ドライ真空ポンプの連続運転

ドライ真空ポンプを連続運転させる目的は、ケースにより異なります。具体的には、以下の目的などが考えられます。

• 半導体製造ラインを24時間稼働させたい
• 医薬品を製造するため真空状態を維持したい
• 食品の製造工程で排気を連続的に行いたい

製造現場などで重要な役割を果たしていると考えられます。

ドライ真空ポンプは、次の理由から連続運転に適しているとされています。

• 液体関連の問題が起こりにくい
• 部品同士が接しない構造を採用している

一般的には油や水を使用しない設計により、液体の補充・交換の手間が省けます。さらに、ローターとシリンダーが接触しない非接触構造により、部品の摩耗が少なく、長期間の安定運転が可能です。ただし定期的なメンテナンスは必要です。

連続運転に向いているドライ真空ポンプとして以下の種類が挙げられます。

• スクリュー型ドライ真空ポンプ
• スクロール型ドライ真空ポンプ
• ダイアフラム型ドライ真空ポンプ

多くのメーカーが、連続運転を想定して設計しています。

到達圧力（8kPa［abs］以下）で、連続運転を行える高真空ドライポンプです。運転真空度の高さを特徴としています。小さな部品の自動機に適しているといえるでしょう。設計排気量が異なる4つのモデルを用意しています。

参照元：オリオン機械株式会社
（https://www.orionkikai.co.jp/product/vacuum-pump/dry/kha/）

大気圧で連続運転できる空冷式ドライ真空ポンプです。開放時排気速度は800L/min、水蒸気処理量は500g/hrに設計されています。到達付近まで一定の排気速度（1,000L/min）を維持できる点が特徴です。加速器の排気、高真空ポンプの補助など、さまざまな用途で用いられています。

参照元：IPROSものづくり
（https://www.osakavacuum.co.jp/products/detail0011.html）

100mbarまで連続運転できるロータリーベーン式の真空ポンプです。ロータリーベーン式の中でも潤滑性に優れるカーボンベーンを採用し、耐久性が高く、メンテナンス性に優れたモデルです。長寿命化ならびにメンテナンスコスト削減を目指す場合に適しています。

参照元：ベッカーエアーテクノ株式会社
（https://www.becker-international.com/jp/1422/vx-%E3%82%B7%E3%83%AA%E3%83%BC%E3%82%BA.htm）

半導体の製造ラインや食品の製造ラインなどでは、真空ポンプを連続運転させる場合があります。水やオイルを使用しないドライ真空ポンプは、液体関連のトラブルが発生しにくいため、連続運転に適しています。具体的には、スクリュー型やスクロール型、ダイアフラム型のドライ真空ポンプが連続運転に適しています。ただし他の種類でも、連続運転を想定して設計されている製品が少なくありません。各ポンプの性能や特性を比較検討し、用途に適したドライ真空ポンプの選定にお役立てください。

以下の記事では、ドライ真空ポンプの種類と業界別におすすめのドライ真空ポンプを紹介しています。これらの記事も参考にしてください。