ドライ真空ポンプは
性能とメーカーの対応力を比較

油潤滑式と比べ、さまざまな場所で活躍できるドライ真空ポンプ。しかし、それだけに多くの機種があり、製品スペックだけで導入を判断することは非常に難しくなっています。
ドライ真空ポンプ選びは、提供されるサービスを吟味し、
まず自社製品の目的に寄り添ってくれるメーカーを選ぶべきです。
このサイトでは、おすすめの真空ポンプを扱っているメーカーを厳選し、そのサービスについて紹介しています。

手入れが楽・用途が幅広い
ドライ真空ポンプメーカー3選
サービス比較を見る

ドライ真空ポンプとは

真空ポンプとは、真空状態をつくりだせるポンプのこと。容器内を大気圧以下の真空状態にし、その状態をキープするために容器内の気体を外へ排出します。さまざまな部品や製品の製造段階において真空状態の環境で作業を行う必要があるとき、真空ポンプは欠かせない存在です。
ドライ真空ポンプは真空ポンプの種類のひとつであり、「油を使用せずにクリーンな環境をつくりだせる真空ポンプ」として高い需要を得ています。
ドライ真空ポンプにはスクロール型やルーツ型、ダイアフラム型、回転翼型(ベーン型)などがあり、封止に油や液体を使わず、非接触でクリーンな真空状態をつくりだせます。

ドライ真空ポンプ導入のメリット

ドライ真空ポンプには、排気経路に油を使用しておらず、油回転真空ポンプに比べてよりクリーンな真空状態がキープできます。
潤滑油を使用しないため、クリーンな環境が求められる半導体産業や先端研究分野では必須といえるポンプでしょう。
また、食品業界などの安全性が優先される分野において、問題なく真空状態を作り出せることも大きなメリットです。

ドライ真空ポンプは、各タイプそれぞれに特性があり、さまざまな技術を生かして開発されています。
ここでは、ドライ真空ポンプの種類別に解説しています。業界や使用用途によって、理想的なドライ真空ポンプは何かをイメージしやすいと思いますので、導入の際のヒントにしてみてください。

スクロール型

「スクロール」と呼ばれる渦巻き状の部品が2つ組み合わさり、片方が旋回運動をすることによって排気を行う真空ポンプ。ドライ真空ポンプの中では部品点数が少なく構造がシンプルなため、メンテナンスが容易なことと、その構造からシール線が長く逆流が極めて少ないことなどがメリットです。
接ガス部だけでなく、ギアオイルなどを一切使用しない形で製造することができ、幅広い現場で使用されているタイプです。

ベーン型

ベーン(回転翼)を使用し、排気する真空ポンプ。基本的に油を使用しないドライベーン真空ポンプは到達圧力が低く、水分や腐食性ガスなどの排気にはあまり適しませんが、コストパフォーマンスに優れています。
吸着搬送など、あまり到達圧力が必要でない用途に適しています。

ルーツ型

まゆ型のローターを多段搭載して回転させる事により、排気を行う真空ポンプです。
半導体製造、真空蒸留、乾燥・脱水、殺菌・消毒などの分野で使われています。
クリーンな真空状態を作り出せるだけでなく、非接触式のため、メンテナンスサイクルが長いのも特徴です。

ダイアフラム型

ダイアフラム(弁)の上下運動を利用したタイプの真空ポンプです。吸入と吐出エリアに弁を設置し、同じ方向へ排気できるような構造で開発されています。
比較的、小型なタイプが多く、持ち運びの利便性が高いのも魅力です。

揺動ピストン型

組み込まれたピストンが偏心カムの働きによって往復運動することで気体を輸送します。構造がシンプルでメンテナンスしやすいのがメリット。低真空状態をつくりたいときの使用に向いており、加工成形や包装などの用途で使用されています。

