ここでは、ドライ真空ポンプを扱っている神港精機について、製品例や特徴をまとめています。
スクリュー式・SST/SSXシリーズ
排気速度 (50/60Hz) |
970~5000L/min |
到達圧力 | 1.0~0.6Pa |
騒音値 | 記載なし |
スクリュー式・SSHシリーズ
排気速度 | 1,030~3,000L/min |
到達圧力 | 1.0~0.6Pa |
騒音値 | 記載なし |
半導体・電子部品製造での用途
半導体や電子部品製造分野では、「蒸着」、「スパッタリング」、「エッチング」などの用途があり、「後工程装置」、「シリコン単結晶引上装置」、「真空洗浄装置」、「真空半田付装置(パワー半導体)」、「封止装置(半導体チップ)」、「薄膜形成装置(金型・電子デバイス)」、「吸着搬送用真空源(小型電子部品)」などの装置に使用されます。
一般産業での用途
工業炉では、「真空焼結炉 (超硬・マグネット・MIM・グラファイト・セラミック)」、「真空焼入・焼戻炉(金属部品)」などに使われるほか、「脱脂」、「浸炭」、「一般熱処理」などの用途があります。
樹脂成形では、「容器成型装置(食品トレー)」、「樹脂押出成形機(各種エンプラ)」などに使用されます。
化学品・食品・医薬品では、「真空蒸留装置(化学・医薬中間体)」、「反応槽(化学品・接着剤)」、「凍結乾燥装置(フリーズドライ製品)」、「真空滅菌装置(医療器具)」に使われるほか、「重合」、「脱水」、「乾燥」、「濃縮」などの用途があります。
そのほか、「吸着搬送」、「ガス置換」、「封止排気」などの用途があります。
研究開発分野での用途
大学や研究所などの研究機関での用途としては、実験室や研究室で使われる「エバポレータ」、「環境試験機」などに使用されています。
接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。
凝固性ガス・粉体・生成物の吸引もOK!
神港精機のドライ真空ポンプ(スクリュー式)SST/SSXシリーズは、従来、ドライポンプには不向きとされていた、ハードプロセスにおいて、凝固性ガス・粉体・生成物を吸引した場合でも安定した運転が可能です。
自社開発のスクリューローターや、メンテナンスしやすい機械構成、オプションの選択により、それが可能になっています。
豊富なオプションと内臓コントローラー
SST/SSXシリーズは、オプションが豊富なことも大きな特徴です。クリーニング吸気管セット、メンテナンス架台セット、ヒーターセットなど豊富なオプションで、ニーズに適した仕様を提案します。
また、屋外型、耐圧防爆型、高効率型などのモータを搭載することも可能です。
SSHシリーズは、様々な保護機能をもつポンプコントローラーを内蔵しており、外部からの制御も可能です。
省エネ
SSHシリーズは、高効率のDCブラシレスモータで、モータの回転数を制御することで始動電流を低減する「エコノミーモード」を選択することができます。運転中も「パワーモード」との切り替えが可能です。
また、50/60Hzの地域による能力差も解消しています。
これにより、年間約64,000円の節電効果と年間約1.4トンのCO²排出量削減が可能になりました(誘導モータ対比:年間約9,000h運転した場合)。
クランクシャフト焼入設備は、偏心するピン部への安定した焼入れ、多様な焼入れ方式への対応、高精度な移動焼入れ、省スペース化、歪み抑制機構、自動化対応、そして幅広いワークサイズへの対応といった特徴を持ち、高周波発振機との融合による省エネルギー化と、豊富な国内外での実績で高い評価を得ています。
カムシャフト焼入焼戻設備は、カム部全箇所同時加熱・冷却、簡単コイル整合調整機構、独自の特殊形状コイル、効率と省スペースを実現するクラムシェル方式、ワーク径に自動対応するK-kahen(径可変)方式、そして歪み抑制機構と自動化対応により、高品質かつ効率的なカムシャフトの熱処理を実現します。
モーターローター焼入焼戻設備は、定置一発方式による短時間加熱と低歪みな部分焼入れで、薄肉部でも焼入規格を満たし、さらに従来の電気炉と比較して省エネルギー・省スペース・低コストを実現しつつ、同等の焼戻し効果と自動化対応も可能にする、EV・HV向けモーターローター製造に適した設備です。
等速ジョイント(CVJ)焼入焼戻設備は、あらゆる種類のCVJワークに対応し、溝部と軸部を同一位置で加熱することでタクトタイムを短縮します。高精度の位相決め機能や、移動焼入れ・定置一発焼入れの選択が可能で、二波合成加熱システムにより熱変形を軽減する「DKK CVJコンセプト」で、設備の小型化、容易なコイル・治具交換、ロボット連携、安定した品質、コスト低減を実現することが可能です。
ハブユニット焼入焼戻設備は、径差の大きいワークや薄肉ワークにも対応し、独自の「Denko-CARRIER HEATER」を含む最適な焼戻し方式を選択可能です。横搬送もしくはターンテーブル方式による高速処理、省スペース設計、容易な据付・立ち上げ、高いメンテナンス性、そしてモジュール化設計により、安定した高品質なハブユニットの生産と工場における生産性向上に貢献します。
ラックシャフト焼入焼戻設備は、歯面から背面、ボールネジタイプまで多様なラックシャフトに対応し、最速21秒/本の高速処理を実現します。直接通電加熱と誘導加熱方式の選択、低歪み加工、雰囲気焼入れ、そして二周波合成焼入れにも対応することで、高精度かつ高品質な熱処理を可能にします。
シャフト焼入設備は、ドライブシャフトやアクスルシャフトのような多様な長物ワークに対応し、2本同時加工による高精度な移動焼入れでサイクルタイムを短縮します。さらに、コイル移動方式で省スペース化を実現し、歪み抑制機構を備えることで、高品質かつ効率的なシャフトの熱処理を提供します。
ギヤ焼入焼戻設備は、二波合成加熱システムによりギヤの輪郭に沿った最適な硬化層を形成し、熱変形を大幅に軽減します。また、省エネルギー・省スペース・低コスト、短時間処理、電気炉と同等の焼戻し効果、自動化対応、そして容易な移動性を兼ね備え、高品質なギヤ製造における効率性と経済性、環境負荷低減に貢献します。
DENKO-CUBOは、発振機、制御盤、機械、水槽を1つの筐体に集約することで設置面積を約1/3に削減したコンパクト設計が特徴です。これにより、4トントラック1台での運搬や海上コンテナ輸送が可能となり、国内外での容易な据付と短時間での立ち上げを実現しつつ、四輪・二輪車をはじめとする小型部品への高い汎用性と優れた保守性を兼ね備えています。
「Denko-CARRIER HEATER®」は、電気炉と同等の高品質な焼戻しを短時間で実現しながら、省エネルギー、省スペース、低コストでの運用を可能にし、加工ラインへの容易な組み込みや移動の容易性も兼ね備えた次世代の連続焼戻し設備です。
社名 | 神港精機株式会社 |
所在地 | 神戸市西区高塚台3丁目1番35号 |