神港精機

神港精機公式HPキャプチャ 引用元:神港精機公式HP(https://www.shinko-seiki.com/)

ここでは、ドライ真空ポンプを扱っている神港精機について、製品例や特徴をまとめています。

ドライ真空ポンプの取扱製品例

神港精機_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:神港精機公式HP(https://www.shinko-seiki.com/products/100/)

スクリュー式・SST/SSXシリーズ

排気速度
(50/60Hz)
970~5000L/min
到達圧力 1.0~0.6Pa
騒音値 記載なし
神港精機_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:神港精機公式HP(https://www.shinko-seiki.com/products/105/)

スクリュー式・SSHシリーズ

排気速度 1,030~3,000L/min
到達圧力 1.0~0.6Pa
騒音値 記載なし

神港精機社製ドライ真空ポンプの使用用途

半導体・電子部品製造での用途

半導体や電子部品製造分野では、「蒸着」、「スパッタリング」、「エッチング」などの用途があり、「後工程装置」、「シリコン単結晶引上装置」、「真空洗浄装置」、「真空半田付装置(パワー半導体)」、「封止装置(半導体チップ)」、「薄膜形成装置(金型・電子デバイス)」、「吸着搬送用真空源(小型電子部品)」などの装置に使用されます。

一般産業での用途

工業炉では、「真空焼結炉 (超硬・マグネット・MIM・グラファイト・セラミック)」、「真空焼入・焼戻炉(金属部品)」などに使われるほか、「脱脂」、「浸炭」、「一般熱処理」などの用途があります。
樹脂成形では、「容器成型装置(食品トレー)」、「樹脂押出成形機(各種エンプラ)」などに使用されます。
化学品・食品・医薬品では、「真空蒸留装置(化学・医薬中間体)」、「反応槽(化学品・接着剤)」、「凍結乾燥装置(フリーズドライ製品)」、「真空滅菌装置(医療器具)」に使われるほか、「重合」、「脱水」、「乾燥」、「濃縮」などの用途があります。
そのほか、「吸着搬送」、「ガス置換」、「封止排気」などの用途があります。

研究開発分野での用途

大学や研究所などの研究機関での用途としては、実験室や研究室で使われる「エバポレータ」、「環境試験機」などに使用されています。

スクロール式のドライ真空ポンプを使うメリットとは?

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。

神港精機のドライ真空ポンプの特徴

凝固性ガス・粉体・生成物の吸引もOK!

神港精機のドライ真空ポンプ(スクリュー式)SST/SSXシリーズは、従来、ドライポンプには不向きとされていた、ハードプロセスにおいて、凝固性ガス・粉体・生成物を吸引した場合でも安定した運転が可能です。
自社開発のスクリューローターや、メンテナンスしやすい機械構成、オプションの選択により、それが可能になっています。

豊富なオプションと内臓コントローラー

SST/SSXシリーズは、オプションが豊富なことも大きな特徴です。クリーニング吸気管セット、メンテナンス架台セット、ヒーターセットなど豊富なオプションで、ニーズに適した仕様を提案します。
また、屋外型、耐圧防爆型、高効率型などのモータを搭載することも可能です。
SSHシリーズは、様々な保護機能をもつポンプコントローラーを内蔵しており、外部からの制御も可能です。

省エネ

SSHシリーズは、高効率のDCブラシレスモータで、モータの回転数を制御することで始動電流を低減する「エコノミーモード」を選択することができます。運転中も「パワーモード」との切り替えが可能です。
また、50/60Hzの地域による能力差も解消しています。
これにより、年間約64,000円の節電効果と年間約1.4トンのCO²排出量削減が可能になりました(誘導モータ対比:年間約9,000h運転した場合)。

神港精機の会社概要

社名 神港精機株式会社
所在地 神戸市西区高塚台3丁目1番35号
オイル不使用・幅広く使えるスクロール型
ドライ真空ポンプメーカー3選

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食品製造向け

アネスト岩田の
DVSLシリーズ

DVSLシリーズ

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/dvsl-500e)

  • 排気経路内にベアリングが無いため、密閉性が向上し衛生面も安心
  • 真空状態でのネリが必要な製麺会社の要望に応えた実例あり
半導体製造向け

宇野澤組鐵工所の
KTSシリーズ

KTSシリーズ

引用元:宇野澤組鐵工所公式HP
(https://www.unozawa.co.jp/product/dry/)

  • 到達圧力:≦0.08Paという半導体製造に適した真空状態を実現
    ※KTS030-H(ECOタイプ)最大排気速度:500L/m、到達圧力:≦0.08Pa(2024/5/24時点)
  • スパッタリング装置、イオンプレーティング装置といった薄膜形成プロセスに対応
  • 水蒸気やミストといった小さな水滴もしっかり排出
製薬・化学品製造向け

東製のスクリュー式
ドライ真空ポンプ

スクリュー式ドライ真空ポンプ

引用元:東製HP
(https://www.dryvacuum-pump.com/wp/wp-content/uploads/anestiwata_dvsl-500e_image.png)

  • 化学反応、蒸留操作などに適した環境生成のため、さまざまな圧力領域に対応
  • 接ガス部は耐食性ガス対策のため、特殊コーティングすることにより錆から守る
  • 化学物質や粉塵の発生を考慮し、少ない部品で分解・組立・洗浄が可能
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。