オイル不使用・幅広く使えるスクロール型
ドライ真空ポンプメーカー3選
三津海製作所（MITSUVAC）
引用元：三津海製作所公式HP（https://www.mitsuvac-tokyo.com/）ここでは、三津海製作所のドライ真空ポンプについて紹介しています。製品のスペックや用途、メーカーの特徴などをまとめました。
ドライ真空ポンプの取扱製品例
引用元：イプロスものづくり（https://www.ipros.jp/product/detail/2000618803/）MSV-200-3GV
| 排気速度 50Hz（60Hz） |
200（240）L/min以上 |
| 到達圧力 | 0.078～0.196（0.8～2.0）MPa（Kg/cm2）以上 |
| 騒音値 | 85dB以下 |
引用元：イプロスものづくり（https://www.ipros.jp/product/detail/2000532041）MF-5
| 排気速度 50Hz（60Hz） |
3.3（4）L/min以上 |
| 到達圧力 | 0.196（2.0）MPa（Kg/cm2）以上 |
| 騒音値 | 56dB以下 |
三津海製作所社製ドライ真空ポンプの使用用途
真空包装
ロータリー式真空ポンプ「MSV-200-3GV」は、真空計・真空調整バルブ付きモデル。モーター直結タイプなのでコンパクトに設置できます。
脈動の少ない空気として真空用・ブロワー用として使用でき、真空包装の用途に向いています。また、写真製版機や印刷機器、IC関連機器、吸着搬送などの用途でも使用可能。真空度調整はポンプ側で行うことができ、付属の真空計を確認しながら調整を行えます。
医療機器
ダイアフラムタイプ真空ポンプ「MF-5」は小型かつ偏心量が少ないのが特徴。ダイアフラムへの負担を軽減しており、低振動・低騒音を実現しています。また、空気と微量の液体を同時に吸引でき、医療機器での用途に向いています。さらに特殊ガスの吸引も可能であり、ガスに応じてダイアフラムの材質の変更が可能です。
スクロール式のドライ真空ポンプを使うメリットとは？
接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。
三津海製作所のドライ真空ポンプの特徴
高耐久・低騒音のドライ真空ポンプを提供
1958年に設立し、1960年には無給油ロータリー真空ポンプ・ブロワーの製作に着手していた三津海製作所。「マッチ・ザ・ポンプ」を合言葉に、顧客ニーズに合った製品の開発を行っています。メンテナンスが容易で故障が少ない製品提供に自信をもっており、高耐久性や低騒音のドライ真空ポンプを求めている方におすすめのメーカーです。
三津海製作所の会社概要
| 社名 | 株式会社 三津海製作所 |
| 所在地 | 東京都大田区東蒲田2-16-13 |
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食品製造向け アネスト岩田の |
引用元：アネスト岩田公式HP |
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半導体製造向け
宇野澤組鐵工所の |
引用元：宇野澤組鐵工所公式HP |
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製薬・化学品製造向け
東製の |
引用元：東製HP |
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※KTS030-H（ECOタイプ）最大排気速度：500L/m、到達圧力：≦0.08Pa（2024/5/24時点）