油潤滑式と比べ、さまざまな場所で活躍できるドライ真空ポンプ。しかし、それだけに多くの機種があり、製品スペックだけで導入を判断することは非常に難しくなっています。
ドライ真空ポンプ選びは、提供されるサービスを吟味し、
まず自社製品の目的に寄り添ってくれるメーカーを選ぶべきです。
このサイトでは、おすすめの真空ポンプを扱っているメーカーを厳選し、そのサービスについて紹介しています。
ドライ真空ポンプには、排気経路に油を使用しておらず、油回転真空ポンプに比べてよりクリーンな真空状態がキープできます。
潤滑油を使用しないため、クリーンな環境が求められる半導体産業や先端研究分野では必須といえるポンプでしょう。
また、食品業界などの安全性が優先される分野において、問題なく真空状態を作り出せることも大きなメリットです。
ドライ真空ポンプは、各タイプそれぞれに特性があり、さまざまな技術を生かして開発されています。
ここでは、ドライ真空ポンプの種類別に解説しています。業界や使用用途によって、理想的なドライ真空ポンプは何かをイメージしやすいと思いますので、導入の際のヒントにしてみてください。
スクロール型
「スクロール」と呼ばれる渦巻き状の部品が2つ組み合わさり、片方が旋回運動をすることによって排気を行う真空ポンプ。ドライ真空ポンプの中では部品点数が少なく構造がシンプルなため、メンテナンスが容易なことと、その構造からシール線が長く逆流が極めて少ないことなどがメリットです。
接ガス部だけでなく、ギアオイルなどを一切使用しない形で製造することができ、幅広い現場で使用されているタイプです。
ベーン型
ベーン(回転翼)を使用し、排気する真空ポンプ。基本的に油を使用しないドライベーン真空ポンプは到達圧力が低く、水分や腐食性ガスなどの排気にはあまり適しませんが、コストパフォーマンスに優れています。
吸着搬送など、あまり到達圧力が必要でない用途に適しています。
ルーツ型
まゆ型のローターを多段搭載して回転させる事により、排気を行う真空ポンプです。
半導体製造、真空蒸留、乾燥・脱水、殺菌・消毒などの分野で使われています。
クリーンな真空状態を作り出せるだけでなく、非接触式のため、メンテナンスサイクルが長いのも特徴です。
ダイアフラム型
ダイアフラム(弁)の上下運動を利用したタイプの真空ポンプです。吸入と吐出エリアに弁を設置し、同じ方向へ排気できるような構造で開発されています。
比較的、小型なタイプが多く、持ち運びの利便性が高いのも魅力です。
揺動ピストン型
組み込まれたピストンが偏心カムの働きによって往復運動することで気体を輸送します。構造がシンプルでメンテナンスしやすいのがメリット。低真空状態をつくりたいときの使用に向いており、加工成形や包装などの用途で使用されています。
クロー型
爪の形をした突起のある2本のローターがあるのが特徴。クローローターを逆回転させることで気体を圧縮しており、省エネルギーで真空状態をつくりだせます。真空包装のほか吸着搬送装置、シュリンク機などで活用されています。
上記で紹介した以外にも、多種多様なタイプが存在するドライ真空ポンプ。
摺動部や接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
などのメリットがあり、さまざまな真空装置・環境・用途に幅広く対応できるため、非常におすすめです。
※2021年5月14日時点、「ドライ真空ポンプ」Google検索で上位にヒットした会社のうち、オイルフリーのスクロール型真空ポンプを開発している会社を紹介。
※製品の最高到達圧力は、公式HPに記載のあるスクロール型ドライ真空ポンプのものです。
アネスト岩田 | アルバック機工 | オリオン機械 | |
製品の 最高到達圧力※ |
1Pa | 1Pa | 詳細不明 |
製品の カスタマイズ |
可能 | ロット数次第で可能 | 可能 |
メンテナンス 頻度の目安 |
1年または 8,000時間ごと |
1年または 5,000~8,000時間ごと |
パーツによって 1年~6年ごと |
修理見積り | 無料 | 無料 | 記載なし |
納入事例 の記載 |
あり | - | - |
