現場条件別で選ぶドライ真空ポンプメーカー比較

樫山工業

樫山工業公式HPキャプチャ 引用元：樫山工業公式HP（https://www.kashiyama.com/）

ここでは、ドライ真空ポンプを扱っている樫山工業について、製品例や特徴をまとめています。

ドライ真空ポンプの取扱製品例

樫山工業_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元：樫山工業公式HP（https://www.kashiyama.com/pumps/product/）

スクリュー型・SDEシリーズ

排気速度 1,300～100,000L/min
到達圧力 1.3～0.5Pa
騒音値 記載なし
樫山工業_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元：【PDF】樫山工業公式カタログ（https://www.kashiyama.com/images/neodry_G_ver053_ja.pdf?20220815131148）

多段ルーツ型・NeoDry Eシリーズ

排気速度 110～5,000L/min
到達圧力 5.0～0.3Pa
騒音値 ≦56～≦72dB(A)
樫山工業_SDシリーズ製品画像 引用元：樫山工業公式HP（https://www.kashiyama.com/pumps/product/sd/）

SDシリーズ

排気速度
（50/60Hz）		 10,000〜100,000L/min
到達圧力 0.3～0.5Pa
騒音値 要問合せ
樫山工業_MUシリーズ製品画像 引用元：樫山工業公式HP（https://www.kashiyama.com/pumps/product/mu/）

MUシリーズ

排気速度
（50/60Hz）		 10,000〜50,000L/min
到達圧力 0.5Pa
騒音値 要問合せ
樫山工業_MU-PE/HE シリーズ製品画像 引用元：樫山工業公式HP（https://www.kashiyama.com/pumps/product/mu-ph/）

MU-PE/HE シリーズ

排気速度
（50/60Hz）		 1,660〜10,000L/min
到達圧力 0.5～3.0Pa
騒音値 要問合せ
樫山工業_MU-XE シリーズ製品画像 引用元：樫山工業公式HP（https://www.kashiyama.com/pumps/product/mu-xe/）

MU-XE シリーズ

排気速度
（50/60Hz）		 1,660〜20,000L/min
到達圧力 0.5～1.5Pa
騒音値 要問合せ
樫山工業_SDLシリーズ製品画像 引用元：樫山工業公式HP（https://www.kashiyama.com/pumps/product/sdl/）

SDLシリーズ

排気速度
（50/60Hz）		 25,000〜60,000L/min
到達圧力 0.8Pa
騒音値 要問合せ
樫山工業_NeoDry Gシリーズ製品画像 引用元：樫山工業公式HP（https://www.kashiyama.com/pumps/product/neodry-g/）

NeoDry Gシリーズ

排気速度
（50/60Hz）		 110〜600L/min
到達圧力 0.7～5.0Pa
騒音値 要問合せ
樫山工業_LEH/LEM シリーズ製品画像 引用元：樫山工業公式HP（https://www.kashiyama.com/pumps/product/leh-lem/）

LEH/LEM シリーズ

排気速度
（50/60Hz）		 6.5～300m3/min
到達圧力 2.7×103～7.3×103Pa
騒音値 要問合せ

樫山工業社製ドライ真空ポンプの使用用途

半導体や液晶の製造分野での用途

プラズマなどからの耐プロセス性能に優れる樫山工業のドライ真空ポンプは、半導体や液晶分野を得意としており、「プラズマクリーナ」としてなどの用途で、広く使用されています。プラズマクリーナは、ガスプラズマのエッチング効果を利用して、半導体や液晶など、洗浄対象物の表面をクリーニングするシステムです。

現代の幅広い分野での用途

樫山工業のドライ真空ポンプは、耐プロセス、大排気量、省エネに、優れた性能をもっています。そのため、研究機関、医療機関など、現代の幅広い分野から引き合いがあります。
その用途を挙げると、たとえば、「電子顕微鏡」、「加速器」、「質量分析器」、「遠心分離機」、「凍結乾燥」、「エバポレータ」、「ターボ分子ポンプのバックポンプ」、「水蒸気排気」、「溶剤排気」、「ヘリウム排気」などがあります。

乾燥・包装・成型・搬送など

そのほか、通常の真空ポンプの用途にも対応しています。
対応している用途には、真空乾燥、電極乾燥、真空脱泡などの「乾燥」や「脱泡」、真空包装、真空充填などの「包装」、真空成型、吸着搬送などの「成型」や「搬送」などがあり、そのほか、「蒸着」、「ガス置換」などにも対応しています。

スクロール式のドライ真空ポンプを使うメリットとは？

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。

幅広く使える
スクロール式ドライ真空ポンプ
メーカー3選を見る

樫山工業のドライ真空ポンプの特徴

耐プロセスのドライ真空ポンプに力を入れている

樫山工業は、真空技術の分野では、特にドライ真空ポンプに力を入れており、ドライ真空ポンプのラインナップが豊富にそろっています。
酸やアルカリ、プラズマなどが存在するような厳しい環境にも耐えられる、耐プロセス仕様を得意としています。溶剤が含まれるような排気でも対応できるかなど、相談にも応じてくれます。

半導体製造プロセスでの評価が高い

半導体製造など、クリーンな環境が必要とされる分野に、ドライ真空ポンプを提供しています。ドライ真空ポンプは、潤滑オイルを使わないため、排気にオイルが含まれず、クリーンな環境を保つことができます。
1946年創業の樫山工業は、長年の経験と、流体の研究・技術をもとにした真空技術で、半導体業界から高い評価を得ています。

研究機関への納入が多い

よりクリーンな環境を必要とする、素粒子物理学などの実験を行う加速器施設や、大学・研究機関からの引き合いも多くなっています。
特に新型機種である「NeoDry100E」は、研究機関への納入実績が多くなっています。
東京大学、京都大学などの国立大学をはじめ、J-PARC、SACLAなどの加速器施設、高エネルギー加速器研究機構、産業技術総合研究所などの研究機関への納入実績があります。

樫山工業の会社概要

社名 樫山工業株式会社
所在地 長野県佐久市根々井1-1
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防爆エリア設置向け

アネスト岩田の
ISPシリーズ

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ISP-250E

引用元：アネスト岩田公式HP
（https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/isp-250e）
  • 防爆モーター搭載のカスタマイズに対応（ポンプ本体は標準仕様のため可燃性ガスの吸気は不可）
  • 大気と真空の繰り返し運転に強いスクロール式構造で、大気付近での連続運転にも対応
  • JALエンジニアリングのFRP成形現場での導入事例あり
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腐食性ガス吸引向け

樫山工業の
SDEシリーズ

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SDEシリーズ

引用元：樫山工業公式HP
（https://www.kashiyama.com/pumps/product/sde/）
  • 塩素系を含む腐食性ガスの吸引に対応し、半導体や液晶製造装置のハードプロセスで使用
  • ポンプ構造材に耐食材料を採用、温度設定によるデポジット対策にも配慮した設計
  • CVD・スパッタ・蒸着・エッチング・ALDなど多様な半導体プロセスに対応
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大流量プロセス向け

大晃機械工業の
SDVシリーズ

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SDVシリーズ

引用元：大晃機械工業公式HP
（https://www.taiko-kk.com/jp/vacuum/sdv/）
  • スクリュー式において世界最低速運転を実現するクインビー式（Queen Bee Screw）スクリュー採用
  • SDV-100の電動機定格は50Hz時18.5kW／60Hz時22kWで、大型装置・プラントに対応
  • 化学・医薬／自動車・電子部品／その他産業の業界別ラインアップが整備されている
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さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目！

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
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