減圧に対応したドライ真空ポンプ
減圧に対応しているドライ真空ポンプは、大気圧よりも低い圧力にするために欠かせません。このページでは、減圧に対応したドライ真空ポンプについて、製品事例を紹介しながら解説していきます。
減圧に対応したドライ真空ポンプとは?
減圧とは、通常の大気圧よりも低い圧力にすることです。圧力は低ければ低いほど、真空度が高く良い状態と評価されます。真空ポンプは、大きく分けるとオイルタイプとドライタイプの2種類です。ドライ真空ポンプはオイルの交換の手間がない、クリーンな状態で使用できるなどの特徴があります。
減圧に対応したドライ真空ポンプにはさまざまな種類があるため、目的に合わせて選定する必要があるでしょう。圧力は低いほど良い状態と紹介しましたが、用途によっては低ければ低いほど良い、というわけではありません。目的に適しているかどうかをまずはチェックしましょう。選定のポイントは以下のとおりです。
- 必要な到達圧力
目的によって、必要な圧力が異なります。どの程度の真空度が必要かを踏まえて選定しましょう。
- 排気時間
真空にする容器の大きさと排気時間から、必要な排気速度を満たしているかどうか計算してみましょう。
- 吸引する気体の種類
ポンプの材質によって、水系仕様とケミカル仕様に分けられています。吸引している気体の種類や腐食性も確認するようにしましょう。
減圧に対応したドライ真空ポンプの製品事例
ダイヤフラム型真空ポンプ
ドライ真空ポンプ Rocker 300
減圧ろ過・減圧乾燥にも対応している、小型のドライ真空ポンプです。小型で使いやすく安価である点も特徴。持ち運びに便利な持ち手もついています。過熱時はポンプを自動で遮断できるようなサーマルプロテクターを搭載しており、安全性にも配慮した設計です。温度が冷えれば、作業が自動で再開されます。
真空を調整できるレギュレーターもついており、ちょっと減圧したいというときに適している真空ポンプです。
参照元:SIBATA公式HP
(https://www.sibata.co.jp/item/7764/)
減圧に対応したドライ真空ポンプを検討しよう!
減圧に対応したドライ真空ポンプには、さまざまな種類があります。サイズやコスト、そして何を目的にするかによって、選ぶべき製品は異なるでしょう。製造物に適した製品であることを大前提として、選ばなくてはなりません。
この記事では、減圧に対応したドライ真空ポンプを探しているという人のために、特徴や2つの製品事例を紹介しました。
以下のページでは、ドライ真空ポンプのタイプやメーカーを解説しています。ドライ真空ポンプをお探しの際は、ぜひ参考にしてみてください。
【防爆・腐食性ガス・大流量】
現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選
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防爆エリア設置向け
アネスト岩田の ISPシリーズ
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引用元:アネスト岩田公式HP (https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/isp-250e)
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- 防爆モーター搭載のカスタマイズに対応(ポンプ本体は標準仕様のため可燃性ガスの吸気は不可)
- 大気と真空の繰り返し運転に強いスクロール式構造で、大気付近での連続運転にも対応
- JALエンジニアリングのFRP成形現場での導入事例あり
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腐食性ガス吸引向け
樫山工業の SDEシリーズ
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引用元:樫山工業公式HP (https://www.kashiyama.com/pumps/product/sde/)
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- 塩素系を含む腐食性ガスの吸引に対応し、半導体や液晶製造装置のハードプロセスで使用
- ポンプ構造材に耐食材料を採用、温度設定によるデポジット対策にも配慮した設計
- CVD・スパッタ・蒸着・エッチング・ALDなど多様な半導体プロセスに対応
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大流量プロセス向け
大晃機械工業の SDVシリーズ
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引用元:大晃機械工業公式HP (https://www.taiko-kk.com/jp/vacuum/sdv/)
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- スクリュー式において世界最低速運転を実現するクインビー式(Queen Bee Screw)スクリュー採用
- SDV-100の電動機定格は50Hz時18.5kW/60Hz時22kWで、大型装置・プラントに対応
- 化学・医薬/自動車・電子部品/その他産業の業界別ラインアップが整備されている
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防爆・腐食性ガス・大流量など現場条件で選ぶ おすすめのドライ真空ポンプメーカーを紹介!
真空ポンプを選定する際は、単に「オイルフリー(ドライ)であること」だけでなく、「水蒸気を吸うのか」「防爆エリアに設置するのか」「粉塵や溶剤が混ざるのか」といった、現場の具体的な条件に合わせて最適な型式(スクロール式、ルーツ式、スクリュー式など)を選ぶことが重要です。
当サイトでは、「現場の課題・条件別」におすすめのドライ真空ポンプメーカーとその特徴を詳しく紹介しています。