クロー型

爪の形をした突起のある2本のローターがあるのが特徴。クローローターを逆回転させることで気体を圧縮しており、省エネルギーで真空状態をつくりだせます。真空包装のほか吸着搬送装置、シュリンク機などで活用されています。

製品タイプに迷ったら「スクロール型」が安心

上記で紹介した以外にも、多種多様なタイプが存在するドライ真空ポンプ。
摺動部や接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、

  • 使用環境に左右されない
  • 用途が制限されにくい
  • メンテナンス頻度が少なくて済む

などのメリットがあり、さまざまな真空装置・環境・用途に幅広く対応できるため、非常におすすめです。

オイル不使用・幅広く使えるスクロール型
ドライ真空ポンプメーカー3選

アネスト岩田
柔軟なカスタマイズ&短納期(※1)
アルバック機工
小型真空ポンプが主力商品(※2)
オリオン機械
省エネ性能を重視(※3)
アネスト岩田公式HPキャプチャ 引用元:アネスト岩田公式HP(https://www.anest-iwata.co.jp/vacuum/)
アルバック機工公式HPキャプチャ 引用元:アルバック機工公式HP(https://ulvac-kiko.com/product.php)
オリオン機械公式HPキャプチャ 引用元:オリオン機械公式HP(https://www.orionkikai.co.jp/product/vacuum-pump/dry/)
製品の
最高到達圧力※
1Pa 1Pa 詳細不明
製品の
カスタマイズ
可能 ロット数次第で可能 可能
メンテナンス
頻度の目安
1年または
8,000時間ごと
1年または
5,000~8,000時間ごと
パーツによって
1年~6年ごと
修理見積り 無料 無料 記載なし
納期目安 最短納期:約1.5~3ヶ月
 ※製品・在庫状況などにより変動あり
記載なし 記載なし
納入事例
の記載
あり
食品工場/車両メンテナンス会社/研究施設/病院/飛行機整備ドック…
- -
公式HP
※Googleで「ドライ真空ポンプ」と検索して表示されたすべてのメーカー(14社)の中で、スクロール型を製造している3社をピックアップしました(2023/06/19調査時点)。 ※1:3社の中で唯一真空ポンプのカスタマイズ導入事例を公式HPで公開しており、公式HPに記載されている標準納期が3社の中で最短 ※2:売り上げ全体の約80%が小型真空ポンプと小型真空機器で、 小型真空ポンプの分野では世界有数の専門メーカーの一つ。 ※3:業界初のインバータ搭載パッケージ型真空ポンプを製造し、インバータ制御により最大84%の省エネを実現。

ドライ真空ポンプの選び方は?

使用用途、スペック、価格、メンテナンス頻度。
自社に合ったドライ真空ポンプ製品の選び方とは?メーカーの方に直接お話を伺ってみました。

ドライ真空ポンプメーカー3選を
詳しく紹介

オイルフリーで幅広い使用用途が叶うスクロール型のドライ真空ポンプを取り扱っている3社について、詳しいサービスの紹介をしています。
※2021年5月14日時点、「ドライ真空ポンプ」Google検索上位5社のうち、オイルフリーのスクロール型真空ポンプを開発している3社を紹介。

スクロール型真空ポンプのパイオニア的存在
アネスト岩田

アネスト岩田_公式HPキャプチャ 引用元:アネスト岩田公式HP(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment)
取扱製品数 5シリーズ
製品の
最高到達圧力
1Pa
製品の
カスタマイズ
可能
メンテナンス
頻度の目安
1年または
8,000時間ごと
修理見積り 無料
納入事例
の記載
あり

アネスト岩田のドライ真空ポンプの特徴

顧客の声をキャッチしカスタマイズ

アネスト岩田のドライ真空ポンプは、スクロールサイズの種類が多く、多様性をもつのが特徴です。大きなサイズはもちろん、小型装置に組み込めるサイズのものなど、ラインナップを豊富に展開。実用性が高く、多くの業界で幅広く利用されています。
用途に合わせてサイズもカスタマイズもできるため、製品の方向性に対して臨機応変にドライ真空ポンプを製造・提供・カスタマイズしてくれる会社です。
また、自社でECサイトを運営しているため、通信販売サイトを通すよりも安く購入できるかもしれません。

