現場条件別で選ぶドライ真空ポンプメーカー比較

エドワーズ

公式HPキャプチャ 引用元：エドワーズ公式HP（https://www.edwardsvacuum.com/ja）

ここでは、真空ポンプのサービスが充実した「エドワーズ」について紹介します。

ドライ真空ポンプの取扱製品例

エドワーズ_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元：エドワーズ公式HP（https://www.edwardsvacuum.com/ja/our-products/chemical-dry-pumps）

CXSケミカルドライ真空ポンプ

排気速度 160m³h4（95ft³min4）/250m³h4（148ft³min4）
到達圧力 到達真空レベル<0.02mbar（0.015Torr）/<0.015mbar（<0.011Torr）
騒音値 64dB
エドワーズ_EDSドライスクリュー真空ポンプ製品画像 引用元：エドワーズ公式HP（https://www.edwardsvacuum.com/ja/our-products/industrial-dry-pumps）

EDSドライスクリュー真空ポンプ

排気速度
（50/60Hz）		 要問合せ
到達圧力 要問合せ
騒音値 要問合せ

エドワーズ社製ドライ真空ポンプの使用用途

熱処理などの産業

エドワーズでは熱処理や治金、コーティング、太陽光や乾燥などの用途に適した産業用ドライ真空ポンプを複数用意しています。

ケミカル

エドワーズでは一般的なケミカルのほかファインケミカル、特殊化学製品、製薬用途などの処理用途に適したケミカルドライポンプを扱っています。

半導体

半導体や電子機器の生産過程に用いる半導体ドライポンプも取り扱っています。

【現場の条件から探す】最適なドライ真空ポンプの選び方

ドライ真空ポンプにはメーカーや製品ごとに異なる「型式（構造）」や「強み」があります。

真空ポンプを選定する際は、単に「オイルフリー（ドライ）であること」だけでなく、「水蒸気を吸うのか」「防爆エリアに設置するのか」「粉塵や溶剤が混ざるのか」といった、現場の具体的な条件に合わせて最適な型式（スクロール式、ルーツ式、スクリュー式など）を選ぶことが、故障を防ぎ生産性を高めるための重要なポイントです。

当サイトでは「現場の課題・条件別」におすすめのドライ真空ポンプとその特徴を詳しく比較・紹介しています。

【現場条件別】
おすすめのドライ真空ポンプ
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エドワーズのドライ真空ポンプの特徴

真空ポンプ専門家が設計から保守まで幅広く対応

エドワーズには真空ポンプの専門家がおり、真空装置の設計・開発・製造を担っています。装置導入後の保守や修理、試運転などの対応もおこなっており、ポンプに関する豊富な知識や幅広い用途での経験を活かしたサポートをしてくれます。

予防保全や修理に対応する延長保証を用意

エドワーズでは延長保証制度を設けており、工場保証を最大5年まで延長可能。ポンプの予防保全のほか故障時の修理対応などが含まれており、純正の摩耗部品やオイルの交換や定期メンテナンスを受けられます。

中古真空ポンプの販売も実施

エドワーズでは同社が認定する中古真空ポンプの販売もおこなっています。中古といってもエドワーズ社の専用再生施設で純正部品を使ってオリジナルの仕様に復元しているため、信頼できる性能を確保しています。また、標準で12ヵ月の保証つき。新品のドライ真空ポンプを購入する予算がない場合には、エドワーズ認定の中古真空ポンプの購入を検討してみてはいかがでしょうか。

真空ポンプのリモート監視システムを導入

エドワーズでは真空ポンプのリモート監視をおこなっており、ポンプにおける問題やトラブルをオンライン上で予測できるようにしています。監視システムによって深刻なトラブルの回避を図れるほか、ライフサイクルコストの削減にもつながります。

エドワーズの会社概要

社名 エドワーズ株式会社
所在地 千葉県八千代市吉橋1078-1
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【防爆・腐食性ガス・大流量】
現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選

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防爆エリア設置向け

アネスト岩田の
ISPシリーズ

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ISP-250E

引用元：アネスト岩田公式HP
（https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/isp-250e）
  • 防爆モーター搭載のカスタマイズに対応（ポンプ本体は標準仕様のため可燃性ガスの吸気は不可）
  • 大気と真空の繰り返し運転に強いスクロール式構造で、大気付近での連続運転にも対応
  • JALエンジニアリングのFRP成形現場での導入事例あり
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腐食性ガス吸引向け

樫山工業の
SDEシリーズ

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SDEシリーズ

引用元：樫山工業公式HP
（https://www.kashiyama.com/pumps/product/sde/）
  • 塩素系を含む腐食性ガスの吸引に対応し、半導体や液晶製造装置のハードプロセスで使用
  • ポンプ構造材に耐食材料を採用、温度設定によるデポジット対策にも配慮した設計
  • CVD・スパッタ・蒸着・エッチング・ALDなど多様な半導体プロセスに対応
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大流量プロセス向け

大晃機械工業の
SDVシリーズ

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SDVシリーズ

引用元：大晃機械工業公式HP
（https://www.taiko-kk.com/jp/vacuum/sdv/）
  • スクリュー式において世界最低速運転を実現するクインビー式（Queen Bee Screw）スクリュー採用
  • SDV-100の電動機定格は50Hz時18.5kW／60Hz時22kWで、大型装置・プラントに対応
  • 化学・医薬／自動車・電子部品／その他産業の業界別ラインアップが整備されている
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防爆・腐食性ガス・大流量など現場条件で選ぶ おすすめのドライ真空ポンプメーカーを紹介！

真空ポンプを選定する際は、単に「オイルフリー（ドライ）であること」だけでなく、「水蒸気を吸うのか」「防爆エリアに設置するのか」「粉塵や溶剤が混ざるのか」といった、現場の具体的な条件に合わせて最適な型式（スクロール式、ルーツ式、スクリュー式など）を選ぶことが重要です。
当サイトでは、「現場の課題・条件別」におすすめのドライ真空ポンプメーカーとその特徴を詳しく紹介しています。

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