減圧に対応したドライ真空ポンプ

減圧に対応しているドライ真空ポンプは、大気圧よりも低い圧力にするために欠かせません。このページでは、減圧に対応したドライ真空ポンプについて、製品事例を紹介しながら解説していきます。

減圧に対応したドライ真空ポンプとは?

減圧とは、通常の大気圧よりも低い圧力にすることです。圧力は低ければ低いほど、真空度が高く良い状態と評価されます。真空ポンプは、大きく分けるとオイルタイプとドライタイプの2種類です。ドライ真空ポンプはオイルの交換の手間がない、クリーンな状態で使用できるなどの特徴があります。

減圧に対応したドライ真空ポンプにはさまざまな種類があるため、目的に合わせて選定する必要があるでしょう。圧力は低いほど良い状態と紹介しましたが、用途によっては低ければ低いほど良い、というわけではありません。目的に適しているかどうかをまずはチェックしましょう。選定のポイントは以下のとおりです。

  • 必要な到達圧力
    目的によって、必要な圧力が異なります。どの程度の真空度が必要かを踏まえて選定しましょう。
  • 排気時間
    真空にする容器の大きさと排気時間から、必要な排気速度を満たしているかどうか計算してみましょう。
  • 吸引する気体の種類
    ポンプの材質によって、水系仕様とケミカル仕様に分けられています。吸引している気体の種類や腐食性も確認するようにしましょう。

減圧に対応したドライ真空ポンプの製品事例

ダイヤフラム型真空ポンプ

偏心回転軸から動きを受けるダイヤフラムが上下に動くことで気体を移送する仕組みです。ダイヤフラム・弁の材質によって、水系用とケミカル用に分けられています。

真空度としては、100Paから大気圧(101,325Pa)まで対応しています。

参照元:東京理科器械株式会社公式HP
(https://ssl.sbw.eyela.co.jp/archive/vacuum_pump.html)

ドライ真空ポンプ Rocker 300

減圧ろ過・減圧乾燥にも対応している、小型のドライ真空ポンプです。小型で使いやすく安価である点も特徴。持ち運びに便利な持ち手もついています。過熱時はポンプを自動で遮断できるようなサーマルプロテクターを搭載しており、安全性にも配慮した設計です。温度が冷えれば、作業が自動で再開されます。

真空を調整できるレギュレーターもついており、ちょっと減圧したいというときに適している真空ポンプです。

参照元:SIBATA公式HP
(https://www.sibata.co.jp/item/7764/)

減圧に対応したドライ真空ポンプを検討しよう!

減圧に対応したドライ真空ポンプには、さまざまな種類があります。サイズやコスト、そして何を目的にするかによって、選ぶべき製品は異なるでしょう。製造物に適した製品であることを大前提として、選ばなくてはなりません。

この記事では、減圧に対応したドライ真空ポンプを探しているという人のために、特徴や2つの製品事例を紹介しました。

以下のページでは、ドライ真空ポンプのタイプやメーカーを解説しています。ドライ真空ポンプをお探しの際は、ぜひ参考にしてみてください。

【防爆・腐食性ガス・大流量】
現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選

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防爆エリア設置向け

アネスト岩田の
ISPシリーズ

ISP-250E

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/isp-250e)

  • 防爆モーター搭載のカスタマイズに対応(ポンプ本体は標準仕様のため可燃性ガスの吸気は不可)
  • 大気と真空の繰り返し運転に強いスクロール式構造で、大気付近での連続運転にも対応
  • JALエンジニアリングのFRP成形現場での導入事例あり
腐食性ガス吸引向け

樫山工業の
SDEシリーズ

SDEシリーズ

引用元:樫山工業公式HP
(https://www.kashiyama.com/pumps/product/sde/)

  • 塩素系を含む腐食性ガスの吸引に対応し、半導体や液晶製造装置のハードプロセスで使用
  • ポンプ構造材に耐食材料を採用、温度設定によるデポジット対策にも配慮した設計
  • CVD・スパッタ・蒸着・エッチング・ALDなど多様な半導体プロセスに対応
大流量プロセス向け

大晃機械工業の
SDVシリーズ

SDVシリーズ

引用元:大晃機械工業公式HP
(https://www.taiko-kk.com/jp/vacuum/sdv/)

  • スクリュー式において世界最低速運転を実現するクインビー式(Queen Bee Screw)スクリュー採用
  • SDV-100の電動機定格は50Hz時18.5kW/60Hz時22kWで、大型装置・プラントに対応
  • 化学・医薬/自動車・電子部品/その他産業の業界別ラインアップが整備されている
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。