用途や製造過程に適した性能で選ぶドライ真空ポンプメーカー比較

既存のドライ真空ポンプはもちろん、使用用途やニーズに合わせたカスタマイズができるため、自由度の高い会社です。

引用元：アネスト岩田公式HP（https://www.anest-iwata.co.jp/vacuum/dryvacuumpump/isp_detail.html）

スクロール型・ISPシリーズ

排気速度 （50/60Hz）	50～1000L/min
到達圧力	20～1Pa
騒音値	48～67dB(A)

アルバック機工では、生産力を活かして多種多様な真空ポンプを開発しています。利用シーンや使用用途を細かくヒアリング。利用者にとって、よりニーズに合った真空ポンプを提案してくれます。

引用元：アネスト岩田公式HP（https://www.anest-iwata.co.jp/vacuum/dryvacuumpump/isp_detail.html）

スクロール型・ISPシリーズ

排気速度 （50/60Hz）	50～1000L/min
到達圧力	20～1Pa
騒音値	48～67dB(A)

省エネ性能にこだわった独自技術を前面に出し、数々のドライ真空ポンプを展開。リサイクル性にも注目しています。

引用元：アンレット公式HP（https://www.anlet.co.jp/vacuum_pump/）

多段ルーツ型・CT6シリーズ

排気速度	500～6000L/min
到達圧力	1.5～0.5Pa
騒音値	70～85db

ロータリーベーン式の無給回転真空ポンプを開発しています。ドライ真空ポンプ以外にも、オイルフリー真空ポンプも展開。オイルフリー真空ポンプは、非接触ローターを採用し、ベーンを使用していません。

