【防爆・腐食性ガス・大流量】
現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選
神港精機
引用元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/）ここでは、ドライ真空ポンプを扱っている神港精機について、製品例や特徴をまとめています。
ドライ真空ポンプの取扱製品例
引用元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/products/100/）スクリュー式・SST/SSXシリーズ
| 排気速度 （50/60Hz） |
970～5000L/min |
| 到達圧力 | 1.0～0.6Pa |
| 騒音値 | 記載なし |
引用元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/products/105/）スクリュー式・SSHシリーズ
| 排気速度 | 1,030～3,000L/min |
| 到達圧力 | 1.0～0.6Pa |
| 騒音値 | 記載なし |
神港精機社製ドライ真空ポンプの使用用途
半導体・電子部品製造での用途
半導体や電子部品製造分野では、「蒸着」、「スパッタリング」、「エッチング」などの用途があり、「後工程装置」、「シリコン単結晶引上装置」、「真空洗浄装置」、「真空半田付装置（パワー半導体）」、「封止装置（半導体チップ）」、「薄膜形成装置（金型・電子デバイス）」、「吸着搬送用真空源（小型電子部品）」などの装置に使用されます。
一般産業での用途
工業炉では、「真空焼結炉 （超硬・マグネット・MIM・グラファイト・セラミック）」、「真空焼入・焼戻炉（金属部品）」などに使われるほか、「脱脂」、「浸炭」、「一般熱処理」などの用途があります。
樹脂成形では、「容器成型装置（食品トレー）」、「樹脂押出成形機（各種エンプラ）」などに使用されます。
化学品・食品・医薬品では、「真空蒸留装置（化学・医薬中間体）」、「反応槽（化学品・接着剤）」、「凍結乾燥装置（フリーズドライ製品）」、「真空滅菌装置（医療器具）」に使われるほか、「重合」、「脱水」、「乾燥」、「濃縮」などの用途があります。
そのほか、「吸着搬送」、「ガス置換」、「封止排気」などの用途があります。
研究開発分野での用途
大学や研究所などの研究機関での用途としては、実験室や研究室で使われる「エバポレータ」、「環境試験機」などに使用されています。
【現場の条件から探す】最適なドライ真空ポンプの選び方
ドライ真空ポンプにはメーカーや製品ごとに異なる「型式（構造）」や「強み」があります。
真空ポンプを選定する際は、単に「オイルフリー（ドライ）であること」だけでなく、「水蒸気を吸うのか」「防爆エリアに設置するのか」「粉塵や溶剤が混ざるのか」といった、現場の具体的な条件に合わせて最適な型式（スクロール式、ルーツ式、スクリュー式など）を選ぶことが、故障を防ぎ生産性を高めるための重要なポイントです。
当サイトでは「現場の課題・条件別」におすすめのドライ真空ポンプとその特徴を詳しく比較・紹介しています。
神港精機のドライ真空ポンプの特徴
凝固性ガス・粉体・生成物の吸引もOK！
神港精機のドライ真空ポンプ（スクリュー式）SST/SSXシリーズは、従来、ドライポンプには不向きとされていた、ハードプロセスにおいて、凝固性ガス・粉体・生成物を吸引した場合でも安定した運転が可能です。
自社開発のスクリューローターや、メンテナンスしやすい機械構成、オプションの選択により、それが可能になっています。
豊富なオプションと内臓コントローラー
SST/SSXシリーズは、オプションが豊富なことも大きな特徴です。クリーニング吸気管セット、メンテナンス架台セット、ヒーターセットなど豊富なオプションで、ニーズに適した仕様を提案します。
また、屋外型、耐圧防爆型、高効率型などのモータを搭載することも可能です。
SSHシリーズは、様々な保護機能をもつポンプコントローラーを内蔵しており、外部からの制御も可能です。
省エネ
SSHシリーズは、高効率のDCブラシレスモータで、モータの回転数を制御することで始動電流を低減する「エコノミーモード」を選択することができます。運転中も「パワーモード」との切り替えが可能です。
また、50/60Hzの地域による能力差も解消しています。
これにより、年間約64,000円の節電効果と年間約1.4トンのCO²排出量削減が可能になりました（誘導モータ対比：年間約9,000h運転した場合）。
神港精機の導入事例
ランニングコストの大幅削減に成功
