【防爆・腐食性ガス・大流量】
現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選
荏原製作所
引用元：荏原製作所公式HP（https://www.ebara.co.jp/）ここでは、小型ドライ真空ポンプなどを扱っている「荏原製作所」について紹介しています。
ドライ真空ポンプの取扱製品例
引用元：荏原製作所公式HP（https://www.ebara.co.jp/products/details/EVL.html）EV-L型
| 排気速度 | 10,000/18,000 L/min |
| 到達圧力 | 0.5Pa |
| 騒音値 | 記載なし |
引用元：荏原製作所公式HP（https://www.ebara.co.jp/products/details/EVM.html）EV-M型
| 排気速度 | 1,800～50,000L/min |
| 到達圧力 | 5～0.5Pa |
| 騒音値 | 記載なし |
荏原製作所製ドライ真空ポンプの使用用途
半導体製造
半導体のエッチングやイオン注入、CVDなどの工程でドライ真空ポンプが用いられています。荏原のドライ真空ポンプは高負荷プロセスに対応可能なうえ、省エネルギーも実現しています。
分析
分析装置は工業製品や化学、医療などさまざまな分野で使用されています。荏原のドライ真空ポンプは小型かつ静音、クリーン排気設計のため研究室や実験室でも使いやすいのが特徴です。
リーク検査
包装容器などの密閉容器の漏れ検査、熱交換機などの冷媒輸送ライン検査などの用途があります。ヘリウムガスを用いて微量の漏れや微細な欠陥を検出しますが、荏原のドライ真空ポンプは小型設計で持ち運びも簡単。工場はもちろん研究室や実験室でも導入されています。
コーティング
工具や刃物のハードコーティングや、車載部品の摩擦軽減コーティング、メガネやガラスの光学コーティングなど幅広い産業で活用されています。
スクロール式のドライ真空ポンプを使うメリットとは？
接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。
荏原製作所のドライ真空ポンプの特徴
顧客密着型の安定したサポート体制を構築
荏原製作所は世界数か国に多くのサービス拠点をもっており、顧客に密着したサポート体制を整えています。BCP（事業継続計画）対策にも取り組んでおり、安定的なサービスの提供に努めています。
オーバーホール品質で長期的な使用が可能
荏原製作所は1912年に創業して以来、「熱と誠」の精神のもと熱意と誠意に満ちたサービスを提供しています。その長年の経験と実績を活かし、オーバーホール品質を確保。製品を長期的に安心して使用できるようサポートしています。また、荏原製作所は世界各国に拠点をもっていますが、製品やサービスの品質にバラツキが出ないようエンジニア育成にも力を入れています。
トータルライフサイクルコスト低減を目指したサービスを提供
ドライ真空ポンプを含め、あらゆる技術は日々革新していくもの。荏原製作所は技術革新に対応できるよう、省エネモデルへの置換提案や改造提案などを実施。製品導入から廃棄までのトータルライフサイクルコストの低減につなげています。
荏原製作所の会社概要
| 社名 | 株式会社 荏原製作所 |
| 所在地 | 東京都大田区羽田旭町11-1 |
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防爆エリア設置向け アネスト岩田の |
引用元：アネスト岩田公式HP |
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腐食性ガス吸引向け
樫山工業の |
引用元：樫山工業公式HP |
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大流量プロセス向け
大晃機械工業の |
引用元：大晃機械工業公式HP |
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