食品、半導体、薬品(化学品)
業界別ドライ真空ポンプ3選

油潤滑式と比べ、さまざまな場所で活躍できるドライ真空ポンプ。しかし、それだけに多くの機種があり、到達圧力や排気速度といった性能が異なります。
ここでは、ドライ真空ポンプを取り扱うことの多い【食品】【半導体】【薬品・化学品】の3つの業界に着目し、それぞれの業界に適した性能のドライ真空ポンプを紹介します。

【業界別】おすすめのドライ真空ポンプの特徴を紹介

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食品製造向け

アネスト岩田の
DVSLシリーズ

DVSLシリーズ

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/dvsl-500e)

  • 排気経路内にベアリングが無いため、密閉性が向上し衛生面も安心
  • 真空状態でのネリが必要な製麺会社の要望に応えた実例あり
半導体製造向け

宇野澤組鐵工所の
KTSシリーズ

KTSシリーズ

引用元:宇野澤組鐵工所公式HP
(https://www.unozawa.co.jp/product/dry/)

  • 到達圧力:≦0.08Paという半導体製造に適した真空状態を実現 ※KTS030-H(ECOタイプ)最大排気速度:500L/m、到達圧力:≦0.08Pa(2024/5/24時点)
  • スパッタリング装置、イオンプレーティング装置といった薄膜形成プロセスに対応
  • 水蒸気やミストといった小さな水滴もしっかり排出
製薬・化学品製造向け

東製のスクリュー式
ドライ真空ポンプ

スクリュー式ドライ真空ポンプ

引用元:東製HP
(https://www.dryvacuum-pump.com/wp/wp-content/uploads/anestiwata_dvsl-500e_image.png)

  • 化学反応、蒸留操作などに適した環境生成のため、さまざまな圧力領域に対応
  • 接ガス部は耐食性ガス対策のため、特殊コーティングすることにより錆から守る
  • 化学物質や粉塵の発生を考慮し、少ない部品で分解・組立・洗浄が可能

上記3製品を取り扱っている各社の詳細は、下記からご確認いただけます。

【食品製造向け】アネスト岩田

アネスト岩田_公式HPキャプチャ 引用元:アネスト岩田公式HP(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment)

アネスト岩田のドライ真空ポンプの取扱製品例

アネスト岩田_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:アネスト岩田公式HP(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/dvsl-500e)

DVSL-500E

排気速度
(50/60Hz)
433/516 L/min
到達圧力
(50/60Hz)
≦30
電動機出力
(50/60Hz)
0.9/1.1kW
アネスト岩田_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:アネスト岩田公式HP(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/dvsl-100c-b)

DVSL-100C-B

排気速度
(50/60Hz)
100/120 L/min
到達圧力
(50/60Hz)
≦50
電動機出力
(50/60Hz)
0.3kW

アネスト岩田のドライ真空ポンプの特徴

衛生的で高性能!高い製品力とカスタマイズ対応

世界に先駆けて空冷式オイルフリースクロール真空ポンプを開発し、真空ポンプを多様な市場で展開するアネスト岩田。特に食品市場では、製麺機の真空脱泡をはじめ、焼酎の真空蒸留、真空含浸による味付け等多くの用途で導入されています。

スクロール真空ポンプは、油回転式による食品への衛生問題や、水封式による真空度のばらつきといった課題を克服。また、用途や作業環境のニーズに応じてカスタマイズにも対応しています。台車の取付けや部品の材質変更など、他社では断られてしまった仕様変更も相談が可能です。

長いメンテナンスサイクルで維持コスト削減

食品業界の導入実績が豊富なDVSLシリーズは、大気圧付近での連続運転、水蒸気排気にも強いタフなモデルです。冷却水や潤滑油を使用していないため、日常のメンテナンスは不要。高価な真空ポンプ用油や作業費といった保守点検のコストを大幅に軽減できます。

さらに1~2年ごとの定期整備や修理は一貫して自社で行っており、見積もり、送料、手数料、修理報告書は無料で対応。リーディングカンパニーならではの手厚いサポートを受けることができます。

アネスト岩田のドライ真空ポンプ導入事例

老舗製麺機器メーカーへの真空技術導入

アネスト岩田_導入事例画像 引用元:アネスト岩田公式HP(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/case-studies/report03)

