ここでは、ドライ真空ポンプを扱っている大晃機械工業について、製品例や特徴をまとめています。
ルーツ型・TSS-V
排気速度 | 0.09~0.65m³/min |
到達圧力 | to -34.3kPa |
騒音値 | 記載なし |
半導体・液晶・電池産業での用途
半導体業界や液晶業界での用途としては、真空中でプラズマ等を利用して半導体表面に薄膜を作る「薄膜形成装置」、真空中で蝕刻加工する「エッチング装置」、真空中でレジストを除去する「アッシング装置」、真空中で感光剤の塗布と現像を行う「コーターデベロッパー」、「シリコン単結晶引上炉」などに使用されています。
また、電池産業では、「リチウムイオン電池」などに使用されています。
化学・医薬産業での用途
化学業界や医薬品業界での用途としては、「真空乾燥」、「真空凍結乾燥」、「真空蒸留」、「真空脱泡」、「真空滅菌」、「ガス回収」などのほか、吸着材のガスに対する吸着特性の違いを利用して加圧と減圧を交互に繰り返しながら、目的とするガスを連続的に分離する「PSA(圧力変動吸着)装置」などに使用されています。
自動車・電子部品・その他産業での用途
自動車業界や電子部品業界での用途としては、真空中で超音波を使って洗浄する「真空洗浄」などのほか、高温熱処理が可能になる「真空熱処理炉」などに使用されています。
また、その他の産業業界での用途としては、「真空成形」、「真空包装」、「真空含侵」、「真空搬送」などがあり、また、「多目的真空源」として使用されています。
接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。
高効率・ケミカル対応・シンプル構造のスクリュー式
大晃機械工業のスクリュー式ドライ真空ポンプは、スクリューひとつひとつが大きなかぎ爪状で空間が広く、異物を搔き出しやすくなっています。吸気から排気まで、非接触で単段圧縮を行うため、気体に含まれるパウダーやミストなどを効率良く排気できます。接ガス部にフッ素樹脂コーティングを施工しているので耐食性もあり、部品点数が少ないシンプル構造で、分解・組立が容易です。
長寿命・低騒音・低振動のスクリュー形状
大晃機械工業のスクリュー式ドライ真空ポンプ(SDV-R)のスクリューは、大きなかぎ爪状という独自の形状(Queen Bee Screw)をしており、スクリュー式のドライ真空ポンプの中でも低速なものとなっています。
通常の回転数は8000〜10000回転/分のところ3500回転/分と半分以下の回転数であるため、「長寿命(軸受・軸シール・タイミングギア)・低騒音・低振動」という特徴があります。
効率のよい仕事ができるロータ
大晃機械工業のスクリュー式ドライ真空ポンプ(MDP)は、Queen Bee ScrewにecoVPロータをプラスした機構です。ecoVPロータは、吐き出し口に向かって狭くなる構造になっていて、ロータとケース間は独立した空間になっています。徐々に狭くなることで連続圧縮が可能となり、最後に圧縮する従来のロータよりも、効率よく仕事を行えます。
社名 | 大晃機械工業株式会社 |
所在地 | 山口県熊毛郡田布施町大字下田布施209-1 |