大阪真空機器製作所

ドライ真空ポンプの事例は見つかりませんでした。

金属の表面処理に使用された事例です。大阪真空の真空蒸着法やイオンプレーティング法、スパッタ法で使用されるターボ分子ポンプは国内外にある多くの装置メーカーで採用されています。採用している装置メーカーの一つに、30年以上にもわたってアメリカにおいて高性能 PVD ハードコーティングのサプライヤーとして評価されているVergason Technology社があります。
参照元：https://www.osakavacuum.co.jp/case_study/00934.html

ポリオレフィン高機能フィルム製造プラントにおいて、真空蒸留により有機溶剤を回収する工程に用いられた封液循環型（閉サイクル）の液封式真空ポンプの事例です。有機溶剤の温度を上げてしまうと変質する恐れがある工程になりますが、真空蒸留では減圧することで温度を上げず有機溶剤を蒸発させ、回収することができます。
参照元：https://www.osakavacuum.co.jp/case_study/00853.html

約65年にもわたる真空機器の実績と経験が評価され、粒子線治療に使用する加速器の真空排気系に真空機器・排気システムが採用された事例です。治療用の加速器であることから耐放射線と高い信頼性が求められます。そういった厳しい条件の下、ターボ分子ポンプだけではなく真空機器全般のシステムや制御盤・制御シーケンスを含めた設計・制作を担っています。
参照元：https://www.osakavacuum.co.jp/case_study/00476.html

大阪真空機器製作所では用途に合った真空製品の提供・充実したカスタマーサポート・規制への迅速な対応を強みとしています。そのサポートネットワークは世界中に広がっているとともに、さまざまなイベント出展なども精力的に行っています。

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。

大阪真空機器製作所のドライ真空ポンプは、「空冷式シリーズ」、「EcopositiVシリーズ」、「コンパクトシリーズ」という、3つのシリーズで展開されています。
そのうち、「空冷式シリーズ（FR060D）」は、大気圧下での連続運転が可能で、水蒸気の吸入や排気が可能であることが大きな特徴です。
冷却水を使わない空冷仕様で、目的とする圧力に達するまで一定の排気速度を維持し、排気時間を短縮しています。

「EcopositiVシリーズ（ER100D/ER100DC）」は、省エネルギー型のドライ真空ポンプで、到達圧力時の消費電力は、400Wです。同時に、小型化・軽量化も実現しており、設置面積は0.11㎡、重量は60kgです。
耐食仕様を選択でき、軽負荷・クリーンプロセスの排気には「ER100D」、腐食性ガスの排気には「ER100DC」を選択できます。
回転数制御機能も搭載しています。

「コンパクトシリーズ」は、新製品の「DSP251 / DSP501」と、従来品の「DSP50/DSP250/DSP500」の2展開です。手軽に持ち運べるポータブルタイプで、重量は15～20kgです。冷却水を使わない空冷仕様で、軸受寿命が20000時間以上の長寿命です。低コスト、省エネルギーも魅力です。