公式HP |
使用用途、スペック、価格、メンテナンス頻度。
自社に合ったドライ真空ポンプ製品の選び方とは?メーカーの方に直接お話を伺ってみました。
使用用途
ドライ真空ポンプは、各社メーカーで幅広い種類が展開されています。
たとえばベーン型の場合、吸着・搬送機械によく利用されています。
ダイアフラム型は、ろ過や真空チャックなどにおすすめ。
スクロール型やルーツ型の場合、優れた到達圧力を生かして分析機器や漏れ検査などへの使用が可能です。
ドライ真空ポンプはそれぞれの特性を理解して、用途に合った機種を探すことが望ましいといえます。
真空到達度
真空到達度(到達圧力)は、ゼロに近ければ近いほど高真空に到達できることを表す値で、Pa(パスカル)やTorr(トール)、mbar(ミリバール)などで表示されています。
ドライ真空ポンプは、製品ごとにこの真空到達度が異なり、用途によって必要な圧力が変わってくるものなので、必ずメーカーに確認しましょう。
排気速度
真空ポンプは圧力によって排気速度が異なります。
各真空ポンプの性能曲線を確認し、どの程度の圧力にどのくらいの時間で到達したいかを検討して、ポンプの選定をする必要があります。
また、真空にしたい場所の大きさや構造、配管などにより排気時間に大きく差が出ます。可能であればメーカーに依頼して、トライアルを行うのがよいでしょう。
騒音値
作業中の騒音値は気になるものですが、近年では低騒音のドライ真空ポンプが数多く展開されています。
ドライ真空ポンプの機能性はもちろん、導入しようとしている機種がどのくらいの騒音を想定されているものなのか、騒音値だけでなく振動値なども考慮して選ぶと、より導入しやすいでしょう。
オイルフリーで幅広い使用用途が叶うスクロール型のドライ真空ポンプを取り扱っている3社について、詳しいサービスの紹介をしています。
※2021年5月14日時点、「ドライ真空ポンプ」Google検索上位5社のうち、オイルフリーのスクロール型真空ポンプを開発している3社を紹介。
取扱製品数 | 5シリーズ |
製品の 最高到達圧力 |
1Pa |
製品の カスタマイズ |
可能 |
メンテナンス 頻度の目安 |
1年または 8,000時間ごと |
修理見積り | 無料 |
納入事例 の記載 |
あり |
スクロール型・ISPシリーズ
排気速度 (50/60Hz) |
50~250/60~300L/min |
到達圧力 | 20~1.6Pa |
騒音値 | 48~58dB ※エアフラッシュ時 57~66dB |
ベーン型・BDLシリーズ
排気速度 (50/60Hz) |
267/317L/min |
到達圧力 | -90kPa |
騒音値 | ≦65/≦68dB |
アネスト岩田のドライ真空ポンプは、スクロールサイズの種類が多く、多様性をもつのが特徴です。大きなサイズはもちろん、小型装置に組み込めるサイズのものなど、ラインナップを豊富に展開。実用性が高く、多くの業界で幅広く利用されています。
用途に合わせてサイズもカスタマイズもできるため、製品の方向性に対して臨機応変にドライ真空ポンプを製造・提供・カスタマイズしてくれる会社です。
また、自社でECサイトを運営しているため、通信販売サイトを通すよりも安く購入できるかもしれません。
アネスト岩田のドライ真空ポンプは、日本のみならず海外でも使用できるように、多重電圧モーターを搭載。
結線を変更すれば複数の電圧で使用可能で、海外の生産工場やイベント開催時などでも利用しやすい製品となっています。
小型タイプで持ち運びできる製品も用意されているため、国内外・屋内外を問わず多様な使い方ができます。
取扱製品数 | 10シリーズ |
製品の 最高到達圧力※ |
1Pa |
製品の カスタマイズ |
ロット数次第で可能 |
メンテナンス 頻度の目安 |
1年または 5,000~8,000時間ごと |
修理見積り | 無料 |
納入事例 の記載 |
- |
スクロール型・DISLシリーズ
排気速度 (50/60Hz) |
80~346/96~413L/min |
到達圧力 | 30~20Pa |
騒音値 | 記載なし |
ベーン型・DSBシリーズ