直結型油回転真空ポンプを10台以上使用していましたが、100時間に1回のオイル交換や3カ月に1回程度発生する粘着性の吸引物によるロックが原因のポンプのオーバーホールなどのコストがかかっていました。ドライポンプであるSSTシリーズを導入したことにより、安定した操業が可能となりオイル代や交換作業、メンテナンス代などランニングコストを約150万円/月削減することに成功しました。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/wp/wp-content/uploads/2015/12/c_sougou.pdf）
コールドスタートからの運転で作業性アップ
ドライポンプであるSSHシリーズに置き換えたことで暖機運転の必要なくコールドスタートから運転が可能となっただけでなく、油を使うことなく液体吸引に高い耐久性をもっているため安定した排気性能で作業性向上が実現しました。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/wp/wp-content/uploads/2015/12/c_sougou.pdf）
堅牢性が求められる自動車業界に標準採用され安定生産に貢献
油回転真空ポンプの事例です。自動車業界では一度に大量の部品を長時間熱処理するため堅牢さが求められます。油回転真空ポンプであるSR・SRPシリーズの耐久性が認められ、置き換えたことで生産が安定し、生産ロスも軽減しました。メンテナンスコストも削減できています。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/wp/wp-content/uploads/2015/12/c_sougou.pdf）
凝固性ガスを封水と一緒に排出することで安定した操業を実現
水封式ポンプの事例です。押出機のベント排気に真空ポンプを導入する際、水封式ポンプであるSWシリーズを採用したことで凝固性ガスを封水と一緒に排出できるようになりました。ポンプ内部に樹脂成分が堆積したことで起こるトラブルが解決され、二段式を採用したことによる排気特性によって安定した圧力で操業できるようになりました。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/wp/wp-content/uploads/2015/12/c_sougou.pdf）
水問題を解決して信頼性の高い水封式真空ポンプ採用が可能になった
水封式真空ポンプの事例です。油回転真空ポンプを使用していましたが、樹脂成分の混入による固着ロックが頻発して対策を考えていました。SW-SCシリーズは排水量が削減でき、また稼働も安定しています。既設の油回転真空ポンプから順次、信頼性の高い水封式真空ポンプに置き換えることとなりました。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/wp/wp-content/uploads/2015/12/c_sougou.pdf）
排気効率の高いSMB-DPユニットに替えて約35％の動力削減を達成
ドライポンプを活かすメカニカルブースタの事例です。SMB-DP排気ユニットを採用することで排気効率を高め動力コストを大幅に削減しています。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/wp/wp-content/uploads/2015/12/c_sougou.pdf）
神港精機のドライ以外の真空ポンプ
神港精機はドライ真空ポンプ（スクリュー式）だけでなく、油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ・メカニカルブースタポンプ・油拡散ポンプなど、幅広い方式の真空ポンプをラインナップしています。処理するガスの性質（水蒸気・腐食性ガス・引火性ガスなど）や必要な真空度に応じて、ドライ式以外の方式が適するケースも多く、現場条件に合わせた選定が可能です。ここでは、神港精機が扱うドライ以外の主な真空ポンプを紹介します。
油回転真空ポンプ（SR・SRPシリーズ／SVCシリーズ）
軸に固定されたロータが回転することでシリンダ内部に空間をつくり、吸気・圧縮した気体を油タンクへ排出する方式の真空ポンプです。揺動ピストン形の「SR・SRPシリーズ」と、回転翼形の「SVCシリーズ」があります。耐久性が高く寿命が長いこと、排気特性に優れ操作が簡単なことが特長で、ガスバラスト弁を取り付けることで水蒸気（凝縮性蒸気）の処理も可能です。排気口にオイルミストトラップを併用すれば、運転中の油滴・オイルミストを除去し、作業環境の改善と騒音低減も図れます。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/products/111/）
