現場条件別で選ぶドライ真空ポンプメーカー比較

芝浦エレテック

芝浦エレテック公式HPキャプチャ 引用元：芝浦エレテック公式HP（https://www.shibaura.co.jp/eletec/）

このページでは、芝浦エレテックが製造販売するピストンポンプやルーツポンプの特徴やサービスについて紹介します。

ドライ真空ポンプの取扱製品例

芝浦エレテック_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元：芝浦エレテック公式HP（https://www.shibaura.co.jp/eletec/products/vacuum/piston/）

ピストンポンプ（PSL・PDLシリーズ）

排気速度 記載なし
到達圧力 PSL：13/15/17kPa、PDL：4kPa
騒音値 記載なし
芝浦エレテック_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元：芝浦エレテック公式HP（https://www.shibaura.co.jp/eletec/products/vacuum/tmb/）

ルーツポンプ（TMBシリーズ）

排気速度 250/500/1350/2070（50 Hz, m3/h）、300/600/1630/2500（60 Hz, m3/h）
到達圧力 10-2Pa
騒音値 記載なし

芝浦エレテック社製ドライ真空ポンプの使用用途

一般産業での使用用途

たとえば物流倉庫や大型金属加工などで使用される吸着搬送装置には、ピストンポンプなどが使用されています。
また、シリンダなどのエア源としても用いられるなど、幅広い分野で活用されています。

医療用機械での使用用途

医療分野において、血圧計などの医療・健康機器装置にピストンポンプが用いられています。芝浦エレテックのピストンポンプは小型かつ軽量のため、小型サイズの医療機器にも適しています。

半導体産業での使用用途

芝浦エレテックではルーツポンプを取り扱っており、半導体産業などで活用されています。モーター直結型を採用することで粉塵の発生を抑えており、クリーンな環境での作業が可能です。

【現場の条件から探す】最適なドライ真空ポンプの選び方

ドライ真空ポンプにはメーカーや製品ごとに異なる「型式（構造）」や「強み」があります。

真空ポンプを選定する際は、単に「オイルフリー（ドライ）であること」だけでなく、「水蒸気を吸うのか」「防爆エリアに設置するのか」「粉塵や溶剤が混ざるのか」といった、現場の具体的な条件に合わせて最適な型式（スクロール式、ルーツ式、スクリュー式など）を選ぶことが、故障を防ぎ生産性を高めるための重要なポイントです。

当サイトでは「現場の課題・条件別」におすすめのドライ真空ポンプとその特徴を詳しく比較・紹介しています。

【現場条件別】
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芝浦エレテックのドライ真空ポンプの特徴

数種類の真空ポンプを製造

真空ポンプやレーザ装置、マイクロ波装置などの製造販売を行っている芝浦エレテック。1972年の設立から40年以上の歴史をもっており、日本の各地に拠点を置いています。
真空ポンプでは小型・軽量・低騒音のピストンポンプや、粉塵の発生が少なく保守点検が容易なルーツポンプを扱っており、それぞれサイズや性能の異なる数種類を展開。さまざまな業界や用途で活用できます。

メンテナンスサービスも実施

芝浦エレテックでは真空ポンプのメンテナンスサービスも行っています。ルーツポンプなど芝浦エレテック製の真空ポンプのほか、芝浦エレテック製以外の真空ポンプでも対応可能。九州地区や中部地区、関東地区、東北地区など近くのサービス拠点にて対応してくれます。

真空ポンプの省エネ化や分解洗浄も可能

真空ポンプの装置改善も行っている芝浦エレテック。現在使用している真空ポンプを省エネ仕様に変更してくれます。装置改善前に省エネ効果を確認できるため、期待通りの効果を実感できるでしょう。
また、芝浦エレテックでは部品洗浄なども行っています。真空ポンプの分解洗浄が可能なため、導入した真空ポンプを長期間使用できるでしょう。各社半導体製造装置部品の精密洗浄やドライエッチング装置の反応生成物除去にも対応してくれます。

芝浦エレテックの会社概要

社名 芝浦エレテック株式会社
所在地 神奈川県横浜市栄区笠間二丁目5番1号
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防爆エリア設置向け

アネスト岩田の
ISPシリーズ

公式HPで
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ISP-250E

引用元：アネスト岩田公式HP
（https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/isp-250e）
  • 防爆モーター搭載のカスタマイズに対応（ポンプ本体は標準仕様のため可燃性ガスの吸気は不可）
  • 大気と真空の繰り返し運転に強いスクロール式構造で、大気付近での連続運転にも対応
  • JALエンジニアリングのFRP成形現場での導入事例あり
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腐食性ガス吸引向け

樫山工業の
SDEシリーズ

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SDEシリーズ

引用元：樫山工業公式HP
（https://www.kashiyama.com/pumps/product/sde/）
  • 塩素系を含む腐食性ガスの吸引に対応し、半導体や液晶製造装置のハードプロセスで使用
  • ポンプ構造材に耐食材料を採用、温度設定によるデポジット対策にも配慮した設計
  • CVD・スパッタ・蒸着・エッチング・ALDなど多様な半導体プロセスに対応
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大流量プロセス向け

大晃機械工業の
SDVシリーズ

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SDVシリーズ

引用元：大晃機械工業公式HP
（https://www.taiko-kk.com/jp/vacuum/sdv/）
  • スクリュー式において世界最低速運転を実現するクインビー式（Queen Bee Screw）スクリュー採用
  • SDV-100の電動機定格は50Hz時18.5kW／60Hz時22kWで、大型装置・プラントに対応
  • 化学・医薬／自動車・電子部品／その他産業の業界別ラインアップが整備されている
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防爆・腐食性ガス・大流量など現場条件で選ぶ おすすめのドライ真空ポンプメーカーを紹介！

真空ポンプを選定する際は、単に「オイルフリー（ドライ）であること」だけでなく、「水蒸気を吸うのか」「防爆エリアに設置するのか」「粉塵や溶剤が混ざるのか」といった、現場の具体的な条件に合わせて最適な型式（スクロール式、ルーツ式、スクリュー式など）を選ぶことが重要です。
当サイトでは、「現場の課題・条件別」におすすめのドライ真空ポンプメーカーとその特徴を詳しく紹介しています。

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