性能と対応力で選ぶドライ真空ポンプメーカー比較

「スクロール」と呼ばれる渦巻き状の部品が2つ組み合わさり、片方が旋回運動をすることによって排気を行う真空ポンプ。ドライ真空ポンプの中では部品点数が少なく構造がシンプルなため、メンテナンスが容易なことと、その構造からシール線が長く逆流が極めて少ないことなどがメリットです。
接ガス部だけでなく、ギアオイルなどを一切使用しない形で製造することができ、幅広い現場で使用されているタイプです。

ベーン（回転翼）を使用し、排気する真空ポンプ。基本的に油を使用しないドライベーン真空ポンプは到達圧力が低く、水分や腐食性ガスなどの排気にはあまり適しませんが、コストパフォーマンスに優れています。
吸着搬送など、あまり到達圧力が必要でない用途に適しています。

まゆ型のローターを多段搭載して回転させる事により、排気を行う真空ポンプです。
半導体製造、真空蒸留、乾燥・脱水、殺菌・消毒などの分野で使われています。
クリーンな真空状態を作り出せるだけでなく、非接触式のため、メンテナンスサイクルが長いのも特徴です。

ダイアフラム（弁）の上下運動を利用したタイプの真空ポンプです。吸入と吐出エリアに弁を設置し、同じ方向へ排気できるような構造で開発されています。
比較的、小型なタイプが多く、持ち運びの利便性が高いのも魅力です。

組み込まれたピストンが偏心カムの働きによって往復運動することで気体を輸送します。構造がシンプルでメンテナンスしやすいのがメリット。低真空状態をつくりたいときの使用に向いており、加工成形や包装などの用途で使用されています。

爪の形をした突起のある2本のローターがあるのが特徴。クローローターを逆回転させることで気体を圧縮しており、省エネルギーで真空状態をつくりだせます。真空包装のほか吸着搬送装置、シュリンク機などで活用されています。

ドライ真空ポンプは、各社メーカーで幅広い種類が展開されています。
たとえばベーン型の場合、吸着・搬送機械によく利用されています。
ダイアフラム型は、ろ過や真空チャックなどにおすすめ。
スクロール型やルーツ型の場合、優れた到達圧力を生かして分析機器や漏れ検査などへの使用が可能です。
ドライ真空ポンプはそれぞれの特性を理解して、用途に合った機種を探すことが望ましいといえます。

真空到達度（到達圧力）は、ゼロに近ければ近いほど高真空に到達できることを表す値で、Pa（パスカル）やTorr（トール）、mbar(ミリバール)などで表示されています。
ドライ真空ポンプは、製品ごとにこの真空到達度が異なり、用途によって必要な圧力が変わってくるものなので、必ずメーカーに確認しましょう。

真空ポンプは圧力によって排気速度が異なります。
各真空ポンプの性能曲線を確認し、どの程度の圧力にどのくらいの時間で到達したいかを検討して、ポンプの選定をする必要があります。
また、真空にしたい場所の大きさや構造、配管などにより排気時間に大きく差が出ます。可能であればメーカーに依頼して、トライアルを行うのがよいでしょう。

作業中の騒音値は気になるものですが、近年では低騒音のドライ真空ポンプが数多く展開されています。
ドライ真空ポンプの機能性はもちろん、導入しようとしている機種がどのくらいの騒音を想定されているものなのか、騒音値だけでなく振動値なども考慮して選ぶと、より導入しやすいでしょう。

