ダイアフラム型ドライ真空ポンプ

ダイヤフラム型のドライ真空ポンプは、ダイヤフラムの往復運動を利用して排気をするタイプの機種です。液体を使用しなくても手軽に使用できるため、利便性の高さも注目されています。ダイヤフラム型のドライ真空ポンプの構造やメカニズムをはじめ、メリットや使用シーンなどをまとめました。

ダイヤフラム型ドライ真空ポンプの構造・原理

上下運動で稼働する真空ポンプ

ダイヤフラム型のドライ真空ポンプは、ダイヤフラムの上下運動を繰り返し、吸気口から入った気体を排出口へスムーズに出す仕組みで動きます。上下運動で排出するシンプルな構造ですが、同じ方向に空気を輸送可能。より、スムーズな作業ができます。
シンプルな稼働システムでメンテナンスが楽
ローターを回転やコネクティングロッドの働きで、ダイヤフラムへ動力を伝達。ドライ真空ポンプとしての働きの高さはもちろん、難しいシステムではありません。メンテナンスのしやすさにも注目されている機種です。油や液体を使用しないため、使用環境でもクリーンな状態をキープできます。

向いている使用用途

ダイヤフラム型ドライ真空ポンプは、以下のシーンでよく利用されています。

  • 真空排気
  • 真空濃縮
  • ろ過
  • 真空チャック
  • 脱ガス脱泡
  • フィルム吸着
  • 包装機械
  • 光学機械
  • 真空ピンセット
  • 医療用機械
  • 印刷機械

シンプルな構造やメカニズムはもちろん、導入のしやすさやメンテナンス性の高さなどから、多くの業界で採用されています。価格帯も各メーカーで幅広く展開されているため、ニーズにあったダイヤフラム型ドライ真空ポンプが導入できるでしょう。使用用途にマッチするか?はもちろん、導入してからのアフターフォロー体制の充実さも考慮してメーカーを選ぶと◎。オーバーホールやメンテナンス時にスムーズに対応してもらえます。

ダイアフラム型ドライ真空ポンプを
扱っているメーカー

アルバック機工

アルバック機工ではダイアフラム型をはじめとしたさまざまな種類の真空ポンプを開発しており、利用シーンや使用用途に応じて最適な真空ポンプを提案しています。アルバック機工のダイアフラム型ドライ真空ポンプはシンプルな構造で、メンテナンスもしやすいのが特徴。用途に合わせて選べるさまざまな製品シリーズがあり、腐食性の高い気体を扱い現場には高耐食性のDTCシリーズがおすすめです。

佐藤真空

佐藤真空は、真空技術を使ったものづくりに80年以上取り組んでいる真空専門メーカーです。佐藤真空のダイアフラム型ドライ真空ポンプには真空室内にテフロン系部品が採用されており、有機溶媒系ガスや腐食性ガスを吸引しても高い耐食性を発揮するのが特徴。到達圧力もダイアフラム型としてハイレベルな性能を持ち、高い真空能力が必要な高沸点溶媒などにも対応できます。

柴田科学

柴田科学は、官公庁や大学、企業の研究開発支援機器を製造販売しているメーカーです。柴田科学のダイヤフラム真空ポンプにはテフロンが用いられており、耐食性に優れているのが特徴。また、環境に配慮した省エネルギー性能も搭載されています。低騒音・低振動で、実験や研究の邪魔をしません。また、持ち運べる軽量コンパクト設計のダイヤフラム真空ポンプも扱っています。

完全オイルフリーのドライ真空ポンプを使用するメリット

オイル不使用なのはもちろん、空冷式タイプのドライ真空ポンプであれば、水も使用しません。オイルフリードライ真空ポンプは、メンテナンスのしやすさや利便性の高さもメリットと言えるでしょう。
また、摺動部だけでなく、ギアオイルなども使っていないスクロールタイプのドライ真空ポンプであれば、使用時のオイルはもちろん、潤滑油や中の機材パーツにもオイルが使用されていないので、「とにかくクリーンな環境下で作業をする」場合におすすめです。

オイル不使用・幅広く使えるスクロール型
ドライ真空ポンプメーカー3選

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食品製造向け

アネスト岩田の
DVSLシリーズ

DVSLシリーズ

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/dvsl-500e)

  • 排気経路内にベアリングが無いため、密閉性が向上し衛生面も安心
  • 真空状態でのネリが必要な製麺会社の要望に応えた実例あり
半導体製造向け

宇野澤組鐵工所の
KTSシリーズ

KTSシリーズ

引用元:宇野澤組鐵工所公式HP
(https://www.unozawa.co.jp/product/dry/)

  • 到達圧力:≦0.08Paという半導体製造に適した真空状態を実現
    ※KTS030-H(ECOタイプ)最大排気速度:500L/m、到達圧力:≦0.08Pa(2024/5/24時点)
  • スパッタリング装置、イオンプレーティング装置といった薄膜形成プロセスに対応
  • 水蒸気やミストといった小さな水滴もしっかり排出
製薬・化学品製造向け

東製のスクリュー式
ドライ真空ポンプ

スクリュー式ドライ真空ポンプ

引用元:東製HP
(https://www.dryvacuum-pump.com/wp/wp-content/uploads/anestiwata_dvsl-500e_image.png)

  • 化学反応、蒸留操作などに適した環境生成のため、さまざまな圧力領域に対応
  • 接ガス部は耐食性ガス対策のため、特殊コーティングすることにより錆から守る
  • 化学物質や粉塵の発生を考慮し、少ない部品で分解・組立・洗浄が可能
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。