Pfeiffer Vacuum(伯東株式会社)

伯東株式会社公式HPキャプチャ 引用元:伯東株式会社公式HP(https://www.hakuto-vacuum.jp/)

ここでは、ドライ真空ポンプを扱っているPfeiffer Vacuum(伯東株式会社)について、製品例や特徴をまとめています。

ドライ真空ポンプの取扱製品例

 Pfeiffer Vacuum_ドライ真空ポンプ製品画像 引用元:伯東株式会社公式HP(https://www.hakuto-vacuum.jp/pfeiffer_vacuum/pdf/DryPump/MVP010-3DC.pdf)

ダイアフラムポンプ MVP010-3DC

排気速度
(50/60Hz)
10(24VDC)m3/h
到達圧力 1100hPa
騒音値 50dB(A)以上

Pfeiffer Vacuum(伯東株式会社)製ドライ真空ポンプの使用用途

産業機器製造

潤滑油を使用していないオイルフリー仕様のため、基本的にクリーンな真空を確保することができます。オイルによる内容物の汚染を気にする必要もないので、幅広い用途での使用が可能です。

分析装置・実験

低振動・低騒音タイプのドライ真空ポンプとしてつくられており、操作時の音がそこまで大きくなりにくいのが特徴。振動が少ないことから分析装置や実験にも使用できます。少しでも振動や音を抑えたいところで使いたい場合に適した真空ポンプです。

半導体製造・成膜製造

ダイアフラム式の真空ポンプは、分析装置・半導体製造装置・成膜製造装置(PVD、CVD)・R&D研究開発用真空装置・産業機器製造装置などの用途で活用されています。複数の国で使える仕様の電源装置で製作されているため、もし国外の工場で使用する場合も安心です。

スクロール式のドライ真空ポンプを使うメリットとは?

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプなら、
使用環境、使用用途などが制限されにくく、さらにメンテナンスの頻度が少なくて済むなどのメリットがあります。

Pfeiffer Vacuum(伯東株式会社)のドライ真空ポンプの特徴

ドイツに本社を構える老舗メーカー

Pfeiffer Vacuum(伯東株式会社)は、ドイツに本社を構えており、1890年から真空機器・真空計測機器・真空分析機器の開発・製造を担っている企業です。また世界初のターボポンプを開発した企業としても有名で、真空ポンプの分野ではリーダー的な役割を担っているようです。世界各国で半導体・コーティングなど多種多様な企業へ真空製品を提案し続けています。2012年より伯東株式会社を総代理店とし、アディクセン製品も含めて日本国内での販売とサービスに対応しています。

用途に応じた最適な真空ポンプを提案

真空ポンプは、ダイフラム式・スクリュー式・スクロール式・ルーツ式など様々なタイプがあり、それぞれに特徴が異なってきます。そのため、それぞれの用途をヒアリングし、シーンごとに適した真空ポンプを提案。真空ポンプを取り扱うプロフェッショナルとして、専門的な視点で考え、ベストなプランを提示してくれるでしょう。

トータルソリューションで提案

伯東株式会社は真空ポンプだけでなく、真空計や質量分析計、リークディテクター、機構部品、チャンバーまで、様々な商品を取り揃えています。真空コンポーネントが充実しているため、単に真空ポンプを提供するのではなく、トータルソリューションで提案を行ってくれるでしょう。ワンストップでの対応は企業にとっても相談がしやすいなどのメリットがあります。企業の利益を追求したサポートを行ってくれるのが強みです。

Pfeiffer Vacuum(伯東株式会社)の会社概要

社名 伯東株式会社
所在地 東京都新宿区新宿一丁目1番13号
【防爆・腐食性ガス・大流量】
現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選

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防爆エリア設置向け

アネスト岩田の
ISPシリーズ

ISP-250E

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/isp-250e)

  • 防爆モーター搭載のカスタマイズに対応(ポンプ本体は標準仕様のため可燃性ガスの吸気は不可)
  • 大気と真空の繰り返し運転に強いスクロール式構造で、大気付近での連続運転にも対応
  • JALエンジニアリングのFRP成形現場での導入事例あり
腐食性ガス吸引向け

樫山工業の
SDEシリーズ

SDEシリーズ

引用元:樫山工業公式HP
(https://www.kashiyama.com/pumps/product/sde/)

  • 塩素系を含む腐食性ガスの吸引に対応し、半導体や液晶製造装置のハードプロセスで使用
  • ポンプ構造材に耐食材料を採用、温度設定によるデポジット対策にも配慮した設計
  • CVD・スパッタ・蒸着・エッチング・ALDなど多様な半導体プロセスに対応
大流量プロセス向け

大晃機械工業の
SDVシリーズ

SDVシリーズ

引用元:大晃機械工業公式HP
(https://www.taiko-kk.com/jp/vacuum/sdv/)

  • スクリュー式において世界最低速運転を実現するクインビー式(Queen Bee Screw)スクリュー採用
  • SDV-100の電動機定格は50Hz時18.5kW/60Hz時22kWで、大型装置・プラントに対応
  • 化学・医薬/自動車・電子部品/その他産業の業界別ラインアップが整備されている
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。