ドライ真空ポンプの省エネ性能

ドライ真空ポンプはクリーンな環境を必要とする場で用いられることが多いですが、省エネ性能が高く、さらに環境改善に寄与できるタイプのものも提供されています。ドライ真空ポンプは24時間365日体制で使用されることもあり、工場にとっても省エネ効果はありがたいものとなるはずです。
このページでは、ドライ真空ポンプの省エネ性能について解説します。

ドライ真空ポンプの省エネ事情

ドライ真空ポンプは1日中、常に稼働していることも多く、省エネ性能の高さが求められていました。たとえば半導体工場では、工場全体で使用される電力の12~13%をドライ真空ポンプが占めています。そこで提供され始めたのが省エネ性能の高い製品です。

まずはインバーターが搭載されたドライ真空ポンプが現れましたが、その後もローターへの負荷を軽減するなどの工夫をこらした製品が、省エネ性能の高いドライ真空ポンプとして提供されています。中には圧縮動力を分散させるため、メインポンプのロータ形状にルーツ形を使用した製品も見られます。各社ともにさまざまな方法で、ドライ真空ポンプの省エネ性能を高めようと務めているのが現状です。

参照元:(PDF)JSTAGE「省電力ドライ真空ポンプへの置き換え提案」
(https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj2/55/9/55_11-PN-078/_pdf/-char/ja)

(PDF)JSTAGE「中重負荷向けドライ真空ポンプの省エネルギー化」
(https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj2/58/7/58_14-PN-069/_pdf/-char/ja)

省エネ性能の高いドライ真空ポンプの製品例

ドライ真空ポンプ省電力化アタッチメント ECO-SHOCK ES10

「ECO-SHOCK ES10」は、既存のドライ真空ポンプに取り付けることで省エネ性能を高めるアタッチメントです。消費電力を最大80%削減できるうえに、すべての圧力領域において排気速度が低くなることもありません。ドライ真空ポンプの省エネ性能は、特に連続運転時間が長い環境下で発揮されやすく、24時間365日体制で稼働しているドライ真空ポンプに適していると考えられます。

ER100D/ER100DC

同レベルのドライ真空ポンプと比較して、非常に高い省エネルギー性能を誇るとされるのが「ER100D/ER100DC」です。公式サイトによると、到達圧力時消費電力は400Wとされています。

参照元:株式会社大阪真空機器製作所
(https://www.osakavacuum.co.jp/products/detail0014.html)

よりクリーン環境を実現できる「ドライ真空ポンプ」

ドライ真空ポンプは半導体工場など、特定の環境下において常に連続運転していることが多いものです。工場の電力削減のためにも、環境のためにも、できる限り省エネ性能の高い製品を導入することが求められてきました。そしてその要求に応えるように、省エネ性能の高いドライ真空ポンプやアタッチメントが提供されています。よりクリーンな環境を目指すために、省エネ効果のあるドライ真空ポンプを導入してみてください。

オイル不使用・幅広く使えるスクロール型
ドライ真空ポンプメーカー3選

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食品製造向け

アネスト岩田の
DVSLシリーズ

DVSLシリーズ

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/dvsl-500e)

  • 排気経路内にベアリングが無いため、密閉性が向上し衛生面も安心
  • 真空状態でのネリが必要な製麺会社の要望に応えた実例あり
半導体製造向け

宇野澤組鐵工所の
KTSシリーズ

KTSシリーズ

引用元:宇野澤組鐵工所公式HP
(https://www.unozawa.co.jp/product/dry/)

  • 到達圧力:≦0.08Paという半導体製造に適した真空状態を実現
    ※KTS030-H(ECOタイプ)最大排気速度:500L/m、到達圧力:≦0.08Pa(2024/5/24時点)
  • スパッタリング装置、イオンプレーティング装置といった薄膜形成プロセスに対応
  • 水蒸気やミストといった小さな水滴もしっかり排出
製薬・化学品製造向け

東製のスクリュー式
ドライ真空ポンプ

スクリュー式ドライ真空ポンプ

引用元:東製HP
(https://www.dryvacuum-pump.com/wp/wp-content/uploads/anestiwata_dvsl-500e_image.png)

  • 化学反応、蒸留操作などに適した環境生成のため、さまざまな圧力領域に対応
  • 接ガス部は耐食性ガス対策のため、特殊コーティングすることにより錆から守る
  • 化学物質や粉塵の発生を考慮し、少ない部品で分解・組立・洗浄が可能
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
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