回転翼型(ベーン型)ドライ真空ポンプ

回転翼型ドライ真空ポンプは、低真空の領域において大きな排気速度を得ることができる装置です。そのため吸着や搬送機械を真空状態にするための装置として様々な業界で利用されています。ここでは回転翼型ドライ真空ポンプのメカニズムや構造、おすすめの使用用途、活用する上でのメリットなどを紹介していくので参考にしてください。

回転翼型(ベーン型)ドライ真空ポンプの構造・原理

ドライ真空ポンプではローターが回転することによって、遠心力でベーンが外側にスライドする仕組みです。シリンダと接しながら、回転していきます。ベーンとローター、シリンダで包まれている空間は、ローターが回転することで吸気する隙間から吸引されたガスを圧縮し、排気口から排気する仕組みです。

低真空領域でも一定の排気速度が得られる
回転翼型ドライ真空ポンプは比較的シンプルな構造になっており、到達する圧力は決して高くありません。ただ低真空領域で排気速度が獲得できるという強みがあり、吸着・搬送の機器を真空状態にするための装置として幅広く活用されています。

空気の逆流が起こりやすい
回転翼型ドライ真空ポンプは完全オイルフリーになっている場合、シリンダとローターの間にスペースができてしまいます。そのため、その隙間から空気が漏れてしまうことは否めません。そのため多翼ベーンにすることで、逆流をなるべく防げる構造にしています。

発熱・粉への注意
回転翼ドライ真空ポンプは常にベーンとシリンダが滑りながら動いているので、摩擦による熱が発生しやすくなります。そのため熱を冷却しなければなりません。またベーンが接触により削れて粉末が発生しやすくなるデメリットも。決して多い量ではありませんが、湿度が高い場合は粉末の粘性が強くなり、隙間に詰まってトラブルになることもあるので注意が必要です。

向いている使用用途

一般的に食品機械業界・電子電機業界・印刷機器業界・歯科業界・産業機械業界・包装機械業界・半導体業界の真空源(吸着・吸引)などで使用されています。汎用性の高さから多種多様な業界で活躍することができ、使い勝手のいい真空ポンプと言えるでしょう。

完全オイルフリーのドライ真空ポンプを使用するメリット

多くは多翼ベーンで逆流を予防するような構造になっているため、低真空領域において大きな排気速度を得られるでしょう。ただしオイルを活用しないタイプの真空ポンプの場合、どうしてもシリンダとローターの隙間から空気が逆流しやすくなるため稼働時には注意が必要です。

しかし、スクロール型の真空ポンプのように、真空状態をキープできるタイプであれば、デメリットが少なく、環境性能の向上や交換時の排気費用といった良さがあります。

用途や使用環境に合わせて、一番適しているタイプを選ぶことが大切です。このサイトではいろいろなドライ真空ポンプを紹介しているので、参考にしてみてください。

ベーン型ドライ真空ポンプを扱っているメーカー

アネスト岩田

低真空タイプから高真空タイプまで幅広くラインアップしているアネスト岩田。カスタマイズ性も重視しており、ニーズに合った製品を導入可能です。
ベーン型真空ポンプでは「BDLシリーズ」を開発しており、新設計の高耐久ベーンを採用。ベーン交換サイクルの延長に成功しています。そのため、ライフサイクルコストを削減できるのが魅力です。

オリオン機械

全国各地に販売拠点のあるオリオン機械。メンテナンスや保証体制も充実させているため、導入後も安心して運用できます。
ベーン型真空ポンプでは「KRFシリーズ」を開発しており、低運転音・長寿命を実現。小型の「KRF小型シリーズ」や「KM41A」、大型の「KRF大型シリーズ」、高真空の「「KHAシリーズ」「KHH251」などもラインアップしています。

Busch Vacuum Solutions(日本ブッシュ)

真空ポンプや高真空ポンプの製造に50年以上の実績をもつ会社です。低真空から高真空まで幅広く取り扱っており、ベーン型真空ポンプでは「R5シリーズ」を開発。堅牢性と機能性に自信があり、真空包装などの用途で広く導入されています。2段式オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ「ZEBRA」やワンススルーオイル式ロータリーベーン真空ポンプ「HUCKEPACK」もラインアップ。

ベッカーエアーテクノ

ドイツで創業し、130年以上の歴史をもつベッカーエアーテクノ。日本では東京や茨城、大阪、広島に拠点があります。ベーン型ドライポンプでは「VTシリーズ」や「KVTシリーズ」、「VTLFシリーズ」などをラインアップ。修理やサポートも実施しているため、トラブル時にもスピーディに対応してくれます。

オイル不使用・幅広く使えるスクロール型
ドライ真空ポンプメーカー3選

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食品製造向け

アネスト岩田の
DVSLシリーズ

DVSLシリーズ

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/dvsl-500e)

  • 排気経路内にベアリングが無いため、密閉性が向上し衛生面も安心
  • 真空状態でのネリが必要な製麺会社の要望に応えた実例あり
半導体製造向け

宇野澤組鐵工所の
KTSシリーズ

KTSシリーズ

引用元:宇野澤組鐵工所公式HP
(https://www.unozawa.co.jp/product/dry/)

  • 到達圧力:≦0.08Paという半導体製造に適した真空状態を実現
    ※KTS030-H(ECOタイプ)最大排気速度:500L/m、到達圧力:≦0.08Pa(2024/5/24時点)
  • スパッタリング装置、イオンプレーティング装置といった薄膜形成プロセスに対応
  • 水蒸気やミストといった小さな水滴もしっかり排出
製薬・化学品製造向け

東製のスクリュー式
ドライ真空ポンプ

スクリュー式ドライ真空ポンプ

引用元:東製HP
(https://www.dryvacuum-pump.com/wp/wp-content/uploads/anestiwata_dvsl-500e_image.png)

  • 化学反応、蒸留操作などに適した環境生成のため、さまざまな圧力領域に対応
  • 接ガス部は耐食性ガス対策のため、特殊コーティングすることにより錆から守る
  • 化学物質や粉塵の発生を考慮し、少ない部品で分解・組立・洗浄が可能
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。