海外電圧にも対応できる機種あり

アネスト岩田のドライ真空ポンプは、日本のみならず海外でも使用できるように、多重電圧モーターを搭載。
結線を変更すれば複数の電圧で使用可能で、海外の生産工場やイベント開催時などでも利用しやすい製品となっています。
小型タイプで持ち運びできる製品も用意されているため、国内外・屋内外を問わず多様な使い方ができます。

アネスト岩田のドライ真空ポンプの取扱製品例

アネスト岩田_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:アネスト岩田公式HP(https://www.anest-iwata.co.jp/vacuum/dryvacuumpump/isp_detail.html)

スクロール型・ISPシリーズ

排気速度
(50/60Hz)
50~250/60~300L/min
到達圧力 20~1.6Pa
騒音値 48~58dB
※エアフラッシュ時 57~66dB
アネスト岩田_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:アネスト岩田公式HP(https://www.anest-iwata.co.jp/vacuum/dryvacuumpump/BDL_detail.html)

ベーン型・BDLシリーズ

排気速度
(50/60Hz)
267/317L/min
到達圧力 -90kPa
騒音値 ≦65/≦68dB

アネスト岩田のドライ真空ポンプ導入事例

老舗製麺機器メーカーへの真空技術導入

日本の麺文化をリードするさぬき麺機株式会社では、スクロール真空ポンプ「DVSLシリーズ」を使用して、麺の品質向上とフードロスの削減に取り組んでいます。

真空ポンプを用いることで、生地作りの過程で空気を排出し、グルテンの水和を促進することが可能。この技術により、麺生地は短時間で粘り強く仕上がり、冷凍麺などにおいても劣化を防ぎ、長期間の美味しさを保持できるようになりました。
さらに、製麺段階での真空処理は酸素や菌の減少にも寄与し、これがフードロス削減にも効果を発揮しています。

真空技術の導入は、食品安全と環境保全の両面で、業界に新たな価値をもたらしています。

参照元:アネスト岩田公式HP(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/case-studies/report03

ドライポンプ以外も多種多様に取り扱う
アルバック機工

アルバック機工_公式HPキャプチャ 引用元:アルバック機工公式HP(https://ulvac-kiko.com/)
取扱製品数 10シリーズ
製品の
最高到達圧力※
1Pa
製品の
カスタマイズ
ロット数次第で可能
メンテナンス
頻度の目安
1年または
5,000~8,000時間ごと
修理見積り 無料
納入事例
の記載
-

アルバック機工のドライ真空ポンプの特徴

小型タイプのドライ真空ポンプに強みあり

アルバック機工ではラインナップ豊富に多種類のドライ真空ポンプを展開していますが、とくに小型タイプのドライ真空ポンプに強みをもっています。
売り上げ全体の約80%が小型真空ポンプと小型真空機器なのだとか。まさに注力企業と言えるでしょう。
※参考:公式HPより(https://ulvac-kiko.com/company/outline.html)

多種多様なタイプを展開

アルバック機工では、スクロール型ドライ真空ポンプを製造しているほか、ダイアフラム型、ピストン型、回転翼型など、多種多様にドライ真空ポンプをプロデュースしています。
メンテナンスの楽さ、構造のシンプルさ、多機能タイプなど、用途に応じてドライ真空ポンプを選びやすいでしょう。ランニングコストも考慮しながら導入できる製品です。

アルバック機工のドライ真空ポンプの取扱製品例

アルバック機工_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:アルバック機工公式HP(https://ulvac-kiko.com/product.php)

スクロール型・DISLシリーズ

排気速度
(50/60Hz)
80~346/96~413L/min
到達圧力 30~20Pa
騒音値 記載なし
アルバック機工_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:アルバック機工公式HP(https://ulvac-kiko.com/product.php)

