使用用途

半導体製造

半導体のエッチングやイオン注入、CVDなどの工程でドライ真空ポンプが用いられています。荏原のドライ真空ポンプは高負荷プロセスに対応可能なうえ、省エネルギーも実現しています。

分析

分析装置は工業製品や化学、医療などさまざまな分野で使用されています。荏原のドライ真空ポンプは小型かつ静音、クリーン排気設計のため研究室や実験室でも使いやすいのが特徴です。

リーク検査

包装容器などの密閉容器の漏れ検査、熱交換機などの冷媒輸送ライン検査などの用途があります。ヘリウムガスを用いて微量の漏れや微細な欠陥を検出しますが、荏原のドライ真空ポンプは小型設計で持ち運びも簡単。工場はもちろん研究室や実験室でも導入されています。

コーティング

工具や刃物のハードコーティングや、車載部品の摩擦軽減コーティング、メガネやガラスの光学コーティングなど幅広い産業で活用されています。

【現場の条件から探す】最適なドライ真空ポンプの選び方

ドライ真空ポンプにはメーカーや製品ごとに異なる「型式（構造）」や「強み」があります。

真空ポンプを選定する際は、単に「オイルフリー（ドライ）であること」だけでなく、「水蒸気を吸うのか」「防爆エリアに設置するのか」「粉塵や溶剤が混ざるのか」といった、現場の具体的な条件に合わせて最適な型式（スクロール式、ルーツ式、スクリュー式など）を選ぶことが、故障を防ぎ生産性を高めるための重要なポイントです。

当サイトでは「現場の課題・条件別」におすすめのドライ真空ポンプとその特徴を詳しく比較・紹介しています。

【現場条件別】
おすすめのドライ真空ポンプ
メーカー3選を見る

荏原製作所のドライ真空ポンプの特徴

顧客密着型の安定したサポート体制を構築

荏原製作所は世界数か国に多くのサービス拠点をもっており、顧客に密着したサポート体制を整えています。BCP（事業継続計画）対策にも取り組んでおり、安定的なサービスの提供に努めています。

オーバーホール品質で長期的な使用が可能

荏原製作所は1912年に創業して以来、「熱と誠」の精神のもと熱意と誠意に満ちたサービスを提供しています。その長年の経験と実績を活かし、オーバーホール品質を確保。製品を長期的に安心して使用できるようサポートしています。また、荏原製作所は世界各国に拠点をもっていますが、製品やサービスの品質にバラツキが出ないようエンジニア育成にも力を入れています。

トータルライフサイクルコスト低減を目指したサービスを提供

ドライ真空ポンプを含め、あらゆる技術は日々革新していくもの。荏原製作所は技術革新に対応できるよう、省エネモデルへの置換提案や改造提案などを実施。製品導入から廃棄までのトータルライフサイクルコストの低減につなげています。

荏原製作所の会社概要

社名 株式会社　荏原製作所
所在地 東京都大田区羽田旭町11-1
関連記事一覧
【防爆・腐食性ガス・大流量】
現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選

▼横にスクロールできます▼

防爆エリア設置向け

アネスト岩田の
ISPシリーズ

公式HPで
ポンプの詳細を見る

ISP-250E

引用元：アネスト岩田公式HP
（https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/isp-250e）
  • 防爆モーター搭載のカスタマイズに対応（ポンプ本体は標準仕様のため可燃性ガスの吸気は不可）
  • 大気と真空の繰り返し運転に強いスクロール式構造で、大気付近での連続運転にも対応
  • JALエンジニアリングのFRP成形現場での導入事例あり
製品のお見積もりや
仕様について問い合わせる
腐食性ガス吸引向け

樫山工業の
SDEシリーズ

公式HPで
ポンプの詳細を見る

SDEシリーズ

引用元：樫山工業公式HP
（https://www.kashiyama.com/pumps/product/sde/）
  • 塩素系を含む腐食性ガスの吸引に対応し、半導体や液晶製造装置のハードプロセスで使用
  • ポンプ構造材に耐食材料を採用、温度設定によるデポジット対策にも配慮した設計
  • CVD・スパッタ・蒸着・エッチング・ALDなど多様な半導体プロセスに対応
製品のお見積もりや
仕様について問い合わせる
大流量プロセス向け

大晃機械工業の
SDVシリーズ

公式HPで
ポンプの詳細を見る

SDVシリーズ

引用元：大晃機械工業公式HP
（https://www.taiko-kk.com/jp/vacuum/sdv/）
  • スクリュー式において世界最低速運転を実現するクインビー式（Queen Bee Screw）スクリュー採用
  • SDV-100の電動機定格は50Hz時18.5kW／60Hz時22kWで、大型装置・プラントに対応
  • 化学・医薬／自動車・電子部品／その他産業の業界別ラインアップが整備されている
製品のお見積もりや
仕様について問い合わせる
防爆・腐食性ガス・大流量など現場条件で選ぶ おすすめのドライ真空ポンプメーカーを紹介！

真空ポンプを選定する際は、単に「オイルフリー（ドライ）であること」だけでなく、「水蒸気を吸うのか」「防爆エリアに設置するのか」「粉塵や溶剤が混ざるのか」といった、現場の具体的な条件に合わせて最適な型式（スクロール式、ルーツ式、スクリュー式など）を選ぶことが重要です。
当サイトでは、「現場の課題・条件別」におすすめのドライ真空ポンプメーカーとその特徴を詳しく紹介しています。

【現場条件別】
おすすめのドライ真空ポンプ
メーカー3選を見る