【防爆・腐食性ガス・大流量】
現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選
神港精機
引用元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/）ここでは、ドライ真空ポンプを扱っている神港精機について、製品例や特徴をまとめています。
ドライ真空ポンプの取扱製品例
引用元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/products/100/）スクリュー式・SST/SSXシリーズ
| 排気速度 （50/60Hz） |
970～5000L/min |
| 到達圧力 | 1.0～0.6Pa |
| 騒音値 | 記載なし |
引用元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/products/105/）スクリュー式・SSHシリーズ
| 排気速度 | 1,030～3,000L/min |
| 到達圧力 | 1.0～0.6Pa |
| 騒音値 | 記載なし |
神港精機社製ドライ真空ポンプの使用用途
半導体・電子部品製造での用途
半導体や電子部品製造分野では、「蒸着」、「スパッタリング」、「エッチング」などの用途があり、「後工程装置」、「シリコン単結晶引上装置」、「真空洗浄装置」、「真空半田付装置（パワー半導体）」、「封止装置（半導体チップ）」、「薄膜形成装置（金型・電子デバイス）」、「吸着搬送用真空源（小型電子部品）」などの装置に使用されます。
一般産業での用途
工業炉では、「真空焼結炉 （超硬・マグネット・MIM・グラファイト・セラミック）」、「真空焼入・焼戻炉（金属部品）」などに使われるほか、「脱脂」、「浸炭」、「一般熱処理」などの用途があります。
樹脂成形では、「容器成型装置（食品トレー）」、「樹脂押出成形機（各種エンプラ）」などに使用されます。
化学品・食品・医薬品では、「真空蒸留装置（化学・医薬中間体）」、「反応槽（化学品・接着剤）」、「凍結乾燥装置（フリーズドライ製品）」、「真空滅菌装置（医療器具）」に使われるほか、「重合」、「脱水」、「乾燥」、「濃縮」などの用途があります。
そのほか、「吸着搬送」、「ガス置換」、「封止排気」などの用途があります。
研究開発分野での用途
大学や研究所などの研究機関での用途としては、実験室や研究室で使われる「エバポレータ」、「環境試験機」などに使用されています。
スクロール式のドライ真空ポンプを使うメリットとは？
接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。
神港精機のドライ真空ポンプの特徴
凝固性ガス・粉体・生成物の吸引もOK！
神港精機のドライ真空ポンプ（スクリュー式）SST/SSXシリーズは、従来、ドライポンプには不向きとされていた、ハードプロセスにおいて、凝固性ガス・粉体・生成物を吸引した場合でも安定した運転が可能です。
自社開発のスクリューローターや、メンテナンスしやすい機械構成、オプションの選択により、それが可能になっています。
豊富なオプションと内臓コントローラー
SST/SSXシリーズは、オプションが豊富なことも大きな特徴です。クリーニング吸気管セット、メンテナンス架台セット、ヒーターセットなど豊富なオプションで、ニーズに適した仕様を提案します。
また、屋外型、耐圧防爆型、高効率型などのモータを搭載することも可能です。
SSHシリーズは、様々な保護機能をもつポンプコントローラーを内蔵しており、外部からの制御も可能です。
省エネ
SSHシリーズは、高効率のDCブラシレスモータで、モータの回転数を制御することで始動電流を低減する「エコノミーモード」を選択することができます。運転中も「パワーモード」との切り替えが可能です。
また、50/60Hzの地域による能力差も解消しています。
これにより、年間約64,000円の節電効果と年間約1.4トンのCO²排出量削減が可能になりました（誘導モータ対比：年間約9,000h運転した場合）。
神港精機の導入事例
ランニングコストの大幅削減に成功
直結型油回転真空ポンプを10台以上使用していましたが、100時間に1回のオイル交換や3カ月に1回程度発生する粘着性の吸引物によるロックが原因のポンプのオーバーホールなどのコストがかかっていました。ドライポンプであるSSTシリーズを導入したことにより、安定した操業が可能となりオイル代や交換作業、メンテナンス代などランニングコストを約150万円/月削減することに成功しました。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/wp/wp-content/uploads/2015/12/c_sougou.pdf）
コールドスタートからの運転で作業性アップ
ドライポンプであるSSHシリーズに置き換えたことで暖機運転の必要なくコールドスタートから運転が可能となっただけでなく、油を使うことなく液体吸引に高い耐久性をもっているため安定した排気性能で作業性向上が実現しました。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/wp/wp-content/uploads/2015/12/c_sougou.pdf）
堅牢性が求められる自動車業界に標準採用され安定生産に貢献
油回転真空ポンプの事例です。自動車業界では一度に大量の部品を長時間熱処理するため堅牢さが求められます。油回転真空ポンプであるSR・SRPシリーズの耐久性が認められ、置き換えたことで生産が安定し、生産ロスも軽減しました。メンテナンスコストも削減できています。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/wp/wp-content/uploads/2015/12/c_sougou.pdf）
凝固性ガスを封水と一緒に排出することで安定した操業を実現
水封式ポンプの事例です。押出機のベント排気に真空ポンプを導入する際、水封式ポンプであるSWシリーズを採用したことで凝固性ガスを封水と一緒に排出できるようになりました。ポンプ内部に樹脂成分が堆積したことで起こるトラブルが解決され、二段式を採用したことによる排気特性によって安定した圧力で操業できるようになりました。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/wp/wp-content/uploads/2015/12/c_sougou.pdf）
水問題を解決して信頼性の高い水封式真空ポンプ採用が可能になった
水封式真空ポンプの事例です。油回転真空ポンプを使用していましたが、樹脂成分の混入による固着ロックが頻発して対策を考えていました。SW-SCシリーズは排水量が削減でき、また稼働も安定しています。既設の油回転真空ポンプから順次、信頼性の高い水封式真空ポンプに置き換えることとなりました。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/wp/wp-content/uploads/2015/12/c_sougou.pdf）
排気効率の高いSMB-DPユニットに替えて約35％の動力削減を達成
ドライポンプを活かすメカニカルブースタの事例です。SMB-DP排気ユニットを採用することで排気効率を高め動力コストを大幅に削減しています。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/wp/wp-content/uploads/2015/12/c_sougou.pdf）
神港精機のサポート
神港精機は公式YouTubeチャンネルを開設しており、ドライ真空ポンプの紹介動画やメンテナンスシステムの説明、メカニカルブースタポンプの説明や潤滑油の管理についてなど、様々な情報を動画で提供しています。製品についての問い合わせはメールフォームや電話で行うことができます。
神港精機の会社概要
| 社名 | 神港精機株式会社 |
| 所在地 | 神戸市西区高塚台3丁目1番35号 |
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- 柴田科学
- 四葉機械製作所
- エドワーズ
- D.V.P. Vacuum Technology s.p.a.（スコットプランニング）
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防爆エリア設置向け アネスト岩田の |
引用元：アネスト岩田公式HP |
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腐食性ガス吸引向け
樫山工業の |
引用元：樫山工業公式HP |
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大流量プロセス向け
大晃機械工業の |
引用元：大晃機械工業公式HP |
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