ドライ真空ポンプの1段式と2段式の違い

ドライ真空ポンプには1段式と2段式の2種類があります。それぞれ性能や原理が異なるため、使いこなすためには種類ごとの違いを知り、自社にとってより役立つ方を選ばなければなりません。このページではドライ真空ポンプの1段式と2段式の違いと、それぞれの製品事例についてご紹介します。

1段式と2段式のドライ真空ポンプの違いとは?

ポンプ室のつなぎ方の違い

ドライ真空ポンプにおける1段式と2段式の基本的な違いは、ポンプ室のつなぎ方にあります。1段式は2つのポンプ室が並列につながれており、2段式は2組のつなぎ方が直列です。またポンプ室が1つしかないものもありますが、この場合は1段式となります。

到達圧力の違い

到達圧力においては1段式の方が高くなります。ドライ真空ポンプの能力をはかる上で必要となる値であるのが到達圧力です。数値が高い方が、より真空状態に近づけられるということになります。もし高いものを求めているようであれば、1段式を導入するのが適しているでしょう。

排気速度の違い

排気速度においても違いが生じます。排気速度がより大きいのは1段式で、2段式においては小さくなります。排気速度は到達圧力とともに、ドライ真空ポンプの性能を決めるための要素のひとつです。数値が大きいほど真空になるまでの速度が早くなるため、1段式の方がより早く、完全な真空状態に近づけられるということになります。

1段式と2段式のドライ真空ポンプの製品事例

【アズワン】3-6719-01 ドライ真空ポンプ (耐蝕タイプ) 1段式 GM-20S-AC

1段式のドライポンプです。圧力ゲージがついているため真空度を簡単に確認できるだけでなく、リークバルブによる真空度調節ができることが特徴と言えます。またオイルフリーのためコンタミネーションの不安がなく、PTEE塗装採用による耐食性の高さも魅力です。

【ULVAC】ダイアフラム型ドライ真空ポンプDA・DAP・DATシリーズ 1段式

こちらも1段式です。低価格なスタンダードモデルであり、初めてドライ真空ポンプを導入したいと考えた際にも適しています。サーマルプロテクターが内蔵されているため危険性が低く、大気圧からの作動もできます。シンプルな構造であるため、メンテナンスにも労を要しません。

【アズワン】3-6719-02 ドライ真空ポンプ (耐蝕タイプ) 2段式 GM-20D-AC

リークバルブと圧力ゲージつきで、真空度の調節と確認が可能であるモデルの2段式タイプです。ロータリーエバポレーターやクロマトグラムの真空を行う用途に適しています。同じシリーズにて1段式もありますが、2段式でも排気量は変わりません。

【アントレット】ドライルーツ式真空ポンプ FT2

小型・低騒音で、省エネ性能が高いのが特徴のドライ真空ポンプです。配管が内蔵されているタイプで、型式は4種類あります。型式によりサイズや重量が異なるため、用途に応じて適したものを選べるでしょう。

用途に合うドライ真空ポンプを選ぼう!

ドライ真空ポンプには1段式、2段式と種類により違いがあります。到達圧力と排気速度は1段式のほうが優れていると言えますが、選ぶうえで大切なことは、それぞれの用途に合わせて選ぶことです。目的を考え、どちらのタイプが適しているのかを考慮してから選ぶと失敗がないでしょう。

当サイトではこれからドライ真空ポンプを導入したいと考えた際に役立つ、メーカーの比較記事や選び方のコツなどの情報を掲載しています。選び方に迷ったとき、導入するべきかどうか迷ったときに役立つ記事なので、ぜひ参考にして納得のいくドライ真空ポンプ選びを進めてください。

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【防爆・腐食性ガス・大流量】
現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選

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防爆エリア設置向け

アネスト岩田の
ISPシリーズ

ISP-250E

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/isp-250e)

  • 防爆モーター搭載のカスタマイズに対応(ポンプ本体は標準仕様のため可燃性ガスの吸気は不可)
  • 大気と真空の繰り返し運転に強いスクロール式構造で、大気付近での連続運転にも対応
  • JALエンジニアリングのFRP成形現場での導入事例あり
腐食性ガス吸引向け

樫山工業の
SDEシリーズ

SDEシリーズ

引用元:樫山工業公式HP
(https://www.kashiyama.com/pumps/product/sde/)

  • 塩素系を含む腐食性ガスの吸引に対応し、半導体や液晶製造装置のハードプロセスで使用
  • ポンプ構造材に耐食材料を採用、温度設定によるデポジット対策にも配慮した設計
  • CVD・スパッタ・蒸着・エッチング・ALDなど多様な半導体プロセスに対応
大流量プロセス向け

大晃機械工業の
SDVシリーズ

SDVシリーズ

引用元:大晃機械工業公式HP
(https://www.taiko-kk.com/jp/vacuum/sdv/)

  • スクリュー式において世界最低速運転を実現するクインビー式(Queen Bee Screw)スクリュー採用
  • SDV-100の電動機定格は50Hz時18.5kW/60Hz時22kWで、大型装置・プラントに対応
  • 化学・医薬/自動車・電子部品/その他産業の業界別ラインアップが整備されている
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
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