クロー型ドライ真空ポンプ

クロー型ドライ真空ポンプは容積移送式のなかでも回転式に分類されるドライポンプです。完全オイルフリーなうえエネルギー需要を削減できるためクリーンな排気・省エネ・低メンテナンスであるのが特徴。
このページでは、クロー型ドライ真空ポンプの構造原理や使用用途について紹介しますので、ぜひ参考にしてください。

クロー型ドライ真空ポンプの構造・原理

爪状の2本のローターを逆回転させ気体を圧縮
クロー型ドライ真空ポンプは、ベーンポンプや多段ルーツポンプ、スクロールポンプ、スクリューポンプなどと並び回転式に分類されます。クローは爪を意味しており、爪の形をした突起をもつ2本のクローローターがあるのが特徴。2本のクローローターは接触しないまま互いに逆方向に同じ速度で回転します。回転によってクロー間に圧縮ポケットが形成され、吸引したガスを圧縮して排気する仕組みです。
クリーンな排気のほか省エネと低メンテナンスも実現
2本のクローローターの隙間は非常に狭いものの、回転しても接触せず、ハウジングにも接触しません。圧縮チャンバー内の潤滑剤や作動流体も不要です。
このようにシリンダー内で接触するパーツがない・潤滑油などを使用しないという特徴から、クロー型ドライ真空ポンプは「クリーンな排気・吐出が可能」「メンテナンスの頻度を抑えられる(汚れや摩耗が少ない)」というメリットをもっています。また、2本のクローローターが効率よく気体を圧縮できるため消費電力を抑えられ「省エネを実現できる(余計な動力が必要ない)」という魅力ももっています。

向いている使用用途

クロー型ドライ真空ポンプは、以下の使用用途に適しています。

  • 真空包装
  • シュリンク機
  • 食品容器成形
  • 吸着搬送装置
  • 木材加工機
  • 空気輸送など

「クリーンな排気」「省エネ」「低メンテナンス」という特性から、クロー型ドライ真空ポンプはさまざまな分野で活用されています。たとえば対象物を傷つけずに搬送できる吸着搬送装置のほか、真空包装や食品容器の成形、木材加工機、シュリンク機などで使用可能。

なお、クロー型ドライ真空ポンプは潤滑油や作動流体の使用がなく圧縮チャンバー内で接触し合うパーツもないことから、メンテナンスの頻度を最小限に抑えられます。ただし不具合が生じた場合などを考慮すると、導入後のアフターフォローが充実しているメーカーを選ぶことをおすすめします。

完全オイルフリーのドライ真空ポンプを使用するメリット

オイル不使用なのはもちろん、空冷式タイプのドライ真空ポンプであれば、水も使用しません。オイルフリードライ真空ポンプは、メンテナンスのしやすさや利便性の高さもメリットと言えるでしょう。
また、摺動部だけでなく、ギアオイルなども使っていないスクロールタイプのドライ真空ポンプであれば、使用時のオイルはもちろん、潤滑油や中の機材パーツにもオイルが使用されていないので、「とにかくクリーンな環境下で作業をする」場合におすすめです。

クロー型ドライ真空ポンプを扱っているメーカー

オリオン機械

無給回転真空ポンプを開発したオリオン機械。静音・長寿命化を実現しており、インバータ制御のオイルフリー真空ポンプも開発。クロー型ドライ真空ポンプでは「KCPシリーズ」や「KCEシリーズ」「KCMシリーズ」などをラインアップしています。KCPシリーズでは高効率ロータを採用しており、少ない動力でも大流量を確保できます。

ライボルト

ドイツに本社のあるライボルト。真空技術を強みとしており、チャンバ包装や調整ふん囲気包装などの用途におすすめ。クロー型ドライ真空ポンプでは「CLAWVAC」をラインアップしており、耐腐食性のポンプチャンバーとステンレス鋼のクローを採用。効率的な空気冷却と高いクリーニング性により、運用中のトラブルを抑えています。

Busch Vacuum Solutions(日本ブッシュ)

1963年に創業しており、世界各国に子会社や販売拠点をもっています。自社独自のテクノロジーによる真空システムソリューションを提供しており、クロー型ドライ真空ポンプでは「MINKシリーズ」を開発。効率の良い真空ポンプで排気速度をキープでき、大幅な省エネを実現。ほぼメンテナンスフリーであるのも魅力的です。

エドワーズ(EDWARDS)

真空ポンプの専門家をおいているエドワーズ。ポンプに関する知識が豊富であり、真空装置の設計から試運転まで対応しています。
クロー型ドライ真空ポンプでは「EDCドライクロー」をラインアップ。シンプルで堅牢性が高く、耐久性に優れたステンレスを採用しています。さらに長寿命の軸受けとシールを装備することにより、メンテナンスの頻度を削減。

D.V.P. Vacuum Technology s.p.a.(スコットプランニング)

イタリアの会社であり、日本ではスコットプランニングが代理販売を行っています。扱うポンプの種類は豊富なうえ、修理や改造にも対応可能。
クロー型ドライ真空ポンプでは「PA」「VA」シリーズを展開しており、低い運用コストを実現。環境や食品、医学、包装、空気輸送、印刷などの分野におすすめです。

オイル不使用・幅広く使えるスクロール型
ドライ真空ポンプメーカー3選

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食品製造向け

アネスト岩田の
DVSLシリーズ

DVSLシリーズ

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/dvsl-500e)

  • 排気経路内にベアリングが無いため、密閉性が向上し衛生面も安心
  • 真空状態でのネリが必要な製麺会社の要望に応えた実例あり
半導体製造向け

宇野澤組鐵工所の
KTSシリーズ

KTSシリーズ

引用元:宇野澤組鐵工所公式HP
(https://www.unozawa.co.jp/product/dry/)

  • 到達圧力:≦0.08Paという半導体製造に適した真空状態を実現
    ※KTS030-H(ECOタイプ)最大排気速度:500L/m、到達圧力:≦0.08Pa(2024/5/24時点)
  • スパッタリング装置、イオンプレーティング装置といった薄膜形成プロセスに対応
  • 水蒸気やミストといった小さな水滴もしっかり排出
製薬・化学品製造向け

東製のスクリュー式
ドライ真空ポンプ

スクリュー式ドライ真空ポンプ

引用元:東製HP
(https://www.dryvacuum-pump.com/wp/wp-content/uploads/anestiwata_dvsl-500e_image.png)

  • 化学反応、蒸留操作などに適した環境生成のため、さまざまな圧力領域に対応
  • 接ガス部は耐食性ガス対策のため、特殊コーティングすることにより錆から守る
  • 化学物質や粉塵の発生を考慮し、少ない部品で分解・組立・洗浄が可能
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。