芝浦エレテック

芝浦エレテック公式HPキャプチャ 引用元:芝浦エレテック公式HP(https://www.shibaura.co.jp/eletec/)

このページでは、芝浦エレテックが製造販売するピストンポンプやルーツポンプの特徴やサービスについて紹介します。

ドライ真空ポンプの取扱製品例

芝浦エレテック_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:芝浦エレテック公式HP(https://www.shibaura.co.jp/eletec/products/vacuum/piston/)

ピストンポンプ(PSL・PDLシリーズ)

排気速度 記載なし
到達圧力 PSL:13/15/17kPa、PDL:4kPa
騒音値 記載なし
芝浦エレテック_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:芝浦エレテック公式HP(https://www.shibaura.co.jp/eletec/products/vacuum/tmb/)

ルーツポンプ(TMBシリーズ)

排気速度 250/500/1350/2070(50 Hz, m3/h)、300/600/1630/2500(60 Hz, m3/h)
到達圧力 10-2Pa
騒音値 記載なし

芝浦エレテック社製ドライ真空ポンプの使用用途

一般産業での使用用途

たとえば物流倉庫や大型金属加工などで使用される吸着搬送装置には、ピストンポンプなどが使用されています。
また、シリンダなどのエア源としても用いられるなど、幅広い分野で活用されています。

医療用機械での使用用途

医療分野において、血圧計などの医療・健康機器装置にピストンポンプが用いられています。芝浦エレテックのピストンポンプは小型かつ軽量のため、小型サイズの医療機器にも適しています。

半導体産業での使用用途

芝浦エレテックではルーツポンプを取り扱っており、半導体産業などで活用されています。モーター直結型を採用することで粉塵の発生を抑えており、クリーンな環境での作業が可能です。

スクロール式のドライ真空ポンプを使うメリットとは?

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。

芝浦エレテックのドライ真空ポンプの特徴/h2>

数種類の真空ポンプを製造

真空ポンプやレーザ装置、マイクロ波装置などの製造販売を行っている芝浦エレテック。1972年の設立から40年以上の歴史をもっており、日本の各地に拠点を置いています。
真空ポンプでは小型・軽量・低騒音のピストンポンプや、粉塵の発生が少なく保守点検が容易なルーツポンプを扱っており、それぞれサイズや性能の異なる数種類を展開。さまざまな業界や用途で活用できます。

メンテナンスサービスも実施

芝浦エレテックでは真空ポンプのメンテナンスサービスも行っています。ルーツポンプなど芝浦エレテック製の真空ポンプのほか、芝浦エレテック製以外の真空ポンプでも対応可能。九州地区や中部地区、関東地区、東北地区など近くのサービス拠点にて対応してくれます。

真空ポンプの省エネ化や分解洗浄も可能

真空ポンプの装置改善も行っている芝浦エレテック。現在使用している真空ポンプを省エネ仕様に変更してくれます。装置改善前に省エネ効果を確認できるため、期待通りの効果を実感できるでしょう。
また、芝浦エレテックでは部品洗浄なども行っています。真空ポンプの分解洗浄が可能なため、導入した真空ポンプを長期間使用できるでしょう。各社半導体製造装置部品の精密洗浄やドライエッチング装置の反応生成物除去にも対応してくれます。

芝浦エレテックの会社概要

社名 芝浦エレテック株式会社
所在地 神奈川県横浜市栄区笠間二丁目5番1号
オイル不使用・幅広く使えるスクロール型
ドライ真空ポンプメーカー3選

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食品製造向け

アネスト岩田の
DVSLシリーズ

DVSLシリーズ

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/dvsl-500e)

  • 排気経路内にベアリングが無いため、密閉性が向上し衛生面も安心
  • 真空状態でのネリが必要な製麺会社の要望に応えた実例あり
半導体製造向け

宇野澤組鐵工所の
KTSシリーズ

KTSシリーズ

引用元:宇野澤組鐵工所公式HP
(https://www.unozawa.co.jp/product/dry/)

  • 到達圧力:≦0.08Paという半導体製造に適した真空状態を実現
    ※KTS030-H(ECOタイプ)最大排気速度:500L/m、到達圧力:≦0.08Pa(2024/5/24時点)
  • スパッタリング装置、イオンプレーティング装置といった薄膜形成プロセスに対応
  • 水蒸気やミストといった小さな水滴もしっかり排出
製薬・化学品製造向け

東製のスクリュー式
ドライ真空ポンプ

スクリュー式ドライ真空ポンプ

引用元:東製HP
(https://www.dryvacuum-pump.com/wp/wp-content/uploads/anestiwata_dvsl-500e_image.png)

  • 化学反応、蒸留操作などに適した環境生成のため、さまざまな圧力領域に対応
  • 接ガス部は耐食性ガス対策のため、特殊コーティングすることにより錆から守る
  • 化学物質や粉塵の発生を考慮し、少ない部品で分解・組立・洗浄が可能
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。