防爆仕様のドライ真空ポンプ

ドライ真空ポンプには、防爆仕様のものがあります。爆発する危険性がある場所で使用される真空ポンプです。ここではドライ真空ポンプの防爆仕様の特徴と製品事例を紹介します。

ドライ真空ポンプの防爆仕様とは?

防爆仕様の特徴

防爆仕様のドライ真空ポンプには、以下の特徴があります。

  • 耐爆設計:
    耐爆性の高い構造になっており、ポンプ内部で爆発が発生しても、爆風が外に漏れないような設計です。
  • 高耐久:
    腐食をもたらすガスやその他の化学物質によるダメージを受けず、耐久性の高い素材で作られています。
  • 異常検知センサー:
    異常発生をすぐに検知し、自動停止機能・防火システムとの連携機能などの仕組みが備わっています。

防爆仕様のドライ真空ポンプが使用される場所

防爆仕様のドライ真空ポンプは、以下のような場所で使用されます。

  • ガス蒸気危険場所:
    爆発する危険性のあるガス、蒸気が発生する可能性がある場所です。石油工場・化学薬品工場・インクの製造工場・タイヤ製造工場・樹脂製造工場・ガソリンスタンドなどが当てはまります。
  • 粉じん危険場所:
    粉じんにより、火災・爆発が発生しやすい場所です。食品工場・金属加工工場・化粧品原料工場・花火製作所・製薬工場などが当てはまります。

防爆仕様のドライ真空ポンプの製品事例

ドライ真空ポンプ SST型

MEKASYS ドライ真空ポンプ SST型 製品画像

参照元:MEKASYS公式HP(https://www.mekasys.jp/series/detail/id/SKS_0006
排気速度(50/60Hz) 970~5000L/min
到達圧力 0.6~1.0Pa
騒音値
防爆等級 / 保護等級
対応ガス種 凝固性ガス・粉体含むプロセスに対応

独自で開発したスクリューローターを搭載し、メンテナンス性にも優れています。ドライポンプには向いていないといわれていた凝固性ガス・粉体・生成物なども吸引でき、高い排出性と耐久性をかなえているのが特徴です。

参照元:MEKASYS公式HP
(https://www.mekasys.jp/series/detail/id/SKS_0006)

ドライスクロール真空ポンプ

アネスト岩田 ドライスクロール真空ポンプ ISPシリーズ 製品画像

引用元:アネスト岩田公式HP(https://www.anest-iwata.co.jp/vacuum/
排気速度(50/60Hz) 50~1000L/min
到達圧力 20~1Pa
騒音値 48~67dB(A)
防爆等級 / 保護等級
対応ガス種 クリーン・水蒸気排気・分析機器

ドライスクロール真空ポンプは、シンプルな構造で費用や時間を抑えて整備できるのが特徴です。またシール材のみが消耗品なので、定期的にメンテナンスしていれば長く使用できます。

参照元:アネスト岩田株式会社公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/vacuum/)

ドライ真空ポンプ GRシリーズ

排気速度(50/60Hz) 1030~3100L/min
到達圧力 5.0Pa
騒音値
防爆等級 / 保護等級 防爆モータ選択可(仕様選定による)
対応ガス種 一般産業・高負荷プロセス

GRシリーズは、一般産業向けに設計されたドライポンプです。高負荷でも使用でき、汎用インダクションモータにも対応。また防爆モータの取り付けも可能です。

参照元:アルバック販売株式会社公式HP
(https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/vacuum-pump/multi-stage-roots-type-dry-vacuum-pump/gr.html)

防爆型・耐薬品性真空ポンプ

AXEL 防爆型・耐薬品性真空ポンプ 製品画像

参照元:AXEL公式HP(https://axel.as-1.co.jp/asone/d/64-6360-89/
排気速度(50/60Hz) 18~34L/min
到達圧力 6mbar(0.6kPa)
騒音値
防爆等級 / 保護等級 EU防爆規格(該当モデルによる)
対応ガス種 酸・アルカリ・有機溶媒

耐薬品性で、酸・アルカリ・有機溶媒などに対応しているポンプです。EU規格の防爆基準に準拠。省エネ設計で経済的負担も少ないのが特徴です。

参照元:AXEL公式HP
(https://axel.as-1.co.jp/asone/d/64-6360-89/)

防爆仕様のドライ真空ポンプを検討しよう!

防爆仕様のドライ真空ポンプは、元から防爆仕様のものもあれば、オプションで防爆タイプに変更できるものもあります。防爆性能の必要な場所で使用する際は、性能や強度などを確かめたうえで、製造するものに適したドライ真空ポンプを選択しましょう。

この記事では、防爆仕様のドライ真空ポンプを探しているという人のために、防爆仕様の特徴や用途、4つの製品事例を紹介しました。以下のページでは、ドライ真空ポンプのタイプやメーカーを解説しています。ドライ真空ポンプをお探しの際は、ぜひ参考にしてみてください。

関連記事一覧
【防爆・腐食性ガス・大流量】
現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選

▼横にスクロールできます▼

防爆エリア設置向け

アネスト岩田の
ISPシリーズ

ISP-250E

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/isp-250e)

  • 防爆モーター搭載のカスタマイズに対応(ポンプ本体は標準仕様のため可燃性ガスの吸気は不可)
  • 大気と真空の繰り返し運転に強いスクロール式構造で、大気付近での連続運転にも対応
  • JALエンジニアリングのFRP成形現場での導入事例あり
腐食性ガス吸引向け

樫山工業の
SDEシリーズ

SDEシリーズ

引用元:樫山工業公式HP
(https://www.kashiyama.com/pumps/product/sde/)

  • 塩素系を含む腐食性ガスの吸引に対応し、半導体や液晶製造装置のハードプロセスで使用
  • ポンプ構造材に耐食材料を採用、温度設定によるデポジット対策にも配慮した設計
  • CVD・スパッタ・蒸着・エッチング・ALDなど多様な半導体プロセスに対応
大流量プロセス向け

大晃機械工業の
SDVシリーズ

SDVシリーズ

引用元:大晃機械工業公式HP
(https://www.taiko-kk.com/jp/vacuum/sdv/)

  • スクリュー式において世界最低速運転を実現するクインビー式(Queen Bee Screw)スクリュー採用
  • SDV-100の電動機定格は50Hz時18.5kW/60Hz時22kWで、大型装置・プラントに対応
  • 化学・医薬/自動車・電子部品/その他産業の業界別ラインアップが整備されている
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。