日本の麺文化をリードするさぬき麺機株式会社では、スクロール真空ポンプ「DVSLシリーズ」を使用して、麺の品質向上とフードロスの削減に取り組んでいます。

真空ポンプを用いることで、生地作りの過程で空気を排出し、グルテンの水和を促進することが可能。この技術により、麺生地は短時間で粘り強く仕上がり、冷凍麺などにおいても劣化を防ぎ、長期間の美味しさを保持できるようになりました。
さらに、製麺段階での真空処理は酸素や菌の減少にも寄与し、これがフードロス削減にも効果を発揮しています。

真空技術の導入は、食品安全と環境保全の両面で、業界に新たな価値をもたらしています。

参照元:アネスト岩田公式HP(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/case-studies/report03

アネスト岩田の会社情報

【半導体製造向け】宇野澤組鐵工所

宇野澤組鐵工所_公式HPキャプチャ 引用元:宇野澤組鐵工所公式HP(https://www.unozawa.co.jp/)

宇野澤組鐵工所のドライ真空ポンプの取扱製品例

宇野澤組鐵工所_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:宇野澤組鐵工所公式HP(https://www.unozawa.co.jp/product/dry/)

KTSシリーズ

排気速度 280~5000
到達圧力 ≦0.08~≦3
騒音値 ≦56~≦72
宇野澤組鐵工所_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:宇野澤組鐵工所公式HP(https://www.unozawa.co.jp/product/dry/)

TRVシリーズ

排気速度
(50/60Hz)
10~9.5m3/min
到達圧力
(50/60Hz)
50~200Pa
モータ
(50/60Hz)
2.2~15kW

宇野澤組鐵工所のドライ真空ポンプの特徴

半導体製造の発展とともに進んだ技術革新

極めて制御された真空環境を求められる半導体製造において、真空ポンプは多くのプロセスで広く使用されています。半導体製造に適した真空状態(※)を実現したウノサワKTS型ドライ真空ポンプは、ドライ真空ポンプの実績と技術を基に"軽量&コンパクト"を追求して開発された空冷式ドライポンプ。

耐久性のある「ルーツ式」でメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気が可能です。また、スパッタリング装置、イオンプレーティング装置といった薄膜形成プロセスにも対応しています。

※到達圧力:≦0.08Pa…KTS030-H(ECOタイプ)最大排気速度:500L/m、到達圧力:≦0.08Pa(2024/5/24時点)

※参考:[PDF]宇野澤組鐵工所公式HP(https://www.unozawa.co.jp/assets/pdf/product/dry/catalog_KTS.pdf)

多品種少量生産!100年企業ならではの高品質

1899年創業の宇野澤組鐵工所は、風水力機械の専業メーカーとして展開し、長きに渡って高品質の真空ポンプやブロワを生産してきた老舗メーカー。汎用品を生産することは稀で、多くは国内外の顧客のニーズに合わせた受注生産です。

また、宇野澤組鐵工所が生産するポンプの種類は非常に多く、真空から高圧、小型から大型まで、運転条件に応じた様々なポンプを製造しています。

宇野澤組鐵工所のドライ真空ポンプ導入事例

公式サイトに導入事例の記載はありませんでした

宇野澤組鐵工所の会社情報

【製薬・化学品製造向け】東製

東製_公式HPキャプチャ 引用元:東製公式HP(https://www.tohsei-co.com/)

東製のドライ真空ポンプの取扱製品例

東製_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:東製公式HP(https://www.tohsei-co.com/vacuum/)

スクリュー式ドライ真空ポンプ

実行排気速度 1100~3000L/min
到達真空度 0.7~1.3Pa
電動機定格 3.7×2~7.5×2kw×P

東製のドライ真空ポンプの特徴

化学反応・真空蒸留に適切な環境生成が可能

大気圧から到達圧力0.1Pa台まで、幅広い圧力領域で連続運転ができる東製の「スクリュー式ドライ真空ポンプ」。低速運転で機械的な摩耗を最小限に抑え、低騒音化・低振動化を実現しています。

また、特殊コーティングされた接ガス部は優れた耐食性を発揮。少ない部品とシンプルな構造でメンテナンスがしやすいので、凝縮ガスや腐食性ガス等を排気する化学工業プロセスへの最適化を実現しています。

顧客ニーズを叶える3つの柱でトータルサポート

東製では、個性化、技術革新、アフターサービスを指針として、営業から設計・製作・メンテナンスまでトータルプランを提供しています。装置の納品後は担当者が現地を訪問し、装置の使い方や操作方法を指導。ZOOMやメール、電話などでの遠隔指導には無料で対応しているので、コスト面を気にする方には嬉しいポイントでしょう。

また1ヶ月後には無料点検を実施し、不具合などのトラブル対応は原因調査を行うなど、丁寧なアフターメンテナンスを提供しています。

東製のドライ真空ポンプ導入事例

公式サイトに導入事例の記載はありませんでした

東製の会社情報

ドライ真空ポンプの選び方は?