ベーン型・DSBシリーズ

排気速度
(50/60Hz)
141~566/175~683L/min
到達圧力 -86.3~-89.3kPa
騒音値 記載なし

アルバック機工のドライ真空ポンプ導入事例

公式サイトに導入事例の記載はありませんでした

ドライ真空ポンプの国内販売をけん引
オリオン機械

オリオン機械_公式HPキャプチャ 引用元:オリオン機械公式HP(https://www.orionkikai.co.jp/)
取扱製品数 18シリーズ
製品の
最高到達圧力※
詳細不明
(100Pa以下)
製品の
カスタマイズ
可能
メンテナンス
頻度の目安
パーツによって
1年~6年ごと
修理見積り 記載なし
納入事例
の記載
-

オリオン機械のドライ真空ポンプの特徴

省エネ性も重視したドライ真空ポンプ

オリオン機械で展開されているドライ真空ポンプは、オイルフリーだけに特化せず、省エネ性も重視して展開されています。
ドライ真空ポンプの省エネルギー化を狙い、インバータ制御のオイルフリー真空ポンプを開発。機能性・静音性・低振動性も考慮し、幅広い視野とニーズに合わせて現場に導入できるでしょう。

アフターフォロー体制の充実

オリオン機械では、ドライ真空ポンプを販売して終わりではなく、アフターフォローにも力を入れており、真空ポンプの有料定期点検メニューを独自に提案
各パーツそれぞれにメンテナンス時期を設定しています。必要に応じて、修理や交換の案内をしてくれるのも魅力的。長いお付き合いができ、新しい機種導入時にも親身になってくれる会社です。

オリオン機械のドライ真空ポンプの取扱製品例

オリオン機械_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:オリオン機械公式HP(https://www.orionkikai.co.jp/product/vacuum-pump/dry/kcph/)

スクロール型・KCPHシリーズ

排気速度
(50/60Hz)
480/500~970/990L/min
到達圧力 100Pa以下
騒音値 74~79dB
オリオン機械_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:オリオン機械公式HP(https://www.orionkikai.co.jp/product/vacuum-pump/dry/krf-st/)