直結型油回転真空ポンプ（SGHシリーズ）
モータとポンプを直結したコンパクトな油回転真空ポンプです。設置スペースを抑えつつ、油回転式の安定した排気性能を得たい用途に適しています。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/products/2829/）
水封式真空ポンプ（SWシリーズ ほか）
円形ケーシング内に封水を入れて羽根車を回転させ、遠心力でできる封水リングを利用して吸入・圧縮・排気を連続的に行う方式です。封水がシールの役割を果たすため、引火性ガスや腐食性ガスの排気が可能で、水蒸気や水滴を含んだ気体の排気にも最適です。2段式では 3×10⁴Pa 以下で高い性能を発揮します。耐食性を高めた「SW-ASシリーズ」（材質SUS316またはSCS14）、封液を循環させて無公害化を図った「SW-Cシリーズ」、フリーメンテナンス性に優れたメカニカルシール型などのバリエーションがあります。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/products/127/）
メカニカルブースタポンプ／真空排気ユニット
油回転真空ポンプやドライ真空ポンプと組み合わせて使用し、大排気量・より高い真空度を実現するための補助ポンプです。神港精機では、これらを組み合わせて排気効率を高めた「真空排気ユニット」も提供しており、動力コストの削減にも貢献します。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/products/133/、https://www.shinko-seiki.com/products/139/）
油拡散ポンプ／真空バルブ（真空弁）
より高真空域が必要な用途に対応する油拡散ポンプや、真空ラインを構成する真空バルブ（真空弁）もラインナップしています。真空ポンプ本体から周辺コンポーネントまでを一貫して提供できる点も神港精機の強みです。
参照元：神港精機公式HP（https://www.shinko-seiki.com/products/145/、https://www.shinko-seiki.com/products/150/）
神港精機のサポート
神港精機は公式YouTubeチャンネルを開設しており、ドライ真空ポンプの紹介動画やメンテナンスシステムの説明、メカニカルブースタポンプの説明や潤滑油の管理についてなど、様々な情報を動画で提供しています。製品についての問い合わせはメールフォームや電話で行うことができます。
神港精機の会社概要
| 社名 | 神港精機株式会社 |
| 所在地 | 神戸市西区高塚台3丁目1番35号 |
| 設立 | 1949年（昭和24年）1月24日 |
| 事業内容 | 各種真空ポンプ、真空諸装置、各種精密電気炉、半導体関係機器、各種精密投影機、特殊光学機器の製造・販売 |
| 公式サイト | https://www.shinko-seiki.com/ |
関連記事一覧
- 現場条件別で選ぶドライ真空ポンプメーカー比較
- ドライ真空ポンプのメーカーを一覧で紹介
- 宇野澤組鐵工所
- 芝浦エレテック
- アネスト岩田
- Pfeiffer Vacuum（伯東株式会社）
- ライボルト
- 樫山工業
- ヤマト科学
- 柴田科学
- 荏原製作所
- Busch Vacuum Solutions
（日本ブッシュ） - 佐藤真空
- サンプラテック
- 四葉機械製作所
- エドワーズ
- ベッカーエアーテクノ
- アンレット
- 大阪真空機器製作所
- KNF
- 堀技研工業
- オリオン機械
- BUCHI（日本ビュッヒ）
- 東製株式会社
- 東京理化器械
- 大晃機械工業
- アルバック機工
- D.V.P. Vacuum Technology s.p.a.（スコットプランニング）
- 日本ピスコ
- アジレント・テクノロジー
- 三津海製作所（MITSUVAC）
▼横にスクロールできます▼
|
防爆エリア設置向け アネスト岩田の |
引用元：アネスト岩田公式HP |
|
|
|---|---|---|---|
|
腐食性ガス吸引向け
樫山工業の |
引用元：樫山工業公式HP |
|
|
|
大流量プロセス向け
大晃機械工業の |
引用元：大晃機械工業公式HP |
|