使用用途、スペック、価格、メンテナンス頻度。
自社に合ったドライ真空ポンプ製品の選び方とは?メーカーの方に直接お話を伺ってみました。

ドライ真空ポンプとは

真空ポンプとは、真空状態をつくりだせるポンプのこと。容器内を大気圧以下の真空状態にし、その状態をキープするために容器内の気体を外へ排出します。さまざまな部品や製品の製造段階において真空状態の環境で作業を行う必要があるとき、真空ポンプは欠かせない存在です。
ドライ真空ポンプは真空ポンプの種類のひとつであり、「油を使用せずにクリーンな環境をつくりだせる真空ポンプ」として高い需要を得ています。
ドライ真空ポンプにはスクロール型やルーツ型、ダイアフラム型、回転翼型(ベーン型)などがあり、封止に油や液体を使わず、非接触でクリーンな真空状態をつくりだせます。

ドライ真空ポンプ導入のメリット

ドライ真空ポンプには、排気経路に油を使用しておらず、油回転真空ポンプに比べてよりクリーンな真空状態がキープできます。
潤滑油を使用しないため、クリーンな環境が求められる半導体産業や先端研究分野では必須といえるポンプでしょう。
また、食品業界などの安全性が優先される分野において、問題なく真空状態を作り出せることも大きなメリットです。

ドライ真空ポンプは、各タイプそれぞれに特性があり、さまざまな技術を生かして開発されています。
ここでは、ドライ真空ポンプの種類別に解説しています。業界や使用用途によって、理想的なドライ真空ポンプは何かをイメージしやすいと思いますので、導入の際のヒントにしてみてください。

スクロール型

「スクロール」と呼ばれる渦巻き状の部品が2つ組み合わさり、片方が旋回運動をすることによって排気を行う真空ポンプ。ドライ真空ポンプの中では部品点数が少なく構造がシンプルなため、メンテナンスが容易なことと、その構造からシール線が長く逆流が極めて少ないことなどがメリットです。
接ガス部だけでなく、ギアオイルなどを一切使用しない形で製造することができ、幅広い現場で使用されているタイプです。

ベーン型

ベーン(回転翼)を使用し、排気する真空ポンプ。基本的に油を使用しないドライベーン真空ポンプは到達圧力が低く、水分や腐食性ガスなどの排気にはあまり適しませんが、コストパフォーマンスに優れています。
吸着搬送など、あまり到達圧力が必要でない用途に適しています。

ルーツ型

まゆ型のローターを多段搭載して回転させる事により、排気を行う真空ポンプです。
半導体製造、真空蒸留、乾燥・脱水、殺菌・消毒などの分野で使われています。
クリーンな真空状態を作り出せるだけでなく、非接触式のため、メンテナンスサイクルが長いのも特徴です。

ダイアフラム型

ダイアフラム(弁)の上下運動を利用したタイプの真空ポンプです。吸入と吐出エリアに弁を設置し、同じ方向へ排気できるような構造で開発されています。
比較的、小型なタイプが多く、持ち運びの利便性が高いのも魅力です。

揺動ピストン型

組み込まれたピストンが偏心カムの働きによって往復運動することで気体を輸送します。構造がシンプルでメンテナンスしやすいのがメリット。低真空状態をつくりたいときの使用に向いており、加工成形や包装などの用途で使用されています。

クロー型

爪の形をした突起のある2本のローターがあるのが特徴。クローローターを逆回転させることで気体を圧縮しており、省エネルギーで真空状態をつくりだせます。真空包装のほか吸着搬送装置、シュリンク機などで活用されています。

