ドライ真空ポンプの大型・小型を比較

ドライ真空ポンプは大型と小型のどちらが良い?

ドライ真空ポンプの選定時には、電源や排気速度、真空到達度などの性能をチェックします。またサイズも重要であり、大型と小型のどちらを導入するか迷うケースもあるでしょう。そこで、ドライ真空ポンプの大型と小型の違いについてまとめました。

大型サイズのドライポンプ

排気速度の大きいドライポンプほど大型になります。たとえば排気速度が200L/min以上のものは大型として扱われるでしょう。なお、排気速度とは「容器内の圧力をいかに早く下げるか」という意味ですから、真空状態にしたい空間が大きい場合は大型ドライポンプを使用します。

なお、排気速度の大きい大型ドライポンプなら、適応可能な機器の目安以下の機器にも使用可能。ただし大型ドライポンプには広い設置スペースが必要であること、また重量があることなどのデメリットもあります。

小型サイズのドライポンプ

小型サイズのドライポンプはコンパクトで計量であるのが強み。おもに排気速度が200L/min以下のものが小型タイプとして扱われているようです。小型タイプは大型タイプと比較すると当然排気速度は劣りますが、使用する機器で求められる排気速度を満たしていれば問題ありません。

小型タイプは設置スペースが少なくても導入しやすいのがメリットですが、用途に必要な排気速度を確保できるかどうかは注意しましょう。

スペースがあるなら大型がベター

大型と小型のどちらを導入するか迷う場合、設置スペースを十分に確保できるのなら大型ドライポンプの導入がおすすめです。大型サイズであれば排気速度も大きいため、短時間での排気が可能。大は小を兼ねると考え、あえて大型のドライポンプを導入することも検討してみましょう。

用途に合わせて適切なものを選ぶべき

ドライ真空ポンプの大きさを選ぶときは、排気速度に注目しましょう。排気速度が大きいほどポンプのサイズも大きくなります。設置スペースが確保できるのであれば、性能面を考慮し大型タイプを導入するのもおすすめです。

なお、どのくらいの排気速度を必要とするかは、以下の計算式で求められます。

ポンプの排気速度(L/min)=真空槽容積(L)/排気時間(min)×2.3 log初期圧力(Pa)/最終圧力(Pa)

ただし安全率を見込み、とくに配管が長い・細い・曲がりがあるなどの場合は注意が必要です。
設置スペースなども考慮し、用途に合った排気性能をもつポンプを選びましょう。

関連記事一覧
オイル不使用・幅広く使えるスクロール型
ドライ真空ポンプメーカー3選

▼横にスクロールできます▼

食品製造向け

アネスト岩田の
DVSLシリーズ

DVSLシリーズ

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/dvsl-500e)

  • 排気経路内にベアリングが無いため、密閉性が向上し衛生面も安心
  • 真空状態でのネリが必要な製麺会社の要望に応えた実例あり
半導体製造向け

宇野澤組鐵工所の
KTSシリーズ

KTSシリーズ

引用元:宇野澤組鐵工所公式HP
(https://www.unozawa.co.jp/product/dry/)

  • 到達圧力:≦0.08Paという半導体製造に適した真空状態を実現
    ※KTS030-H(ECOタイプ)最大排気速度:500L/m、到達圧力:≦0.08Pa(2024/5/24時点)
  • スパッタリング装置、イオンプレーティング装置といった薄膜形成プロセスに対応
  • 水蒸気やミストといった小さな水滴もしっかり排出
製薬・化学品製造向け

東製のスクリュー式
ドライ真空ポンプ

スクリュー式ドライ真空ポンプ

引用元:東製HP
(https://www.dryvacuum-pump.com/wp/wp-content/uploads/anestiwata_dvsl-500e_image.png)

  • 化学反応、蒸留操作などに適した環境生成のため、さまざまな圧力領域に対応
  • 接ガス部は耐食性ガス対策のため、特殊コーティングすることにより錆から守る
  • 化学物質や粉塵の発生を考慮し、少ない部品で分解・組立・洗浄が可能
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。