引用元：オリオン機械公式HP（https://www.orionkikai.co.jp/product/vacuum-pump/dry/kcph/）

スクロール型・KCPHシリーズ

排気速度 （50/60Hz）	480/500～970/990L/min
到達圧力	100Pa以下
騒音値	74～79dB

「科学技術の進歩・発展のために」をコンセプトに、サービスを展開。PKシリーズ、NeoDryシリーズなど多くのドライ真空ポンプを開発しています。

引用元：ヤマト科学公式HP（https://www.yamato-net.co.jp/product/show/n820g/）

ダイアフラム型・N820G

排気速度	9～20 L/min
到達圧力	ガスバラスト閉≦600Pa（開　≦1700Pa）～ ガスバラスト閉≦800Pa（開　≦1500Pa）
騒音値	記載なし

国内だけでなく世界規模でドライ真空ポンプを展開。169年以上の歴史をもつ老舗のドライ真空ポンプメーカーです。

引用元：ライボルト公式HP（https://www.leybold.com/jp/ja/製品について/ドライ圧縮真空ポンプ/clawvac/）

CLAWVAC

排気速度 （50/60Hz）	65 m³/h/79 m³/h
到達圧力	50mbar
騒音値	記載なし

主に産業設備向けのドライ真空ポンプに特化し、市場展開。小型空冷式やルーツ式ドライ真空ポンプなどを取扱いしています。

引用元：宇野澤組鐵工所公式HP（https://www.unozawa.co.jp/product/blower.html）

ARJ型ロータリブロワ・真空ポンプ

排気速度 （50/60Hz）	記載なし
到達圧力	記載なし
騒音値	記載なし

スクリュー型や、多段ルーツ型のドライ真空ポンプを展開。非接触式で、排気性能や省エネ性なども重視している会社です。

引用元：樫山工業公式HP（https://www.kashiyama.com/pumps/product/）

スクリュー型・SDEシリーズ

排気速度	1,300～100,000L/min
到達圧力	1.3～0.5Pa
騒音値	記載なし

テフロンダイアフラム型ドライ真空ポンプを中心に、さまざまなシーンで活躍できる機種を展開。小型タイプで持ち運びできる機種もあります。

引用元：佐藤真空公式HP（https://www.satovac.co.jp/products/vacuumpumps/index.html）

テフロンダイアフラム型・MDシリーズ

排気速度 （50/60Hz）	20～23L／min
到達圧力	200Pa
騒音値	記載なし

減圧ろ過・減圧乾燥に特化したドライ真空ポンプを展開。食品衛生や生産現場において、活躍できる機種が多い会社です。

引用元：柴田科学公式HP（https://www.sibata.co.jp/products/products-36729/）

Rocker 300C型

排気速度 （50/60Hz）	20～23L/min
到達圧力	約170hPa
騒音値	記載なし

メンテナンス性を生かした機械構造を採用。独自開発のスクリューローターを取り入れたドライ真空ポンプを展開しています。

引用元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/products/100/）

スクリュー式・SST/SSXシリーズ

排気速度 （50/60Hz）	970～5000L/min
到達圧力	1.0～0.6Pa
騒音値	記載なし

半導体、液晶、太陽電池はもちろん、医薬品類やケミカル業界などでも使えるドライ真空ポンプを開発している会社です。

引用元：大晃機械工業公式HP（https://www.taiko-kk.com/jp/product/rotary-blower-v.html）

ルーツ型・TSS-V

排気速度	0.09～0.65m³/min
到達圧力	to -34.3kPa
騒音値	記載なし

ドライ真空ポンプはもちろん、その周辺技術や技能も生かした製品開発を実施。現場の声を反映させた製品づくりをしています。

引用元：大阪真空機器製作所公式HP（https://www.osakavacuum.co.jp/products/）

FR060D

排気速度 （50/60Hz）	記載なし
到達圧力	記載なし
騒音値	記載なし

ドライ真空ポンプ1つにしてもシステムのコンサルや技術、効率性などを重視して展開。グローバルな視野を活かした開発をしています。

引用元：Busch Vacuum Solutions（日本ブッシュ）公式HP（https://www.buschvacuum.com/jp/ja/products/fossa）

スクロール型・FOSSA

排気速度 （50/60Hz）	15～35/18～42m³/h
到達圧力	0.01～0.025 hPa (mbar)
騒音値	記載なし

世界各国に拠点があり、オーバーホール品質で長期的に使用できる製品を提供。トータルライフサイクルコスト低減にも注力。

引用元：荏原製作所公式HP（https://www.ebara.co.jp/products/details/EVL.html）

EV-L型

排気速度	10,000/18,000 L/min
到達圧力	0.5Pa
騒音値	記載なし

導入時の現地指導のほか、運用後のトラブル発生時もしっかりとサポートしてくれます。トラブルを防止できるフィルターの貸し出しも可能。

引用元：東製株式会社公式HP（https://www.tohsei-co.com/vacuum/）

スクリュー式ドライ真空ポンプ（高真空タイプ）

排気速度	1,100/2,500 L/min
到達圧力	1.3/1 Pa
騒音値	記載なし

真空ポンプの専門知識をもつスタッフが設計から保守まで対応してくれます。最大5年間の延長保証も用意。

引用元：エドワーズ公式HP（https://www.edwardsvacuum.com/ja/our-products/chemical-dry-pumps）

CXSケミカルドライ真空ポンプ

排気速度	160m³h4（95ft³min4）/250m³h4（148ft³min4）
到達圧力	到達真空レベル<0.02mbar（0.015Torr）/<0.015mbar（<0.011Torr）
騒音値	64dB

設立から130年を迎えたドイツメーカー。複数種の真空ポンプ以外にも、ブロワやコンプレッサーなどを提供可能です。

引用元：ベッカーエアーテクノ公式HP（https://becker-air.com/becker-air-techno/vacuum-pump/）

ロータリーベーン式ドライポンプ　VTLF2.200

排気速度 （50/60Hz）	178m3/h / 218m3/h
到達圧力	20kPa以下
騒音値	75～77dB

ダイフラム・スクリュー・スクロール・ルーツなどさまざまな種類のポンプを提供可能。トータルソリューションで提案してくれます。

引用元：伯東株式会社公式HP（https://www.hakuto-vacuum.jp/pfeiffer_vacuum/pdf/DryPump/MVP010-3DC.pdf）

ダイアフラムポンプ　MVP010-3DC

排気速度 （50/60Hz）	10(24VDC)m3/h
到達圧力	1100hPa
騒音値	50dB(A)以上

実験機器製造メーカーとしてダイアフラム型ドライ真空ポンプなどを開発。小型タイプもあり、幅広い用途に対応可能です。

引用元：サンプラテック公式HP（https://www.sanplatec.co.jp/product.php?id=579）

ダイアフラム型・DA-20D

排気速度	50/60Hz:20/24（L/min）
到達圧力	5.33kPa
騒音値	記載なし

ダイアフラムポンプの開発に特化してきたドイツメーカー。到達圧力や形状などさまざまな種類のポンプを取り扱っています。

引用元：KNF公式HP（https://knf.com/ja/jp/ソリューション/ラボ用ポンプシステム/詳細/laboport-n-86-kt18）

LABOPORT® N 86 KT.18

排気速度	5.5（L/min）
到達圧力	16kpa
騒音値	記載なし

空気圧機器の製造を実施しており、ロータリ方式の真空ポンプを用意。油を使用しておらず、給油が不要なうえ汚染の心配もありません。

引用元：日本ピスコ公式HP（https://www.pisco.co.jp/product/detail/g/g01/）

ロータリ真空ポンプ・RPV06A

排気速度	30.0(L/min) (50Hz)
到達圧力	≦-100.95(kPa G) (50Hz)
騒音値	記載なし

理化学機器や計測機器などの製造販売を行っています。カスタマーセンターを設置し、問い合わせや相談にスムーズな対応が可能。

引用元：東京理化器械公式HP（https://eyela.actibookone.com/content/detail?param=eyJjb250ZW50TnVtIjoiMjE2NzcifQ==&detailFlg=1&pNo=14）

