コーティングに適したドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプは油や液体を使わないため、金属やガラスなどへのコーティングにも適しています。このページでは、ドライ真空ポンプがコーティングに適している理由と製品の事例についてご紹介します。
コーティングにドライ真空ポンプが必要な理由とは?
薄膜コーティングは、真空状態でガラスや金属などの基板に薄膜を付着させる加工方法です。不純物が混入しない清潔な環境下でコーティングを実施する場合は、ドライ真空ポンプが役立ちます。
薄膜コーティングでは、対象の基板に薄膜を張り付けて一定の耐久性や機能性を付与します。コーティングの段階で不純物が含まれていると正しく薄膜の機能を付与できないため、ドライ真空ポンプを使った加工方法が適しています。
一例として、ソーラーパネルへの機能性コーティングでは真空ポンプによる薄膜コーティングが用いられています。太陽電池としての性能を付与するほか、耐摩耗性や反射防止などの機能付与に役立てられています。
コーティングに適したドライ真空ポンプの製品事例
拡散真空ポンプ
産業用の高真空用途に適した設計の拡散真空ポンプです。ガラスコーティングや金属コーティング、物理蒸着や表面処理に用います。
ターボ分子ポンプ
薄膜コーティング用のターボ分子ポンプです。環境に配慮した装置として、従来製品よりも排気速度を向上させたことで、高品質な成膜が行えるようになりました。
ドライスクリュ真空ポンプ
スパッタリング処理に適した真空ポンプです。粉塵ガスによる負荷の増加やショックベントに対応し、環境に配慮しながらスパッタリングが行えます。
産業用ドライスクリュ真空ポンプ
熱処理・冶金・コーティング・太陽光・乾燥とあらゆる用途に対応するドライスクリュ真空ポンプです。要件にあわせたカスタマイズ性を搭載し、長寿命化を施したモデルも揃っています。
コーティングに適したドライ真空ポンプを検討しよう!
コーティングでは、耐久性や反射防止などの機能を付加するために、ドライ真空ポンプが用いられています。メンテナンスがほぼ不要なものや長寿命なものなど、機器自体も高性能なものが揃っていますので、用途や環境に合う設備を選んでみてはいかがでしょうか。
当サイトでは、ドライ真空ポンプを導入する際に役立つポイントやメーカーの特徴を紹介しています。機器選びに迷っている方や、メーカーごとの強みをチェックしたい方は、ぜひ以下のページも参考にしてください。
【防爆・腐食性ガス・大流量】
現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選
▼横にスクロールできます▼
|
防爆エリア設置向け
アネスト岩田の ISPシリーズ
|

引用元:アネスト岩田公式HP (https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/isp-250e)
|
- 防爆モーター搭載のカスタマイズに対応(ポンプ本体は標準仕様のため可燃性ガスの吸気は不可)
- 大気と真空の繰り返し運転に強いスクロール式構造で、大気付近での連続運転にも対応
- JALエンジニアリングのFRP成形現場での導入事例あり
|
|
|
腐食性ガス吸引向け
樫山工業の SDEシリーズ
|

引用元:樫山工業公式HP (https://www.kashiyama.com/pumps/product/sde/)
|
- 塩素系を含む腐食性ガスの吸引に対応し、半導体や液晶製造装置のハードプロセスで使用
- ポンプ構造材に耐食材料を採用、温度設定によるデポジット対策にも配慮した設計
- CVD・スパッタ・蒸着・エッチング・ALDなど多様な半導体プロセスに対応
|
|
|
大流量プロセス向け
大晃機械工業の SDVシリーズ
|

引用元:大晃機械工業公式HP (https://www.taiko-kk.com/jp/vacuum/sdv/)
|
- スクリュー式において世界最低速運転を実現するクインビー式(Queen Bee Screw)スクリュー採用
- SDV-100の電動機定格は50Hz時18.5kW/60Hz時22kWで、大型装置・プラントに対応
- 化学・医薬/自動車・電子部品/その他産業の業界別ラインアップが整備されている
|
|
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!
接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。