ドライ真空ポンプの省エネ性能

ドライ真空ポンプはクリーンな環境を必要とする場で用いられることが多いですが、省エネ性能が高く、さらに環境改善に寄与できるタイプのものも提供されています。ドライ真空ポンプは24時間365日体制で使用されることもあり、工場にとっても省エネ効果はありがたいものとなるはずです。
このページでは、ドライ真空ポンプの省エネ性能について解説します。

ドライ真空ポンプの省エネ事情

ドライ真空ポンプは1日中、常に稼働していることも多く、省エネ性能の高さが求められていました。たとえば半導体工場では、工場全体で使用される電力の12~13%をドライ真空ポンプが占めています。そこで提供され始めたのが省エネ性能の高い製品です。

まずはインバーターが搭載されたドライ真空ポンプが現れましたが、その後もローターへの負荷を軽減するなどの工夫をこらした製品が、省エネ性能の高いドライ真空ポンプとして提供されています。中には圧縮動力を分散させるため、メインポンプのロータ形状にルーツ形を使用した製品も見られます。各社ともにさまざまな方法で、ドライ真空ポンプの省エネ性能を高めようと務めているのが現状です。

参照元:(PDF)JSTAGE「省電力ドライ真空ポンプへの置き換え提案」
(https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj2/55/9/55_11-PN-078/_pdf/-char/ja)

(PDF)JSTAGE「中重負荷向けドライ真空ポンプの省エネルギー化」
(https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj2/58/7/58_14-PN-069/_pdf/-char/ja)

省エネ性能の高いドライ真空ポンプの製品例

ドライ真空ポンプ省電力化アタッチメント ECO-SHOCK ES10

「ECO-SHOCK ES10」は、既存のドライ真空ポンプに取り付けることで省エネ性能を高めるアタッチメントです。消費電力を最大80%削減できるうえに、すべての圧力領域において排気速度が低くなることもありません。ドライ真空ポンプの省エネ性能は、特に連続運転時間が長い環境下で発揮されやすく、24時間365日体制で稼働しているドライ真空ポンプに適していると考えられます。

ER100D/ER100DC

同レベルのドライ真空ポンプと比較して、非常に高い省エネルギー性能を誇るとされるのが「ER100D/ER100DC」です。公式サイトによると、到達圧力時消費電力は400Wとされています。

参照元:株式会社大阪真空機器製作所
(https://www.osakavacuum.co.jp/products/detail0014.html)

よりクリーン環境を実現できる「ドライ真空ポンプ」

ドライ真空ポンプは半導体工場など、特定の環境下において常に連続運転していることが多いものです。工場の電力削減のためにも、環境のためにも、できる限り省エネ性能の高い製品を導入することが求められてきました。そしてその要求に応えるように、省エネ性能の高いドライ真空ポンプやアタッチメントが提供されています。よりクリーンな環境を目指すために、省エネ効果のあるドライ真空ポンプを導入してみてください。

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現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選

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防爆エリア設置向け

アネスト岩田の
ISPシリーズ

ISP-250E

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/isp-250e)

  • 防爆モーター搭載のカスタマイズに対応(ポンプ本体は標準仕様のため可燃性ガスの吸気は不可)
  • 大気と真空の繰り返し運転に強いスクロール式構造で、大気付近での連続運転にも対応
  • JALエンジニアリングのFRP成形現場での導入事例あり
腐食性ガス吸引向け

樫山工業の
SDEシリーズ

SDEシリーズ

引用元:樫山工業公式HP
(https://www.kashiyama.com/pumps/product/sde/)

  • 塩素系を含む腐食性ガスの吸引に対応し、半導体や液晶製造装置のハードプロセスで使用
  • ポンプ構造材に耐食材料を採用、温度設定によるデポジット対策にも配慮した設計
  • CVD・スパッタ・蒸着・エッチング・ALDなど多様な半導体プロセスに対応
大流量プロセス向け

大晃機械工業の
SDVシリーズ

SDVシリーズ

引用元:大晃機械工業公式HP
(https://www.taiko-kk.com/jp/vacuum/sdv/)

  • スクリュー式において世界最低速運転を実現するクインビー式(Queen Bee Screw)スクリュー採用
  • SDV-100の電動機定格は50Hz時18.5kW/60Hz時22kWで、大型装置・プラントに対応
  • 化学・医薬/自動車・電子部品/その他産業の業界別ラインアップが整備されている
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接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
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