ニーズに沿ってカスタマイズ

既存のドライ真空ポンプはもちろん、使用用途やニーズに合わせたカスタマイズができるため、自由度の高い会社です。

バリエーション豊富な機種展開

ドライ真空ポンプ製品で豊富なラインナップを展開。シンプルな構造のタイプから、独自のしくみを持つものまで幅広く開発しています。

独自技術を用いた効率性

省エネ性能にこだわった独自技術を前面に出し、数々のドライ真空ポンプを展開。リサイクル性にも注目しています。

長くお付き合いができる

購入して終わりではなく、その後のアフターフォロー体制も充実。メンテナンスはもちろん、次の導入時も丁寧なアドバイスをしてくれる会社です。

科学の力で発展

「科学技術の進歩・発展のために」をコンセプトに、サービスを展開。PKシリーズ、NeoDryシリーズなど多くのドライ真空ポンプを開発しています。

世界規模で展開

国内だけでなく世界規模でドライ真空ポンプを展開。169年以上の歴史をもつ老舗のドライ真空ポンプメーカーです。

小型タイプのドライ真空ポンプ

主に産業設備向けのドライ真空ポンプに特化し、市場展開。小型空冷式やルーツ式ドライ真空ポンプなどを取扱いしています。

機能面性以外でも貢献

スクリュー型や、多段ルーツ型のドライ真空ポンプを展開。非接触式で、排気性能や省エネ性なども重視している会社です。

持ち運びできるタイプ

テフロンダイアフラム型ドライ真空ポンプを中心に、さまざまなシーンで活躍できる機種を展開。小型タイプで持ち運びできる機種もあります。

食品業界で活躍

減圧ろ過・減圧乾燥に特化したドライ真空ポンプを展開。食品衛生や生産現場において、活躍できる機種が多い会社です。

視野を広げて開発

メンテナンス性を生かした機械構造を採用。独自開発のスクリューローターを取り入れたドライ真空ポンプを展開しています。

業界問わず使用可能

半導体、液晶、太陽電池はもちろん、医薬品類やケミカル業界などでも使えるドライ真空ポンプを開発している会社です。

利用者の声を汲んだ製品開発

ドライ真空ポンプはもちろん、その周辺技術や技能も生かした製品開発を実施。現場の声を反映させた製品づくりをしています。

グローバルな視野で展開

ドライ真空ポンプ1つにしてもシステムのコンサルや技術、効率性などを重視して展開。グローバルな視野を活かした開発をしています。

サポート体制が充実

世界各国に拠点があり、オーバーホール品質で長期的に使用できる製品を提供。トータルライフサイクルコスト低減にも注力。

運用後も手厚くサポート

導入時の現地指導のほか、運用後のトラブル発生時もしっかりとサポートしてくれます。トラブルを防止できるフィルターの貸し出しも可能。

専門家が保守まで対応

真空ポンプの専門知識をもつスタッフが設計から保守まで対応してくれます。最大5年間の延長保証も用意。

複数タイプのポンプを用意

設立から130年を迎えたドイツメーカー。複数種の真空ポンプ以外にも、ブロワやコンプレッサーなどを提供可能です。

用途に応じたポンプを提案

ダイフラム・スクリュー・スクロール・ルーツなどさまざまな種類のポンプを提供可能。トータルソリューションで提案してくれます。

実験機器を開発

実験機器製造メーカーとしてダイアフラム型ドライ真空ポンプなどを開発。小型タイプもあり、幅広い用途に対応可能です。

ダイアフラムポンプ専門メーカー

ダイアフラムポンプの開発に特化してきたドイツメーカー。到達圧力や形状などさまざまな種類のポンプを取り扱っています。

給油不要のロータリ真空ポンプ

空気圧機器の製造を実施しており、ロータリ方式の真空ポンプを用意。油を使用しておらず、給油が不要なうえ汚染の心配もありません。

科学研究機器の専門メーカー

理化学機器や計測機器などの製造販売を行っています。カスタマーセンターを設置し、問い合わせや相談にスムーズな対応が可能。

幅広いポンプ製品を用意

創業当時よりドライ真空ポンプの製造を行うイタリアメーカー。油回転ポンプやクローポンプも取り扱っています。

省エネ化にも対応

コンパクトで低騒音なピストンポンプや粉塵発生の少ないルーツポンプを用意。既存ポンプの省エネ仕様変更も可能です。

専用機種の開発に対応

真空ポンプおよびコンプレッサーを製造・販売。「マッチ・ザ・ポンプ」を合言葉に、顧客の仕様に合った専用機種の開発・試作にも対応しています。

歴史で培った独自技術が強み

1985年からドライ真空ポンプの販売を開始。独自技術を生かした真空ポンプ製品の開発に取り組んでいるメーカーです。

実験に適した真空ポンプを開発

スイスに本社を構える理化学機器メーカー・ビュッヒの日本支社です。耐化学薬品性に優れた真空ポンプを開発しています。

ドライ真空ポンプに関する基礎知識について紹介しています。
そもそもドライ真空ポンプとは?真空ポンプの種類は?ドライ真空ポンプの1段式と2段式の違いは?などの疑問について解説します。