既存のドライ真空ポンプはもちろん、使用用途やニーズに合わせたカスタマイズができるため、自由度の高い会社です。

ドライ真空ポンプ製品で豊富なラインナップを展開。シンプルな構造のタイプから、独自のしくみを持つものまで幅広く開発しています。

省エネ性能にこだわった独自技術を前面に出し、数々のドライ真空ポンプを展開。リサイクル性にも注目しています。

購入して終わりではなく、その後のアフターフォロー体制も充実。メンテナンスはもちろん、次の導入時も丁寧なアドバイスをしてくれる会社です。

「科学技術の進歩・発展のために」をコンセプトに、サービスを展開。PKシリーズ、NeoDryシリーズなど多くのドライ真空ポンプを開発しています。

国内だけでなく世界規模でドライ真空ポンプを展開。169年以上の歴史をもつ老舗のドライ真空ポンプメーカーです。

主に産業設備向けのドライ真空ポンプに特化し、市場展開。小型空冷式やルーツ式ドライ真空ポンプなどを取扱いしています。

スクリュー型や、多段ルーツ型のドライ真空ポンプを展開。非接触式で、排気性能や省エネ性なども重視している会社です。

テフロンダイアフラム型ドライ真空ポンプを中心に、さまざまなシーンで活躍できる機種を展開。小型タイプで持ち運びできる機種もあります。

減圧ろ過・減圧乾燥に特化したドライ真空ポンプを展開。食品衛生や生産現場において、活躍できる機種が多い会社です。

メンテナンス性を生かした機械構造を採用。独自開発のスクリューローターを取り入れたドライ真空ポンプを展開しています。

半導体、液晶、太陽電池はもちろん、医薬品類やケミカル業界などでも使えるドライ真空ポンプを開発している会社です。

ドライ真空ポンプはもちろん、その周辺技術や技能も生かした製品開発を実施。現場の声を反映させた製品づくりをしています。

ドライ真空ポンプ1つにしてもシステムのコンサルや技術、効率性などを重視して展開。グローバルな視野を活かした開発をしています。

世界各国に拠点があり、オーバーホール品質で長期的に使用できる製品を提供。トータルライフサイクルコスト低減にも注力。

導入時の現地指導のほか、運用後のトラブル発生時もしっかりとサポートしてくれます。トラブルを防止できるフィルターの貸し出しも可能。

真空ポンプの専門知識をもつスタッフが設計から保守まで対応してくれます。最大5年間の延長保証も用意。

設立から130年を迎えたドイツメーカー。複数種の真空ポンプ以外にも、ブロワやコンプレッサーなどを提供可能です。

ダイフラム・スクリュー・スクロール・ルーツなどさまざまな種類のポンプを提供可能。トータルソリューションで提案してくれます。

実験機器製造メーカーとしてダイアフラム型ドライ真空ポンプなどを開発。小型タイプもあり、幅広い用途に対応可能です。

ダイアフラムポンプの開発に特化してきたドイツメーカー。到達圧力や形状などさまざまな種類のポンプを取り扱っています。

空気圧機器の製造を実施しており、ロータリ方式の真空ポンプを用意。油を使用しておらず、給油が不要なうえ汚染の心配もありません。

理化学機器や計測機器などの製造販売を行っています。カスタマーセンターを設置し、問い合わせや相談にスムーズな対応が可能。

創業当時よりドライ真空ポンプの製造を行うイタリアメーカー。油回転ポンプやクローポンプも取り扱っています。

コンパクトで低騒音なピストンポンプや粉塵発生の少ないルーツポンプを用意。既存ポンプの省エネ仕様変更も可能です。

真空ポンプおよびコンプレッサーを製造・販売。「マッチ・ザ・ポンプ」を合言葉に、顧客の仕様に合った専用機種の開発・試作にも対応しています。

1985年からドライ真空ポンプの販売を開始。独自技術を生かした真空ポンプ製品の開発に取り組んでいるメーカーです。

スイスに本社を構える理化学機器メーカー・ビュッヒの日本支社です。耐化学薬品性に優れた真空ポンプを開発しています。

オイル不使用であることから漏れや混入のリスクのないドライ真空ポンプ。クリーンな環境が必要な用途に向いており、吸着・輸送や加工・成形包装、不純物除去・膜形成などで活用されています。

幅広い分野で活用されているドライ真空ポンプですが、故障や不具合を防ぐためにはメンテナンスが重要です。日常点検や定期点検などを行いましょう。なお、ポンプの種類やメーカーによってもメンテナンス方法に違いがあります。

真空状態が必要な場合に使用されるポンプであり、容器内の気体を吸い込んで排出する構造になっています。気体輸送式と気体溜め込み式の2種類の動作原理に分類され、ドライ真空ポンプのほかにも油回転式や水封式などの種類があります。

半導体製造ではクリーンな環境が求められます。そこで真空ポンプを用いて真空状態をつくり、必要な反応のみを起こしやすくしています。また、プラズマ発生や蒸気圧を上げられるという特性から、半導体製造において真空ポンプは欠かせない存在となっています。

ドライ真空ポンプの選定を検討している場合、展示会に参加することは大きな助けとなります。展示会に参加することで、多種多様な製品を効率よく比較検討でき、実物を直接見て確かめられる上、専門家への問い合わせも可能となります。