芝浦エレテック

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。

真空ポンプやレーザ装置、マイクロ波装置などの製造販売を行っている芝浦エレテック。1972年の設立から40年以上の歴史をもっており、日本の各地に拠点を置いています。
真空ポンプでは小型・軽量・低騒音のピストンポンプや、粉塵の発生が少なく保守点検が容易なルーツポンプを扱っており、それぞれサイズや性能の異なる数種類を展開。さまざまな業界や用途で活用できます。

芝浦エレテックでは真空ポンプのメンテナンスサービスも行っています。ルーツポンプなど芝浦エレテック製の真空ポンプのほか、芝浦エレテック製以外の真空ポンプでも対応可能。九州地区や中部地区、関東地区、東北地区など近くのサービス拠点にて対応してくれます。

真空ポンプの装置改善も行っている芝浦エレテック。現在使用している真空ポンプを省エネ仕様に変更してくれます。装置改善前に省エネ効果を確認できるため、期待通りの効果を実感できるでしょう。
また、芝浦エレテックでは部品洗浄なども行っています。真空ポンプの分解洗浄が可能なため、導入した真空ポンプを長期間使用できるでしょう。各社半導体製造装置部品の精密洗浄やドライエッチング装置の反応生成物除去にも対応してくれます。