排気速度 (50/60Hz) |
141~566/175~683L/min |
到達圧力 | -86.3~-89.3kPa |
騒音値 | 記載なし |
アルバック機工ではラインナップ豊富に多種類のドライ真空ポンプを展開していますが、とくに小型タイプのドライ真空ポンプに強みをもっています。
売り上げ全体の約80%が小型真空ポンプと小型真空機器なのだとか。まさに注力企業と言えるでしょう。
※参考:公式HPより(https://ulvac-kiko.com/company/outline.html)
アルバック機工では、スクロール型ドライ真空ポンプを製造しているほか、ダイアフラム型、ピストン型、回転翼型など、多種多様にドライ真空ポンプをプロデュースしています。
メンテナンスの楽さ、構造のシンプルさ、多機能タイプなど、用途に応じてドライ真空ポンプを選びやすいでしょう。ランニングコストも考慮しながら導入できる製品です。
取扱製品数 | 18シリーズ |
製品の 最高到達圧力※ |
詳細不明 (100Pa以下) |
製品の カスタマイズ |
可能 |
メンテナンス 頻度の目安 |
パーツによって 1年~6年ごと |
修理見積り | 記載なし |
納入事例 の記載 |
- |
スクロール型・KCPHシリーズ
排気速度 (50/60Hz) |
480/500~970/990L/min |
到達圧力 | 100Pa以下 |
騒音値 | 74~79dB |
ベーン型・KRF標準シリーズ
排気速度 (50/60Hz) |
235/280L/min |
到達圧力 | 84/86kPa以上 |
騒音値 | 60~62/62~64dB |
オリオン機械で展開されているドライ真空ポンプは、オイルフリーだけに特化せず、省エネ性も重視して展開されています。
ドライ真空ポンプの省エネルギー化を狙い、インバータ制御のオイルフリー真空ポンプを開発。機能性・静音性・低振動性も考慮し、幅広い視野とニーズに合わせて現場に導入できるでしょう。
オリオン機械では、ドライ真空ポンプを販売して終わりではなく、アフターフォローにも力を入れており、真空ポンプの有料定期点検メニューを独自に提案。
各パーツそれぞれにメンテナンス時期を設定しています。必要に応じて、修理や交換の案内をしてくれるのも魅力的。長いお付き合いができ、新しい機種導入時にも親身になってくれる会社です。
グローバルな視野で展開
ドライ真空ポンプ1つにしてもシステムのコンサルや技術、効率性などを重視して展開。グローバルな視野を活かした開発をしています。
幅広いポンプ製品を用意
創業当時よりドライ真空ポンプの製造を行うイタリアメーカー。油回転ポンプやクローポンプも取り扱っています。
ドライ真空ポンプに関する基礎知識について紹介しています。
そもそもドライ真空ポンプとは?真空ポンプの種類は?ドライ真空ポンプの1段式と2段式の違いは?などの疑問について解説します。
オイル不使用であることから漏れや混入のリスクのないドライ真空ポンプ。クリーンな環境が必要な用途に向いており、吸着・輸送や加工・成形包装、不純物除去・膜形成などで活用されています。
幅広い分野で活用されているドライ真空ポンプですが、故障や不具合を防ぐためにはメンテナンスが重要です。日常点検や定期点検などを行いましょう。なお、ポンプの種類やメーカーによってもメンテナンス方法に違いがあります。
真空状態が必要な場合に使用されるポンプであり、容器内の気体を吸い込んで排出する構造になっています。気体輸送式と気体溜め込み式の2種類の動作原理に分類され、ドライ真空ポンプのほかにも油回転式や水封式などの種類があります。
半導体製造ではクリーンな環境が求められます。そこで真空ポンプを用いて真空状態をつくり、必要な反応のみを起こしやすくしています。また、プラズマ発生や蒸気圧を上げられるという特性から、半導体製造において真空ポンプは欠かせない存在となっています。
ドライ真空ポンプの選定を検討している場合、展示会に参加することは大きな助けとなります。展示会に参加することで、多種多様な製品を効率よく比較検討でき、実物を直接見て確かめられる上、専門家への問い合わせも可能となります。