ドライ真空ポンプの用途

オイル不使用であることから漏れや混入のリスクのないドライ真空ポンプ。クリーンな環境が必要な用途に向いており、吸着・輸送や加工・成形包装、不純物除去・膜形成などで活用されています。

メンテナンス

幅広い分野で活用されているドライ真空ポンプですが、故障や不具合を防ぐためにはメンテナンスが重要です。日常点検や定期点検などを行いましょう。なお、ポンプの種類やメーカーによってもメンテナンス方法に違いがあります。

真空ポンプとは?

真空状態が必要な場合に使用されるポンプであり、容器内の気体を吸い込んで排出する構造になっています。気体輸送式と気体溜め込み式の2種類の動作原理に分類され、ドライ真空ポンプのほかにも油回転式や水封式などの種類があります。

半導体製造と真空ポンプの需要

半導体製造ではクリーンな環境が求められます。そこで真空ポンプを用いて真空状態をつくり、必要な反応のみを起こしやすくしています。また、プラズマ発生や蒸気圧を上げられるという特性から、半導体製造において真空ポンプは欠かせない存在となっています。

ドライ真空ポンプの展示会

ドライ真空ポンプの選定を検討している場合、展示会に参加することは大きな助けとなります。展示会に参加することで、多種多様な製品を効率よく比較検討でき、実物を直接見て確かめられる上、専門家への問い合わせも可能となります。

ドライ真空ポンプへのインバーター搭載について

インバーターとは、直流電流を交流電流に変換する電子回路で、家電や産業分野で重要な役割を果たしているものです。インバーターを搭載した真空ポンプのメリットには、効率向上、騒音低減、耐久性向上が含まれます。これにより、省エネルギーな運転や環境への影響軽減が実現されます。

ドライ真空ポンプのガスバラストバルブとは

ドライ真空ポンプのガスバラストバルブとは、凝縮性ガスを液体にせず、気体のままで大気中に廃棄できるようにする装備のことです。液体化を避けることで、シャフトシールの劣化予防にも貢献します。またよりクリーンな環境を目指すことにも役立つ装備であり、業務内での環境汚染を軽減させます。

ドライ真空ポンプの省エネ性能

ドライ真空ポンプは24時間365日稼働体制となる場合もあり、省エネ性能が高い製品が求められてきました。昨今では各メーカーがさまざまな工夫により省電力の製品を提供しており、既存のドライ真空ポンプに取り付けるだけのアタッチメントタイプのものも選択できます。

ドライ真空ポンプの省スペース性

省スペース性を重視したドライ真空ポンプは、限られた設置面積でも設置しやすいこと、移設しやすいこと、コスト削減に役立つ可能性があることなど、多くのメリットがあります。各社から省スペースな製品が提供されているため、選択肢のひとつとして考えてください。

ドライ真空ポンプのサーマルプロテクタ

ドライ真空ポンプにおけるサーマルプロテクタとは、本体の過熱状態を防ぐためのものです。モーター巻線が一定の温度になると強制的に切断し、本体の温度を危険ではない状態に保つため、使用における不安を軽減してくれます。

太陽電池製造に適したドライ真空ポンプ

ドライ真空ポンプは太陽電池製造でも必要とされています。反応副生成による負荷の高いプロセスに対応し、空気中のパウダー分・ミスト分を効率よく排気できるようになるためです。実際に太陽電池製造に適するとされるドライ真空ポンプも多数提供されています。

ドライ真空ポンプの1段式と2段式の違い

ドライ真空ポンプには「1段式」と「2段式」があり、さまざまな違いがあるため用途に合わせて選ばなければなりません。1段式のほうが到達圧力が高く、排気速度も大きいものの、目的によっては2段式の方が適していることもあります。

コーティングに適したドライ真空ポンプ

ドライ真空ポンプは不純物の混入を防ぎたいコーティング加工に適しており、薄膜コーティングがその代表的な例です。ソーラーパネルでは、太陽電池としての耐久性や反射防止機能を付加する際に、ドライ真空ポンプによるコーティングが行われています。