NeoDry 15E-C

排気速度 （50/60Hz）	110L/min
到達圧力	10Pa以下（パージユニット装着時）
騒音値	不明

創業当時よりドライ真空ポンプの製造を行うイタリアメーカー。油回転ポンプやクローポンプも取り扱っています。

引用元：D.V.P. Vacuum Technology s.p.a.公式HP（https://www.dvppumps.com/en/products/oil-free-rotary-vane-vacuum-pumps-sb-10-sb-10tv-sb-12/）

ロータリーベーン真空ポンプ（SB10）

排気速度	6～10（㎥/h）
到達圧力	120（hPa）
騒音値	記載なし

コンパクトで低騒音なピストンポンプや粉塵発生の少ないルーツポンプを用意。既存ポンプの省エネ仕様変更も可能です。

引用元：芝浦エレテック公式HP（https://www.shibaura.co.jp/eletec/products/vacuum/piston/）

ピストンポンプ（PSL・PDLシリーズ）

排気速度	記載なし
到達圧力	PSL：13/15/17kPa、PDL：4kPa
騒音値	記載なし

真空ポンプおよびコンプレッサーを製造・販売。「マッチ・ザ・ポンプ」を合言葉に、顧客の仕様に合った専用機種の開発・試作にも対応しています。

引用元：イプロスものづくり（https://www.ipros.jp/product/detail/2000618803/）

MSV-200-3GV

排気速度 50Hz（60Hz）	200（240）L/min以上
到達圧力	0.078～0.196（0.8～2.0）MPa（Kg/cm2）以上
騒音値	85dB以下

1985年からドライ真空ポンプの販売を開始。独自技術を生かした真空ポンプ製品の開発に取り組んでいるメーカーです。

引用元：四葉機械製作所公式HP（https://yotsubakikai.com/）

VP型真空ポンプ

排気速度	2.3～32（m3/min）
到達圧力	要問合せ
騒音値	要問合せ

スイスに本社を構える理化学機器メーカー・ビュッヒの日本支社です。耐化学薬品性に優れた真空ポンプを開発しています。

引用元：日本ビュッヒ公式HP（https://www.buchi.com/ja/products/instruments/vacuum-pump-v-100）

真空ポンプ V-100

排気速度	要問合せ
到達圧力	10hpa（±2hpa）
騒音値	40～52dB

「スクロール」と呼ばれる渦巻き状の部品が2つ組み合わさり、片方が旋回運動をすることによって排気を行う真空ポンプ。ドライ真空ポンプの中では部品点数が少なく構造がシンプルなため、メンテナンスが容易なことと、その構造からシール線が長く逆流が極めて少ないことなどがメリットです。
接ガス部だけでなく、ギアオイルなどを一切使用しない形で製造することができ、幅広い現場で使用されているタイプです。

ベーン（回転翼）を使用し、排気する真空ポンプ。基本的に油を使用しないドライベーン真空ポンプは到達圧力が低く、水分や腐食性ガスなどの排気にはあまり適しませんが、コストパフォーマンスに優れています。
吸着搬送など、あまり到達圧力が必要でない用途に適しています。

まゆ型のローターを多段搭載して回転させる事により、排気を行う真空ポンプです。
半導体製造、真空蒸留、乾燥・脱水、殺菌・消毒などの分野で使われています。
クリーンな真空状態を作り出せるだけでなく、非接触式のため、メンテナンスサイクルが長いのも特徴です。

ダイアフラム（弁）の上下運動を利用したタイプの真空ポンプです。吸入と吐出エリアに弁を設置し、同じ方向へ排気できるような構造で開発されています。
比較的、小型なタイプが多く、持ち運びの利便性が高いのも魅力です。

組み込まれたピストンが偏心カムの働きによって往復運動することで気体を輸送します。構造がシンプルでメンテナンスしやすいのがメリット。低真空状態をつくりたいときの使用に向いており、加工成形や包装などの用途で使用されています。

爪の形をした突起のある2本のローターがあるのが特徴。クローローターを逆回転させることで気体を圧縮しており、省エネルギーで真空状態をつくりだせます。真空包装のほか吸着搬送装置、シュリンク機などで活用されています。

オイル不使用であることから漏れや混入のリスクのないドライ真空ポンプ。クリーンな環境が必要な用途に向いており、吸着・輸送や加工・成形包装、不純物除去・膜形成などで活用されています。

幅広い分野で活用されているドライ真空ポンプですが、故障や不具合を防ぐためにはメンテナンスが重要です。日常点検や定期点検などを行いましょう。なお、ポンプの種類やメーカーによってもメンテナンス方法に違いがあります。

