三津海製作所(MITSUVAC)

三津海製作所公式HPキャプチャ 引用元:三津海製作所公式HP(https://www.mitsuvac-tokyo.com/)

ここでは、三津海製作所のドライ真空ポンプについて紹介しています。製品のスペックや用途、メーカーの特徴などをまとめました。

ドライ真空ポンプの取扱製品例

三津海製作所_製品画像 引用元:イプロスものづくり(https://www.ipros.jp/product/detail/2000618803/)

MSV-200-3GV

排気速度
50Hz(60Hz)
200(240)L/min以上
到達圧力 0.078~0.196(0.8~2.0)MPa(Kg/cm2)以上
騒音値 85dB以下
三津海製作所_製品画像 引用元:イプロスものづくり(https://www.ipros.jp/product/detail/2000532041)

MF-5

排気速度
50Hz(60Hz)
3.3(4)L/min以上
到達圧力 0.196(2.0)MPa(Kg/cm2)以上
騒音値 56dB以下

三津海製作所社製ドライ真空ポンプの使用用途

真空包装

ロータリー式真空ポンプ「MSV-200-3GV」は、真空計・真空調整バルブ付きモデル。モーター直結タイプなのでコンパクトに設置できます。
脈動の少ない空気として真空用・ブロワー用として使用でき、真空包装の用途に向いています。また、写真製版機や印刷機器、IC関連機器、吸着搬送などの用途でも使用可能。真空度調整はポンプ側で行うことができ、付属の真空計を確認しながら調整を行えます。

医療機器

ダイアフラムタイプ真空ポンプ「MF-5」は小型かつ偏心量が少ないのが特徴。ダイアフラムへの負担を軽減しており、低振動・低騒音を実現しています。また、空気と微量の液体を同時に吸引でき、医療機器での用途に向いています。さらに特殊ガスの吸引も可能であり、ガスに応じてダイアフラムの材質の変更が可能です。

【現場の条件から探す】最適なドライ真空ポンプの選び方

ドライ真空ポンプにはメーカーや製品ごとに異なる「型式(構造)」や「強み」があります。

真空ポンプを選定する際は、単に「オイルフリー(ドライ)であること」だけでなく、「水蒸気を吸うのか」「防爆エリアに設置するのか」「粉塵や溶剤が混ざるのか」といった、現場の具体的な条件に合わせて最適な型式(スクロール式、ルーツ式、スクリュー式など)を選ぶことが、故障を防ぎ生産性を高めるための重要なポイントです。

当サイトでは「現場の課題・条件別」におすすめのドライ真空ポンプとその特徴を詳しく比較・紹介しています。

三津海製作所のドライ真空ポンプの特徴

高耐久・低騒音のドライ真空ポンプを提供

1958年に設立し、1960年には無給油ロータリー真空ポンプ・ブロワーの製作に着手していた三津海製作所。「マッチ・ザ・ポンプ」を合言葉に、顧客ニーズに合った製品の開発を行っています。メンテナンスが容易で故障が少ない製品提供に自信をもっており、高耐久性や低騒音のドライ真空ポンプを求めている方におすすめのメーカーです。

三津海製作所の会社概要

社名 株式会社 三津海製作所
所在地 東京都大田区東蒲田2-16-13
【防爆・腐食性ガス・大流量】
現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選

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防爆エリア設置向け

アネスト岩田の
ISPシリーズ

ISP-250E

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/isp-250e)

  • 防爆モーター搭載のカスタマイズに対応(ポンプ本体は標準仕様のため可燃性ガスの吸気は不可)
  • 大気と真空の繰り返し運転に強いスクロール式構造で、大気付近での連続運転にも対応
  • JALエンジニアリングのFRP成形現場での導入事例あり
腐食性ガス吸引向け

樫山工業の
SDEシリーズ

SDEシリーズ

引用元:樫山工業公式HP
(https://www.kashiyama.com/pumps/product/sde/)

  • 塩素系を含む腐食性ガスの吸引に対応し、半導体や液晶製造装置のハードプロセスで使用
  • ポンプ構造材に耐食材料を採用、温度設定によるデポジット対策にも配慮した設計
  • CVD・スパッタ・蒸着・エッチング・ALDなど多様な半導体プロセスに対応
大流量プロセス向け

大晃機械工業の
SDVシリーズ

SDVシリーズ

引用元:大晃機械工業公式HP
(https://www.taiko-kk.com/jp/vacuum/sdv/)

  • スクリュー式において世界最低速運転を実現するクインビー式(Queen Bee Screw)スクリュー採用
  • SDV-100の電動機定格は50Hz時18.5kW/60Hz時22kWで、大型装置・プラントに対応
  • 化学・医薬/自動車・電子部品/その他産業の業界別ラインアップが整備されている
防爆・腐食性ガス・大流量など現場条件で選ぶ おすすめのドライ真空ポンプメーカーを紹介!

真空ポンプを選定する際は、単に「オイルフリー(ドライ)であること」だけでなく、「水蒸気を吸うのか」「防爆エリアに設置するのか」「粉塵や溶剤が混ざるのか」といった、現場の具体的な条件に合わせて最適な型式(スクロール式、ルーツ式、スクリュー式など)を選ぶことが重要です。
当サイトでは、「現場の課題・条件別」におすすめのドライ真空ポンプメーカーとその特徴を詳しく紹介しています。