ベーン型・KRF標準シリーズ

排気速度
(50/60Hz)
235/280L/min
到達圧力 84/86kPa以上
騒音値 60~62/62~64dB

オリオン機械のドライ真空ポンプ導入事例

公式サイトに導入事例の記載はありませんでした

ニーズに沿ってカスタマイズ

既存のドライ真空ポンプはもちろん、使用用途やニーズに合わせたカスタマイズができるため、自由度の高い会社です。

バリエーション豊富な機種展開

ドライ真空ポンプ製品で豊富なラインナップを展開。シンプルな構造のタイプから、独自のしくみを持つものまで幅広く開発しています。

独自技術を用いた効率性

省エネ性能にこだわった独自技術を前面に出し、数々のドライ真空ポンプを展開。リサイクル性にも注目しています。

長くお付き合いができる

購入して終わりではなく、その後のアフターフォロー体制も充実。メンテナンスはもちろん、次の導入時も丁寧なアドバイスをしてくれる会社です。

科学の力で発展

「科学技術の進歩・発展のために」をコンセプトに、サービスを展開。PKシリーズ、NeoDryシリーズなど多くのドライ真空ポンプを開発しています。

世界規模で展開

国内だけでなく世界規模でドライ真空ポンプを展開。169年以上の歴史をもつ老舗のドライ真空ポンプメーカーです。

小型タイプのドライ真空ポンプ

主に産業設備向けのドライ真空ポンプに特化し、市場展開。小型空冷式やルーツ式ドライ真空ポンプなどを取扱いしています。

機能面性以外でも貢献

スクリュー型や、多段ルーツ型のドライ真空ポンプを展開。非接触式で、排気性能や省エネ性なども重視している会社です。

持ち運びできるタイプ

テフロンダイアフラム型ドライ真空ポンプを中心に、さまざまなシーンで活躍できる機種を展開。小型タイプで持ち運びできる機種もあります。

食品業界で活躍

減圧ろ過・減圧乾燥に特化したドライ真空ポンプを展開。食品衛生や生産現場において、活躍できる機種が多い会社です。

視野を広げて開発

メンテナンス性を生かした機械構造を採用。独自開発のスクリューローターを取り入れたドライ真空ポンプを展開しています。

業界問わず使用可能

半導体、液晶、太陽電池はもちろん、医薬品類やケミカル業界などでも使えるドライ真空ポンプを開発している会社です。

利用者の声を汲んだ製品開発

ドライ真空ポンプはもちろん、その周辺技術や技能も生かした製品開発を実施。現場の声を反映させた製品づくりをしています。

グローバルな視野で展開

ドライ真空ポンプ1つにしてもシステムのコンサルや技術、効率性などを重視して展開。グローバルな視野を活かした開発をしています。

サポート体制が充実

世界各国に拠点があり、オーバーホール品質で長期的に使用できる製品を提供。トータルライフサイクルコスト低減にも注力。

運用後も手厚くサポート

導入時の現地指導のほか、運用後のトラブル発生時もしっかりとサポートしてくれます。トラブルを防止できるフィルターの貸し出しも可能。

専門家が保守まで対応

真空ポンプの専門知識をもつスタッフが設計から保守まで対応してくれます。最大5年間の延長保証も用意。

複数タイプのポンプを用意

設立から130年を迎えたドイツメーカー。複数種の真空ポンプ以外にも、ブロワやコンプレッサーなどを提供可能です。

用途に応じたポンプを提案

ダイフラム・スクリュー・スクロール・ルーツなどさまざまな種類のポンプを提供可能。トータルソリューションで提案してくれます。

実験機器を開発

実験機器製造メーカーとしてダイアフラム型ドライ真空ポンプなどを開発。小型タイプもあり、幅広い用途に対応可能です。

ダイアフラムポンプ専門メーカー

ダイアフラムポンプの開発に特化してきたドイツメーカー。到達圧力や形状などさまざまな種類のポンプを取り扱っています。

給油不要のロータリ真空ポンプ

空気圧機器の製造を実施しており、ロータリ方式の真空ポンプを用意。油を使用しておらず、給油が不要なうえ汚染の心配もありません。

科学研究機器の専門メーカー

理化学機器や計測機器などの製造販売を行っています。カスタマーセンターを設置し、問い合わせや相談にスムーズな対応が可能。

幅広いポンプ製品を用意

創業当時よりドライ真空ポンプの製造を行うイタリアメーカー。油回転ポンプやクローポンプも取り扱っています。

省エネ化にも対応

コンパクトで低騒音なピストンポンプや粉塵発生の少ないルーツポンプを用意。既存ポンプの省エネ仕様変更も可能です。

専用機種の開発に対応

真空ポンプおよびコンプレッサーを製造・販売。「マッチ・ザ・ポンプ」を合言葉に、顧客の仕様に合った専用機種の開発・試作にも対応しています。

歴史で培った独自技術が強み

1985年からドライ真空ポンプの販売を開始。独自技術を生かした真空ポンプ製品の開発に取り組んでいるメーカーです。

実験に適した真空ポンプを開発

スイスに本社を構える理化学機器メーカー・ビュッヒの日本支社です。耐化学薬品性に優れた真空ポンプを開発しています。

ドライ真空ポンプに関する基礎知識について紹介しています。
そもそもドライ真空ポンプとは?真空ポンプの種類は?ドライ真空ポンプの1段式と2段式の違いは?などの疑問について解説します。

ドライ真空ポンプの用途

オイル不使用であることから漏れや混入のリスクのないドライ真空ポンプ。クリーンな環境が必要な用途に向いており、吸着・輸送や加工・成形包装、不純物除去・膜形成などで活用されています。

メンテナンス

幅広い分野で活用されているドライ真空ポンプですが、故障や不具合を防ぐためにはメンテナンスが重要です。日常点検や定期点検などを行いましょう。なお、ポンプの種類やメーカーによってもメンテナンス方法に違いがあります。

真空ポンプとは?

