一定の排気速度と長時間の連続運転を実現
ターボ分子ポンプは、高速回転する動翼と固定された静翼によって構成されている真空ポンプの1つです。高速回転する動翼で分子に運動量を与え、排気する役割を担っています。分子領域における排気速度が一定で、連続したガス排気が可能。また、再生作業をはじめとした保守を行う必要がなく、引火性・腐食性ガスの排気にも対応できます。
動翼の高速回転によってガスを排気
1秒間に数万回もの速度で高速回転する動翼が、吸気口から入ってきた気体分子を弾き飛ばし、ガスを排気する仕組みになっています。
気体分子の多い大気中では動翼にかかる負担が大きく、強度に問題が生じかねません。そのため、ドライポンプや油回転真空ポンプのような補助ポンプを使用し、ターボ分子ポンプの運転前にある程度真空にする必要があります。また、高速回転しているので安全性の注意も必要です。
清浄な真空を得られるオイルフリーも存在
ターボ分子ポンプはローターの支持方式によって種類が分かれ、油潤滑式の玉軸受型、グリス潤滑式、磁気浮上型の3種類が存在します。そのなかでも磁気浮上型はオイルフリーのため、油による気体分子の汚染を防止することが可能。清浄な真空を得られる一方で、運転にはバッテリーが必要です。
ターボ分子ポンプは、以下の使用用途に適しています。
ターボ分子ポンプのなかでもオイルフリーの磁気浮上型なら油による汚染の心配がないため、汚染に敏感な半導体製造やFPD製造などに利用されています。
さらに作動圧力範囲が広いほか、回転体の起動・停止によって排気作用を制御できる使いやすさから、幅広い用途で使用されている真空ポンプです。
現在の真空技術においてなくてはならない存在で、半導体や新しい技術の発展に貢献してきました。ターボ分子ポンプの利用は今後も広がると考えられており、今後の開発に期待が寄せられています。
完全オイルフリーのドライ真空ポンプを使用する最大のメリットは、オイルを使用しないことです。油による汚染の心配がないほか、オイルの交換やメンテナンスといった手間がかからず、業務を効率化できるメリットがあります。また、ランニングコストがかからないのも嬉しいポイントです。
そのほかにも、潤滑油や中の機材パーツにもオイルを使用していないドライ真空ポンプなら、徹底したクリーン環境を実現できるメリットもあります。
アルバックは真空分野での豊富な技術・経験を持つメーカーで、ターボ分子ポンプをはじめ、油回転ポンプやルーツ型ドライポンプなどを幅広く取り扱っています。利用シーンや使用用途をもとに顧客のニーズにより合った真空ポンプを提案してくれるため、自社に合った製品を導入しやすいでしょう。また、アフターフォローやメンテナンスも充実しています。
大阪真空機器製作所は、世界で最初に複合型ターボ分子ポンプや世界最大のターボ分子ポンプ、極高真空磁気軸受形複合分子ポンプを開発した真空機器専門メーカーです。大阪真空機器製作所の主力製品となるターボ分子ポンプのなかでも、磁気軸受形複合分子ポンプTGkine®は広い真空領域での大流量排気と、優れた到達圧力・高圧縮比を強みとしています。
佐藤真空は、90年以上の歴史を持つ真空専門メーカーです。これまで国内を中心に3,000社以上との取引実績があり、中・小型のベルト駆動型真空ポンプ分野での市場シェアを50%以上獲得しています。高真空排気システムでは、不意の大気導入に強い構造のターボ分子ポンプを採用。水配管が不要で保守の負担を軽減しているほか、使いやすさを重視したコンパクト設計になっています。
1912年にポンプメーカーとして創業し、主力製品のポンプをはじめ、半導体製造装置やコンプレッサ・タービンなどを開発している会社です。ターボ分子ポンプには、磁気軸受型のEMT型と玉軸受型のEBT型の2種類を展開。さまざまなオプションも取り扱っており、ニーズに合ったターボ分子ポンプを導入できます。