ドライ真空ポンプのサーマルプロテクタ

ドライ真空ポンプの中には、「サーマルプロテクタ」が搭載されているものがあります。サーマルプロテクタは、ドライ真空ポンプ自体の過熱を防ぎ、保護する役割を果たすものです。
このページではドライ真空ポンプにおけるサーマルプロテクタの役割や、具体的な製品例についてご紹介します。

ドライ真空ポンプのサーマルプロテクタとは?

ドライ真空ポンプにサーマルプロテクタがついている理由

ドライ真空ポンプにサーマルプロテクタがついているのは、加熱からポンプを保護するためです。ドライ真空ポンプの温度が高くなりすぎると感知して、自動的に温度を下げてくれる役割を果たします。

加熱が過剰になると発火の恐れもあるドライ真空ポンプ。サーマルプロテクタがついていることにより、利用する際のリスクが軽減されます。

サーマルプロテクタの仕組み

自動的に温度を下げてくれるサーマルプロテクタの仕組みを、不思議に思われる方がいるかもしれません。サーマルプロテクタはドライ真空ポンプにおける、モーター巻線温度を計測します。

モーター巻線温度が一定以上になると、接しているところが自動的に切られます。するとモーターが停止する仕様になっていて、強制的にドライ真空ポンプの過熱を防ぐ仕組みです。

サーマルプロテクタ内臓ドライ真空ポンプの製品事例

【ULVAC】ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-100

ULVACのダイヤフラム型ドライ真空ポンプは、サーマルプロテクタを内蔵した高真空タイプ・3段階排気方式の製品です。シンプルな構造でメンテナンスが簡単なことが特徴であり、ターボ分子ポンプの補助として活用することもできます。

【ULVAC】ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DTC-41

こちらもULVACの製品です。「DAU-100」との違いは、「DTC-41」はケミカルタイプであること、排気方式が2段階であること。有機溶剤や腐食性ガスの吸引に適した製品であり、大気圧からの作動が可能である。

【SIBATA】ドライ真空ポンプRocker300

オイルレスであるためメンテナンスが不要で、小型であることから使い勝手が良いのが「ドライ真空ポンプRocker300」です。持ち手つきで、携帯性にも優れるため現場を問わずに利用できます。サーマルプロテクタ内蔵であることに加え、吸引口にはフィルターカートリッジを装備し、真空レギュレーターもついている製品です。

過熱保護性能を上げるならサーマルプロテクタ内臓のドライ真空ポンプを検討しよう

ドライ真空ポンプにおけるサーマルプロテクタは、本体が過熱しないように調整する役割を担っています。一定の温度以上になると接する点を切断し、本体の温度を適切に保ってくれる重要な存在です。ドライ真空ポンプを取り扱っている各社からも、サーマルプロテクタ内臓の製品が数々提供されています。

しかしドライ真空ポンプ選びのポイントは、サーマルプロテクタが内蔵されているかどうかだけに限られません。性能やメーカーの対応力も必要です。またドライ真空ポンプにはさまざまなタイプがあるため、種類ごとの特徴を把握することも大切となります。

以下のページではドライ真空ポンプ選びに役立つ情報を掲載しています。どの製品を選ぶべきなのか迷っている方は、以下のページの内容を参考にして、自社に適したものを選んでください。

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【防爆・腐食性ガス・大流量】
現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選

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防爆エリア設置向け

アネスト岩田の
ISPシリーズ

ISP-250E

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/isp-250e)

  • 防爆モーター搭載のカスタマイズに対応(ポンプ本体は標準仕様のため可燃性ガスの吸気は不可)
  • 大気と真空の繰り返し運転に強いスクロール式構造で、大気付近での連続運転にも対応
  • JALエンジニアリングのFRP成形現場での導入事例あり
腐食性ガス吸引向け

樫山工業の
SDEシリーズ

SDEシリーズ

引用元:樫山工業公式HP
(https://www.kashiyama.com/pumps/product/sde/)

  • 塩素系を含む腐食性ガスの吸引に対応し、半導体や液晶製造装置のハードプロセスで使用
  • ポンプ構造材に耐食材料を採用、温度設定によるデポジット対策にも配慮した設計
  • CVD・スパッタ・蒸着・エッチング・ALDなど多様な半導体プロセスに対応
大流量プロセス向け

大晃機械工業の
SDVシリーズ

SDVシリーズ

引用元:大晃機械工業公式HP
(https://www.taiko-kk.com/jp/vacuum/sdv/)

  • スクリュー式において世界最低速運転を実現するクインビー式(Queen Bee Screw)スクリュー採用
  • SDV-100の電動機定格は50Hz時18.5kW/60Hz時22kWで、大型装置・プラントに対応
  • 化学・医薬/自動車・電子部品/その他産業の業界別ラインアップが整備されている
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。