ドライ真空ポンプの大型・小型を比較

ドライ真空ポンプは大型と小型のどちらが良い?

ドライ真空ポンプの選定時には、電源や排気速度、真空到達度などの性能をチェックします。またサイズも重要であり、大型と小型のどちらを導入するか迷うケースもあるでしょう。そこで、ドライ真空ポンプの大型と小型の違いについてまとめました。

大型サイズのドライポンプ

排気速度の大きいドライポンプほど大型になります。たとえば排気速度が200L/min以上のものは大型として扱われるでしょう。なお、排気速度とは「容器内の圧力をいかに早く下げるか」という意味ですから、真空状態にしたい空間が大きい場合は大型ドライポンプを使用します。

なお、排気速度の大きい大型ドライポンプなら、適応可能な機器の目安以下の機器にも使用可能。ただし大型ドライポンプには広い設置スペースが必要であること、また重量があることなどのデメリットもあります。

小型サイズのドライポンプ

小型サイズのドライポンプはコンパクトで計量であるのが強み。おもに排気速度が200L/min以下のものが小型タイプとして扱われているようです。小型タイプは大型タイプと比較すると当然排気速度は劣りますが、使用する機器で求められる排気速度を満たしていれば問題ありません。

小型タイプは設置スペースが少なくても導入しやすいのがメリットですが、用途に必要な排気速度を確保できるかどうかは注意しましょう。

スペースがあるなら大型がベター

大型と小型のどちらを導入するか迷う場合、設置スペースを十分に確保できるのなら大型ドライポンプの導入がおすすめです。大型サイズであれば排気速度も大きいため、短時間での排気が可能。大は小を兼ねると考え、あえて大型のドライポンプを導入することも検討してみましょう。

用途に合わせて適切なものを選ぶべき

ドライ真空ポンプの大きさを選ぶときは、排気速度に注目しましょう。排気速度が大きいほどポンプのサイズも大きくなります。設置スペースが確保できるのであれば、性能面を考慮し大型タイプを導入するのもおすすめです。

なお、どのくらいの排気速度を必要とするかは、以下の計算式で求められます。

ポンプの排気速度(L/min)=真空槽容積(L)/排気時間(min)×2.3 log初期圧力(Pa)/最終圧力(Pa)

ただし安全率を見込み、とくに配管が長い・細い・曲がりがあるなどの場合は注意が必要です。
設置スペースなども考慮し、用途に合った排気性能をもつポンプを選びましょう。

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【防爆・腐食性ガス・大流量】
現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選

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防爆エリア設置向け

アネスト岩田の
ISPシリーズ

ISP-250E

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/isp-250e)

  • 防爆モーター搭載のカスタマイズに対応(ポンプ本体は標準仕様のため可燃性ガスの吸気は不可)
  • 大気と真空の繰り返し運転に強いスクロール式構造で、大気付近での連続運転にも対応
  • JALエンジニアリングのFRP成形現場での導入事例あり
腐食性ガス吸引向け

樫山工業の
SDEシリーズ

SDEシリーズ

引用元:樫山工業公式HP
(https://www.kashiyama.com/pumps/product/sde/)

  • 塩素系を含む腐食性ガスの吸引に対応し、半導体や液晶製造装置のハードプロセスで使用
  • ポンプ構造材に耐食材料を採用、温度設定によるデポジット対策にも配慮した設計
  • CVD・スパッタ・蒸着・エッチング・ALDなど多様な半導体プロセスに対応
大流量プロセス向け

大晃機械工業の
SDVシリーズ

SDVシリーズ

引用元:大晃機械工業公式HP
(https://www.taiko-kk.com/jp/vacuum/sdv/)

  • スクリュー式において世界最低速運転を実現するクインビー式(Queen Bee Screw)スクリュー採用
  • SDV-100の電動機定格は50Hz時18.5kW/60Hz時22kWで、大型装置・プラントに対応
  • 化学・医薬/自動車・電子部品/その他産業の業界別ラインアップが整備されている
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接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
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