太陽電池製造に適したドライ真空ポンプ

太陽電池製造にはドライ真空ポンプが必要とされます。実際に太陽電池製造の分野に適したモデルも多数提供されており、導入すればより良い環境での製造が可能となるでしょう。このページでは太陽電池製造に適したドライ真空ポンプについて、必要とされる理由と実際の製品事例をご紹介します。

太陽電池製造にドライ真空ポンプが必要な理由

太陽電池製造にはドライ真空ポンプが必要だとされていますが、その理由は製造過程で発生する反応副生成による負荷の高いプロセスに対応できるためです。またスクリュー形式のものは空気やガスに含まれるパウダー分やミスト分を排気する効率性に優れています。

油や液体を使用しないことから、クリーンな環境での製造が可能となることも理由のひとつです。

太陽電池製造に適したドライ真空ポンプの製品事例

【荏原製作所】EV-M型

省エネ性能が高いものの排気量110,000L/minのモデルも揃っているドライ真空ポンプシリーズです。耐腐食性材料が使われているため、長寿命で過酷な環境下での使用にも耐えられるでしょう。主に半導体、液晶、太陽電池製造において適した製品です。

【EDWARDS】EDSドライスクリュ真空ポンプ

空冷式・水冷式と2種類が用意されており、汚染物質処理能力の高い製品です。スクリュ設計が堅牢であることから微粒子に対する耐性も備えており、防爆認証も得ています。また粗挽き速度が早いことからダウンタイムが短く、作業を迅速に進めたいというニーズにも応えられるでしょう。太陽電池をはじめ、ほとんどすべての用途に適しているドライ真空ポンプです。

【TAIKO】真空ポンプ

独自のスクリュー形状を採用したドライ真空ポンプで、太陽電池製造だけでなく半導体、液晶、医薬、ケミカル業界にも適しています。表面には二硫化モリブデン系耐熱性樹脂コーティングと無電解メッキが施されており、耐食性も向上させていることが特徴です。

太陽電池製造に適したドライ真空ポンプを検討しよう

太陽電池製造にはドライ真空ポンプが必要とされます。その理由は反応副生成による負荷に耐えるためであったり、空気・ガス中のパウダー分やミスト分を排気する効率性の良さだったりします。

実際に太陽電池製造に適したドライ真空ポンプも提供されており、選択肢の幅は豊富です。

当サイトではドライ真空ポンプを選ぶ際に役立つ情報を多数掲載しています。ドライ真空ポンプの性能やメーカーの対応力を比較したり、ドライ真空ポンプのタイプについて解説したりしていますので、どの製品・メーカーを選ぶべきかと迷った際にはぜひ参考にして、自社の用途にピッタリのものを選んでください。

【防爆・腐食性ガス・大流量】
現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選

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防爆エリア設置向け

アネスト岩田の
ISPシリーズ

ISP-250E

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/isp-250e)

  • 防爆モーター搭載のカスタマイズに対応(ポンプ本体は標準仕様のため可燃性ガスの吸気は不可)
  • 大気と真空の繰り返し運転に強いスクロール式構造で、大気付近での連続運転にも対応
  • JALエンジニアリングのFRP成形現場での導入事例あり
腐食性ガス吸引向け

樫山工業の
SDEシリーズ

SDEシリーズ

引用元:樫山工業公式HP
(https://www.kashiyama.com/pumps/product/sde/)

  • 塩素系を含む腐食性ガスの吸引に対応し、半導体や液晶製造装置のハードプロセスで使用
  • ポンプ構造材に耐食材料を採用、温度設定によるデポジット対策にも配慮した設計
  • CVD・スパッタ・蒸着・エッチング・ALDなど多様な半導体プロセスに対応
大流量プロセス向け

大晃機械工業の
SDVシリーズ

SDVシリーズ

引用元:大晃機械工業公式HP
(https://www.taiko-kk.com/jp/vacuum/sdv/)

  • スクリュー式において世界最低速運転を実現するクインビー式(Queen Bee Screw)スクリュー採用
  • SDV-100の電動機定格は50Hz時18.5kW/60Hz時22kWで、大型装置・プラントに対応
  • 化学・医薬/自動車・電子部品/その他産業の業界別ラインアップが整備されている
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。