真空状態が必要な場合に使用されるポンプであり、容器内の気体を吸い込んで排出する構造になっています。気体輸送式と気体溜め込み式の2種類の動作原理に分類され、ドライ真空ポンプのほかにも油回転式や水封式などの種類があります。

半導体製造ではクリーンな環境が求められます。そこで真空ポンプを用いて真空状態をつくり、必要な反応のみを起こしやすくしています。また、プラズマ発生や蒸気圧を上げられるという特性から、半導体製造において真空ポンプは欠かせない存在となっています。

ドライ真空ポンプの選定を検討している場合、展示会に参加することは大きな助けとなります。展示会に参加することで、多種多様な製品を効率よく比較検討でき、実物を直接見て確かめられる上、専門家への問い合わせも可能となります。

インバーターとは、直流電流を交流電流に変換する電子回路で、家電や産業分野で重要な役割を果たしているものです。インバーターを搭載した真空ポンプのメリットには、効率向上、騒音低減、耐久性向上が含まれます。これにより、省エネルギーな運転や環境への影響軽減が実現されます。

ドライ真空ポンプのガスバラストバルブとは、凝縮性ガスを液体にせず、気体のままで大気中に廃棄できるようにする装備のことです。液体化を避けることで、シャフトシールの劣化予防にも貢献します。またよりクリーンな環境を目指すことにも役立つ装備であり、業務内での環境汚染を軽減させます。

ドライ真空ポンプは24時間365日稼働体制となる場合もあり、省エネ性能が高い製品が求められてきました。昨今では各メーカーがさまざまな工夫により省電力の製品を提供しており、既存のドライ真空ポンプに取り付けるだけのアタッチメントタイプのものも選択できます。

省スペース性を重視したドライ真空ポンプは、限られた設置面積でも設置しやすいこと、移設しやすいこと、コスト削減に役立つ可能性があることなど、多くのメリットがあります。各社から省スペースな製品が提供されているため、選択肢のひとつとして考えてください。

ドライ真空ポンプにおけるサーマルプロテクタとは、本体の過熱状態を防ぐためのものです。モーター巻線が一定の温度になると強制的に切断し、本体の温度を危険ではない状態に保つため、使用における不安を軽減してくれます。

ドライ真空ポンプは太陽電池製造でも必要とされています。反応副生成による負荷の高いプロセスに対応し、空気中のパウダー分・ミスト分を効率よく排気できるようになるためです。実際に太陽電池製造に適するとされるドライ真空ポンプも多数提供されています。

ドライ真空ポンプには「1段式」と「2段式」があり、さまざまな違いがあるため用途に合わせて選ばなければなりません。1段式のほうが到達圧力が高く、排気速度も大きいものの、目的によっては2段式の方が適していることもあります。

ドライ真空ポンプは不純物の混入を防ぎたいコーティング加工に適しており、薄膜コーティングがその代表的な例です。ソーラーパネルでは、太陽電池としての耐久性や反射防止機能を付加する際に、ドライ真空ポンプによるコーティングが行われています。

ドライ真空ポンプは、クリーンな真空を得るために必要な機器であり、油や水を使用しないため、逆流の心配もありません。ドライ真空ポンプにもさまざまな製品がありますが、今回紹介するのは水素排気に対応できるドライ真空ポンプです。

減圧に対応したドライ真空ポンプは、どの程度の減圧を必要とするかによって選ぶべき製品も異なります。製品ごとの減圧可能な数値などをチェックして、選定しましょう。減圧に対応した製品は小型のものも多く、持ち運び可能でコストが抑えられるドライ真空ポンプも多いです。

防爆仕様のドライ真空ポンプは、爆発の危険性がある場所で用いられています。食品工場や薬品工場などの工程によっては、爆発の危険性を考えて防爆仕様のポンプを使用しなくてはなりません。製品ごとに防爆性能も異なるため、用途と性能を照らし合わせて適したポンプを選定しましょう。防爆モータが別途取り付けられるポンプもあります。

ドライ真空ポンプは、定期的なメンテナンスと、定期的なオーバーホールが求められる機械です。特に分解・洗浄を目的としたオーバーホールを行うことで、内部パーツの不具合による故障をある程度避けることが可能になります。

空冷式ドライ真空ポンプは、冷却水や媒体を使わず、空気で温度管理を行います。水冷式などのドライ真空ポンプと比べ、オイルフリー運用が可能なほか、メンテナンスが少なく、運用コストや設置スペースが削減できる利点があります。

一般的なタイプの水冷式ドライ真空ポンプは冷却液や潤滑油の輩出が不要なため、環境への影響が少ないです。冷却効率が高いため、大型装置や高真空環境での使用に適しています。食品や医薬品の製造、半導体製造工程など、さまざまな用途で活用されています。