ここでは、ドライ真空ポンプを扱っている大阪真空機器製作所について、製品例や特徴をまとめています。
FR060D
排気速度 (50/60Hz) |
記載なし |
到達圧力 | 記載なし |
騒音値 | 記載なし |
DSP251
排気速度 (50/60Hz) |
200~230L/min |
到達圧力 | 0.5~2Pa |
騒音値 | 要問合せ |
空冷式シリーズ(FR060D)の用途
「乾燥」、「吸着・搬送」、「封止・封着」のほか、「小型実験の排気用」、「ロードロック室」、「分析・測定装置の排気」などがあります。大型実験施設では、「加速器の排気」、「電子銃源」、「イオン銃源排気」、「ターボ分子ポンプなどの高真空ポンプの補助ポンプ」などに、半導体分野では「スパッタ蒸着などのPVD(蒸着)装置排気」、原子力発電では「小型炉排気」などに使われます。
EcopositiVシリーズ(ER100D/ER100DC)の用途
「クリーン排気」、「吸着搬送システム」のほか、「小型実験装置排気」、「ロードロック室」、「分析・測定装置の排気」、「搬送室排気」などがあります。大型実験施設では、「ターボ分子ポンプなど高真空ポンプの補助ポンプ」、「電子銃源」、「イオン銃源排気」、半導体分野では、「スパッタ装置粗引き」、原子力発電では「小型炉排気」などがあります。
コンパクトシリーズ(DSP251 / DSP501,DSP50/DSP250/DSP500)の用途
「一般産業」や「R&D」で使われるほか、実験室や医療分野で、「ロードロック室排気」、「搬送室排気」、「分析機器」、「SEM(走査型電子顕微鏡)」、「医療装置」などの用途に使われています。また、大型実験施設での用途として、「加速器」、「イオン源」、「電子銃排気」、半導体分野での用途として、「リソグラフィ」、「PVD(蒸着)」などがあります。
接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。
大気圧下での連続運転と水蒸気の吸入・排気が可能
大阪真空機器製作所のドライ真空ポンプは、「空冷式シリーズ」、「EcopositiVシリーズ」、「コンパクトシリーズ」という、3つのシリーズで展開されています。
そのうち、「空冷式シリーズ(FR060D)」は、大気圧下での連続運転が可能で、水蒸気の吸入や排気が可能であることが大きな特徴です。
冷却水を使わない空冷仕様で、目的とする圧力に達するまで一定の排気速度を維持し、排気時間を短縮しています。
省エネ・省スペース
「EcopositiVシリーズ(ER100D/ER100DC)」は、省エネルギー型のドライ真空ポンプで、到達圧力時の消費電力は、400Wです。同時に、小型化・軽量化も実現しており、設置面積は0.11㎡、重量は60kgです。
耐食仕様を選択でき、軽負荷・クリーンプロセスの排気には「ER100D」、腐食性ガスの排気には「ER100DC」を選択できます。
回転数制御機能も搭載しています。
手軽に持ち運べるポータブルタイプ
「コンパクトシリーズ」は、新製品の「DSP251 / DSP501」と、従来品の「DSP50/DSP250/DSP500」の2展開です。手軽に持ち運べるポータブルタイプで、重量は15~20kgです。冷却水を使わない空冷仕様で、軸受寿命が20000時間以上の長寿命です。低コスト、省エネルギーも魅力です。
社名 | 株式会社大阪真空機器製作所 |
所在地 | 大阪市中央区今橋3丁目3番13号 ニッセイ淀屋橋イースト |