【防爆・腐食性ガス・大流量】
現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選
東製株式会社
引用元：東製株式会社公式HP（https://www.tohsei-co.com/）ここでは、スクリュー式ドライ真空ポンプを扱っている「東製株式会社」について紹介します。
ドライ真空ポンプの取扱製品例
引用元：東製株式会社公式HP（https://www.tohsei-co.com/vacuum/）スクリュー式ドライ真空ポンプ（高真空タイプ）
| 排気速度 | 1,100/2,500 L/min |
| 到達圧力 | 1.3/1 Pa |
| 騒音値 | 記載なし |
東製株式会社製ドライ真空ポンプの使用用途
医薬、医療、食品生産設備
医薬や医療、食品生産設備の分野において、蒸留や濃縮、精製や乾燥含侵などの用途で用いられています。
半導体プロセス
半導体の製造工程におけるエッチングやCVD、イオン注入、単結晶引き上げ装置などで東製株式会社のスクリュー式ドライ真空ポンプが用いられています。
ケミカルプロセス
東製株式会社のスクリュー式ドライ真空ポンプには化学物質や化合物を扱うケミカルプロセスにおける樹脂の脱泡や成形、重合反応、溶剤回収や撹拌・分離などの用途もあります。
その他各種装置
東製株式会社のスクリュー式ドライ真空ポンプは熱処理炉や真空鋳造などの用途にも対応しています。
スクロール式のドライ真空ポンプを使うメリットとは？
接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。
東製株式会社のドライ真空ポンプの特徴
使い方や操作方法をトレーニングしてくれる
東製株式会社では装置を納品した後に担当者が現地まで指導サポートを行っています。なお、ZOOMやメール、電話などでの指導には無料で対応しているため、安心して装置を導入できそうです。
装置の部品や消耗品交換が可能
装置にはシリンダーやパッキンなどの消耗品の交換タイミングをタッチパネル上でお知らせしてくれる機能がついています。部品や消耗品交換の際、要望があれば担当者が交換作業に来てくれるのも嬉しいポイントです。
不具合にはフローチャートに沿って対応
装置に不具合などのトラブルが生じた場合でも、東製株式会社のフローチャートに沿ってしっかりとフォローしてくれます。不具合発生から原因の調査を行い、対策を講じたうえで問題となっている装置に反映してくれます。
真空ポンプ用のフィルターの貸し出しが可能
東製株式会社では真空ポンプ用のフィルター（EVトラップ）の貸し出しを実施しています。ドライ真空ポンプにEVトラップを併用することで、真空ポンプのトラブル防止につながります。
東製株式会社の会社概要
| 社名 | 東製株式会社 |
| 所在地 | 千葉県習志野市茜浜一丁目12番4号 |
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防爆エリア設置向け アネスト岩田の |
引用元：アネスト岩田公式HP |
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腐食性ガス吸引向け
樫山工業の |
引用元：樫山工業公式HP |
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大流量プロセス向け
大晃機械工業の |
引用元：大晃機械工業公式HP |
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