樫山工業

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。

樫山工業は、真空技術の分野では、特にドライ真空ポンプに力を入れており、ドライ真空ポンプのラインナップが豊富にそろっています。
酸やアルカリ、プラズマなどが存在するような厳しい環境にも耐えられる、耐プロセス仕様を得意としています。溶剤が含まれるような排気でも対応できるかなど、相談にも応じてくれます。

半導体製造など、クリーンな環境が必要とされる分野に、ドライ真空ポンプを提供しています。ドライ真空ポンプは、潤滑オイルを使わないため、排気にオイルが含まれず、クリーンな環境を保つことができます。
1946年創業の樫山工業は、長年の経験と、流体の研究・技術をもとにした真空技術で、半導体業界から高い評価を得ています。

よりクリーンな環境を必要とする、素粒子物理学などの実験を行う加速器施設や、大学・研究機関からの引き合いも多くなっています。
特に新型機種である「NeoDry100E」は、研究機関への納入実績が多くなっています。
東京大学、京都大学などの国立大学をはじめ、J-PARC、SACLAなどの加速器施設、高エネルギー加速器研究機構、産業技術総合研究所などの研究機関への納入実績があります。