太陽電池製造に適したドライ真空ポンプ

太陽電池製造にはドライ真空ポンプが必要とされます。実際に太陽電池製造の分野に適したモデルも多数提供されており、導入すればより良い環境での製造が可能となるでしょう。このページでは太陽電池製造に適したドライ真空ポンプについて、必要とされる理由と実際の製品事例をご紹介します。

太陽電池製造にドライ真空ポンプが必要な理由

太陽電池製造にはドライ真空ポンプが必要だとされていますが、その理由は製造過程で発生する反応副生成による負荷の高いプロセスに対応できるためです。またスクリュー形式のものは空気やガスに含まれるパウダー分やミスト分を排気する効率性に優れています。

油や液体を使用しないことから、クリーンな環境での製造が可能となることも理由のひとつです。

太陽電池製造に適したドライ真空ポンプの製品事例

【荏原製作所】EV-M型

省エネ性能が高いものの排気量110,000L/minのモデルも揃っているドライ真空ポンプシリーズです。耐腐食性材料が使われているため、長寿命で過酷な環境下での使用にも耐えられるでしょう。主に半導体、液晶、太陽電池製造において適した製品です。

【EDWARDS】EDSドライスクリュ真空ポンプ

空冷式・水冷式と2種類が用意されており、汚染物質処理能力の高い製品です。スクリュ設計が堅牢であることから微粒子に対する耐性も備えており、防爆認証も得ています。また粗挽き速度が早いことからダウンタイムが短く、作業を迅速に進めたいというニーズにも応えられるでしょう。太陽電池をはじめ、ほとんどすべての用途に適しているドライ真空ポンプです。

【TAIKO】真空ポンプ

独自のスクリュー形状を採用したドライ真空ポンプで、太陽電池製造だけでなく半導体、液晶、医薬、ケミカル業界にも適しています。表面には二硫化モリブデン系耐熱性樹脂コーティングと無電解メッキが施されており、耐食性も向上させていることが特徴です。

太陽電池製造に適したドライ真空ポンプを検討しよう

太陽電池製造にはドライ真空ポンプが必要とされます。その理由は反応副生成による負荷に耐えるためであったり、空気・ガス中のパウダー分やミスト分を排気する効率性の良さだったりします。

実際に太陽電池製造に適したドライ真空ポンプも提供されており、選択肢の幅は豊富です。

当サイトではドライ真空ポンプを選ぶ際に役立つ情報を多数掲載しています。ドライ真空ポンプの性能やメーカーの対応力を比較したり、ドライ真空ポンプのタイプについて解説したりしていますので、どの製品・メーカーを選ぶべきかと迷った際にはぜひ参考にして、自社の用途にピッタリのものを選んでください。

オイル不使用・幅広く使えるスクロール型
ドライ真空ポンプメーカー3選

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食品製造向け

アネスト岩田の
DVSLシリーズ

DVSLシリーズ

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/dvsl-500e)

  • 排気経路内にベアリングが無いため、密閉性が向上し衛生面も安心
  • 真空状態でのネリが必要な製麺会社の要望に応えた実例あり
半導体製造向け

宇野澤組鐵工所の
KTSシリーズ

KTSシリーズ

引用元:宇野澤組鐵工所公式HP
(https://www.unozawa.co.jp/product/dry/)

  • 到達圧力:≦0.08Paという半導体製造に適した真空状態を実現
    ※KTS030-H(ECOタイプ)最大排気速度:500L/m、到達圧力:≦0.08Pa(2024/5/24時点)
  • スパッタリング装置、イオンプレーティング装置といった薄膜形成プロセスに対応
  • 水蒸気やミストといった小さな水滴もしっかり排出
製薬・化学品製造向け

東製のスクリュー式
ドライ真空ポンプ

スクリュー式ドライ真空ポンプ

引用元:東製HP
(https://www.dryvacuum-pump.com/wp/wp-content/uploads/anestiwata_dvsl-500e_image.png)

  • 化学反応、蒸留操作などに適した環境生成のため、さまざまな圧力領域に対応
  • 接ガス部は耐食性ガス対策のため、特殊コーティングすることにより錆から守る
  • 化学物質や粉塵の発生を考慮し、少ない部品で分解・組立・洗浄が可能
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。