大阪真空機器製作所

大阪真空機器製作所公式HPキャプチャ 引用元:大阪真空機器製作所公式HP(https://www.osakavacuum.co.jp/)

ここでは、ドライ真空ポンプを扱っている大阪真空機器製作所について、製品例や特徴をまとめています。

ドライ真空ポンプの取扱製品例

大阪真空機器製作所_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:大阪真空機器製作所公式HP(https://www.osakavacuum.co.jp/products/)

FR060D

排気速度
(50/60Hz)
記載なし
到達圧力 記載なし
騒音値 記載なし
大阪真空機器製作所_DSP251製品画像 引用元:大阪真空機器製作所公式HP(https://www.osakavacuum.co.jp/products/detail0081.html)

DSP251

排気速度
(50/60Hz)
200~230L/min
到達圧力 0.5~2Pa
騒音値 要問合せ

大阪真空機器製作所社製ドライ真空ポンプの使用用途

空冷式シリーズ(FR060D)の用途

「乾燥」、「吸着・搬送」、「封止・封着」のほか、「小型実験の排気用」、「ロードロック室」、「分析・測定装置の排気」などがあります。大型実験施設では、「加速器の排気」、「電子銃源」、「イオン銃源排気」、「ターボ分子ポンプなどの高真空ポンプの補助ポンプ」などに、半導体分野では「スパッタ蒸着などのPVD(蒸着)装置排気」、原子力発電では「小型炉排気」などに使われます。

EcopositiVシリーズ(ER100D/ER100DC)の用途

「クリーン排気」、「吸着搬送システム」のほか、「小型実験装置排気」、「ロードロック室」、「分析・測定装置の排気」、「搬送室排気」などがあります。大型実験施設では、「ターボ分子ポンプなど高真空ポンプの補助ポンプ」、「電子銃源」、「イオン銃源排気」、半導体分野では、「スパッタ装置粗引き」、原子力発電では「小型炉排気」などがあります。

コンパクトシリーズ(DSP251 / DSP501,DSP50/DSP250/DSP500)の用途

「一般産業」や「R&D」で使われるほか、実験室や医療分野で、「ロードロック室排気」、「搬送室排気」、「分析機器」、「SEM(走査型電子顕微鏡)」、「医療装置」などの用途に使われています。また、大型実験施設での用途として、「加速器」、「イオン源」、「電子銃排気」、半導体分野での用途として、「リソグラフィ」、「PVD(蒸着)」などがあります。

スクロール式のドライ真空ポンプを使うメリットとは?

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。

大阪真空機器製作所のドライ真空ポンプの特徴

大気圧下での連続運転と水蒸気の吸入・排気が可能

大阪真空機器製作所のドライ真空ポンプは、「空冷式シリーズ」、「EcopositiVシリーズ」、「コンパクトシリーズ」という、3つのシリーズで展開されています。
そのうち、「空冷式シリーズ(FR060D)」は、大気圧下での連続運転が可能で、水蒸気の吸入や排気が可能であることが大きな特徴です。
冷却水を使わない空冷仕様で、目的とする圧力に達するまで一定の排気速度を維持し、排気時間を短縮しています。

省エネ・省スペース

「EcopositiVシリーズ(ER100D/ER100DC)」は、省エネルギー型のドライ真空ポンプで、到達圧力時の消費電力は、400Wです。同時に、小型化・軽量化も実現しており、設置面積は0.11㎡、重量は60kgです。
耐食仕様を選択でき、軽負荷・クリーンプロセスの排気には「ER100D」、腐食性ガスの排気には「ER100DC」を選択できます。
回転数制御機能も搭載しています。

手軽に持ち運べるポータブルタイプ

「コンパクトシリーズ」は、新製品の「DSP251 / DSP501」と、従来品の「DSP50/DSP250/DSP500」の2展開です。手軽に持ち運べるポータブルタイプで、重量は15~20kgです。冷却水を使わない空冷仕様で、軸受寿命が20000時間以上の長寿命です。低コスト、省エネルギーも魅力です。

大阪真空機器製作所の会社概要

社名 株式会社大阪真空機器製作所
所在地 大阪市中央区今橋3丁目3番13号 ニッセイ淀屋橋イースト
オイル不使用・幅広く使えるスクロール型
ドライ真空ポンプメーカー3選

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食品製造向け

アネスト岩田の
DVSLシリーズ

DVSLシリーズ

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/dvsl-500e)

  • 排気経路内にベアリングが無いため、密閉性が向上し衛生面も安心
  • 真空状態でのネリが必要な製麺会社の要望に応えた実例あり
半導体製造向け

宇野澤組鐵工所の
KTSシリーズ

KTSシリーズ

引用元:宇野澤組鐵工所公式HP
(https://www.unozawa.co.jp/product/dry/)

  • 到達圧力:≦0.08Paという半導体製造に適した真空状態を実現
    ※KTS030-H(ECOタイプ)最大排気速度:500L/m、到達圧力:≦0.08Pa(2024/5/24時点)
  • スパッタリング装置、イオンプレーティング装置といった薄膜形成プロセスに対応
  • 水蒸気やミストといった小さな水滴もしっかり排出
製薬・化学品製造向け

東製のスクリュー式
ドライ真空ポンプ

スクリュー式ドライ真空ポンプ

引用元:東製HP
(https://www.dryvacuum-pump.com/wp/wp-content/uploads/anestiwata_dvsl-500e_image.png)

  • 化学反応、蒸留操作などに適した環境生成のため、さまざまな圧力領域に対応
  • 接ガス部は耐食性ガス対策のため、特殊コーティングすることにより錆から守る
  • 化学物質や粉塵の発生を考慮し、少ない部品で分解・組立・洗浄が可能
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。