真空状態が必要な場合に使用されるポンプであり、容器内の気体を吸い込んで排出する構造になっています。気体輸送式と気体溜め込み式の2種類の動作原理に分類され、ドライ真空ポンプのほかにも油回転式や水封式などの種類があります。

半導体製造と真空ポンプの需要

半導体製造ではクリーンな環境が求められます。そこで真空ポンプを用いて真空状態をつくり、必要な反応のみを起こしやすくしています。また、プラズマ発生や蒸気圧を上げられるという特性から、半導体製造において真空ポンプは欠かせない存在となっています。

ドライ真空ポンプの展示会

ドライ真空ポンプの選定を検討している場合、展示会に参加することは大きな助けとなります。展示会に参加することで、多種多様な製品を効率よく比較検討でき、実物を直接見て確かめられる上、専門家への問い合わせも可能となります。

ドライ真空ポンプへのインバーター搭載について

インバーターとは、直流電流を交流電流に変換する電子回路で、家電や産業分野で重要な役割を果たしているものです。インバーターを搭載した真空ポンプのメリットには、効率向上、騒音低減、耐久性向上が含まれます。これにより、省エネルギーな運転や環境への影響軽減が実現されます。

ドライ真空ポンプのガスバラストバルブとは

ドライ真空ポンプのガスバラストバルブとは、凝縮性ガスを液体にせず、気体のままで大気中に廃棄できるようにする装備のことです。液体化を避けることで、シャフトシールの劣化予防にも貢献します。またよりクリーンな環境を目指すことにも役立つ装備であり、業務内での環境汚染を軽減させます。

ドライ真空ポンプの省エネ性能

ドライ真空ポンプは24時間365日稼働体制となる場合もあり、省エネ性能が高い製品が求められてきました。昨今では各メーカーがさまざまな工夫により省電力の製品を提供しており、既存のドライ真空ポンプに取り付けるだけのアタッチメントタイプのものも選択できます。

ドライ真空ポンプの省スペース性

省スペース性を重視したドライ真空ポンプは、限られた設置面積でも設置しやすいこと、移設しやすいこと、コスト削減に役立つ可能性があることなど、多くのメリットがあります。各社から省スペースな製品が提供されているため、選択肢のひとつとして考えてください。

ドライ真空ポンプのサーマルプロテクタ

ドライ真空ポンプにおけるサーマルプロテクタとは、本体の過熱状態を防ぐためのものです。モーター巻線が一定の温度になると強制的に切断し、本体の温度を危険ではない状態に保つため、使用における不安を軽減してくれます。

太陽電池製造に適したドライ真空ポンプ

ドライ真空ポンプは太陽電池製造でも必要とされています。反応副生成による負荷の高いプロセスに対応し、空気中のパウダー分・ミスト分を効率よく排気できるようになるためです。実際に太陽電池製造に適するとされるドライ真空ポンプも多数提供されています。

ドライ真空ポンプの1段式と2段式の違い

ドライ真空ポンプには「1段式」と「2段式」があり、さまざまな違いがあるため用途に合わせて選ばなければなりません。1段式のほうが到達圧力が高く、排気速度も大きいものの、目的によっては2段式の方が適していることもあります。

コーティングに適したドライ真空ポンプ

ドライ真空ポンプは不純物の混入を防ぎたいコーティング加工に適しており、薄膜コーティングがその代表的な例です。ソーラーパネルでは、太陽電池としての耐久性や反射防止機能を付加する際に、ドライ真空ポンプによるコーティングが行われています。