ドライ真空ポンプには、防爆仕様のものがあります。爆発する危険性がある場所で使用される真空ポンプです。ここではドライ真空ポンプの防爆仕様の特徴と製品事例を紹介します。
防爆仕様のドライ真空ポンプには、以下の特徴があります。
防爆仕様のドライ真空ポンプは、以下のような場所で使用されます。
| 排気速度(50/60Hz) | 970~5000L/min |
| 到達圧力 | 0.6~1.0Pa |
| 騒音値 | — |
| 防爆等級 / 保護等級 | — |
| 対応ガス種 | 凝固性ガス・粉体含むプロセスに対応 |
独自で開発したスクリューローターを搭載し、メンテナンス性にも優れています。ドライポンプには向いていないといわれていた凝固性ガス・粉体・生成物なども吸引でき、高い排出性と耐久性をかなえているのが特徴です。
参照元:MEKASYS公式HP
(https://www.mekasys.jp/series/detail/id/SKS_0006)
| 排気速度(50/60Hz) | 50~1000L/min |
| 到達圧力 | 20~1Pa |
| 騒音値 | 48~67dB(A) |
| 防爆等級 / 保護等級 | — |
| 対応ガス種 | クリーン・水蒸気排気・分析機器 |
ドライスクロール真空ポンプは、シンプルな構造で費用や時間を抑えて整備できるのが特徴です。またシール材のみが消耗品なので、定期的にメンテナンスしていれば長く使用できます。
参照元:アネスト岩田株式会社公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/vacuum/)

| 排気速度(50/60Hz) | 1030~3100L/min |
| 到達圧力 | 5.0Pa |
| 騒音値 | — |
| 防爆等級 / 保護等級 | 防爆モータ選択可(仕様選定による) |
| 対応ガス種 | 一般産業・高負荷プロセス |
GRシリーズは、一般産業向けに設計されたドライポンプです。高負荷でも使用でき、汎用インダクションモータにも対応。また防爆モータの取り付けも可能です。
参照元:アルバック販売株式会社公式HP
(https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/vacuum-pump/multi-stage-roots-type-dry-vacuum-pump/gr.html)
| 排気速度(50/60Hz) | 18~34L/min |
| 到達圧力 | 6mbar(0.6kPa) |
| 騒音値 | — |
| 防爆等級 / 保護等級 | EU防爆規格(該当モデルによる) |
| 対応ガス種 | 酸・アルカリ・有機溶媒 |
耐薬品性で、酸・アルカリ・有機溶媒などに対応しているポンプです。EU規格の防爆基準に準拠。省エネ設計で経済的負担も少ないのが特徴です。
参照元:AXEL公式HP
(https://axel.as-1.co.jp/asone/d/64-6360-89/)
防爆仕様のドライ真空ポンプは、元から防爆仕様のものもあれば、オプションで防爆タイプに変更できるものもあります。防爆性能の必要な場所で使用する際は、性能や強度などを確かめたうえで、製造するものに適したドライ真空ポンプを選択しましょう。
この記事では、防爆仕様のドライ真空ポンプを探しているという人のために、防爆仕様の特徴や用途、4つの製品事例を紹介しました。以下のページでは、ドライ真空ポンプのタイプやメーカーを解説しています。ドライ真空ポンプをお探しの際は、ぜひ参考にしてみてください。