ここでは、ドライ真空ポンプを扱っている神港精機について、製品例や特徴をまとめています。
スクリュー式・SST/SSXシリーズ
排気速度 (50/60Hz) |
970~5000L/min |
到達圧力 | 1.0~0.6Pa |
騒音値 | 記載なし |
スクリュー式・SSHシリーズ
排気速度 | 1,030~3,000L/min |
到達圧力 | 1.0~0.6Pa |
騒音値 | 記載なし |
半導体・電子部品製造での用途
半導体や電子部品製造分野では、「蒸着」、「スパッタリング」、「エッチング」などの用途があり、「後工程装置」、「シリコン単結晶引上装置」、「真空洗浄装置」、「真空半田付装置(パワー半導体)」、「封止装置(半導体チップ)」、「薄膜形成装置(金型・電子デバイス)」、「吸着搬送用真空源(小型電子部品)」などの装置に使用されます。
一般産業での用途
工業炉では、「真空焼結炉 (超硬・マグネット・MIM・グラファイト・セラミック)」、「真空焼入・焼戻炉(金属部品)」などに使われるほか、「脱脂」、「浸炭」、「一般熱処理」などの用途があります。
樹脂成形では、「容器成型装置(食品トレー)」、「樹脂押出成形機(各種エンプラ)」などに使用されます。
化学品・食品・医薬品では、「真空蒸留装置(化学・医薬中間体)」、「反応槽(化学品・接着剤)」、「凍結乾燥装置(フリーズドライ製品)」、「真空滅菌装置(医療器具)」に使われるほか、「重合」、「脱水」、「乾燥」、「濃縮」などの用途があります。
そのほか、「吸着搬送」、「ガス置換」、「封止排気」などの用途があります。
研究開発分野での用途
大学や研究所などの研究機関での用途としては、実験室や研究室で使われる「エバポレータ」、「環境試験機」などに使用されています。
接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。
凝固性ガス・粉体・生成物の吸引もOK!
神港精機のドライ真空ポンプ(スクリュー式)SST/SSXシリーズは、従来、ドライポンプには不向きとされていた、ハードプロセスにおいて、凝固性ガス・粉体・生成物を吸引した場合でも安定した運転が可能です。
自社開発のスクリューローターや、メンテナンスしやすい機械構成、オプションの選択により、それが可能になっています。
豊富なオプションと内臓コントローラー
SST/SSXシリーズは、オプションが豊富なことも大きな特徴です。クリーニング吸気管セット、メンテナンス架台セット、ヒーターセットなど豊富なオプションで、ニーズに適した仕様を提案します。
また、屋外型、耐圧防爆型、高効率型などのモータを搭載することも可能です。
SSHシリーズは、様々な保護機能をもつポンプコントローラーを内蔵しており、外部からの制御も可能です。
省エネ
SSHシリーズは、高効率のDCブラシレスモータで、モータの回転数を制御することで始動電流を低減する「エコノミーモード」を選択することができます。運転中も「パワーモード」との切り替えが可能です。
また、50/60Hzの地域による能力差も解消しています。
これにより、年間約64,000円の節電効果と年間約1.4トンのCO²排出量削減が可能になりました(誘導モータ対比:年間約9,000h運転した場合)。
社名 | 神港精機株式会社 |
所在地 | 神戸市西区高塚台3丁目1番35号 |