減圧に対応したドライ真空ポンプ

減圧に対応しているドライ真空ポンプは、大気圧よりも低い圧力にするために欠かせません。このページでは、減圧に対応したドライ真空ポンプについて、製品事例を紹介しながら解説していきます。

減圧に対応したドライ真空ポンプとは?

減圧とは、通常の大気圧よりも低い圧力にすることです。圧力は低ければ低いほど、真空度が高く良い状態と評価されます。真空ポンプは、大きく分けるとオイルタイプとドライタイプの2種類です。ドライ真空ポンプはオイルの交換の手間がない、クリーンな状態で使用できるなどの特徴があります。

減圧に対応したドライ真空ポンプにはさまざまな種類があるため、目的に合わせて選定する必要があるでしょう。圧力は低いほど良い状態と紹介しましたが、用途によっては低ければ低いほど良い、というわけではありません。目的に適しているかどうかをまずはチェックしましょう。選定のポイントは以下のとおりです。

  • 必要な到達圧力
    目的によって、必要な圧力が異なります。どの程度の真空度が必要かを踏まえて選定しましょう。
  • 排気時間
    真空にする容器の大きさと排気時間から、必要な排気速度を満たしているかどうか計算してみましょう。
  • 吸引する気体の種類
    ポンプの材質によって、水系仕様とケミカル仕様に分けられています。吸引している気体の種類や腐食性も確認するようにしましょう。

減圧に対応したドライ真空ポンプの製品事例

ダイヤフラム型真空ポンプ

偏心回転軸から動きを受けるダイヤフラムが上下に動くことで気体を移送する仕組みです。ダイヤフラム・弁の材質によって、水系用とケミカル用に分けられています。

真空度としては、100Paから大気圧(101,325Pa)まで対応しています。

参照元:東京理科器械株式会社公式HP
(https://ssl.sbw.eyela.co.jp/archive/vacuum_pump.html)

ドライ真空ポンプ Rocker 300

減圧ろ過・減圧乾燥にも対応している、小型のドライ真空ポンプです。小型で使いやすく安価である点も特徴。持ち運びに便利な持ち手もついています。過熱時はポンプを自動で遮断できるようなサーマルプロテクターを搭載しており、安全性にも配慮した設計です。温度が冷えれば、作業が自動で再開されます。

真空を調整できるレギュレーターもついており、ちょっと減圧したいというときに適している真空ポンプです。

参照元:SIBATA公式HP
(https://www.sibata.co.jp/item/7764/)

減圧に対応したドライ真空ポンプを検討しよう!

減圧に対応したドライ真空ポンプには、さまざまな種類があります。サイズやコスト、そして何を目的にするかによって、選ぶべき製品は異なるでしょう。製造物に適した製品であることを大前提として、選ばなくてはなりません。

この記事では、減圧に対応したドライ真空ポンプを探しているという人のために、特徴や2つの製品事例を紹介しました。

以下のページでは、ドライ真空ポンプのタイプやメーカーを解説しています。ドライ真空ポンプをお探しの際は、ぜひ参考にしてみてください。

オイル不使用・幅広く使えるスクロール型
ドライ真空ポンプメーカー3選

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食品製造向け

アネスト岩田の
DVSLシリーズ

DVSLシリーズ

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/dvsl-500e)

  • 排気経路内にベアリングが無いため、密閉性が向上し衛生面も安心
  • 真空状態でのネリが必要な製麺会社の要望に応えた実例あり
半導体製造向け

宇野澤組鐵工所の
KTSシリーズ

KTSシリーズ

引用元:宇野澤組鐵工所公式HP
(https://www.unozawa.co.jp/product/dry/)

  • 到達圧力:≦0.08Paという半導体製造に適した真空状態を実現
    ※KTS030-H(ECOタイプ)最大排気速度:500L/m、到達圧力:≦0.08Pa(2024/5/24時点)
  • スパッタリング装置、イオンプレーティング装置といった薄膜形成プロセスに対応
  • 水蒸気やミストといった小さな水滴もしっかり排出
製薬・化学品製造向け

東製のスクリュー式
ドライ真空ポンプ

スクリュー式ドライ真空ポンプ

引用元:東製HP
(https://www.dryvacuum-pump.com/wp/wp-content/uploads/anestiwata_dvsl-500e_image.png)

  • 化学反応、蒸留操作などに適した環境生成のため、さまざまな圧力領域に対応
  • 接ガス部は耐食性ガス対策のため、特殊コーティングすることにより錆から守る
  • 化学物質や粉塵の発生を考慮し、少ない部品で分解・組立・洗浄が可能
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。