高速排気対応のドライ真空ポンプ

製造業における生産性向上の要求は年々高まっており、真空装置を使用した製造プロセスの高速化が不可欠となっています。
この需要に応えるため、高速排気が可能なドライ真空ポンプの重要性が高くなっており、製造効率を大幅に向上させる鍵となっていますが、高速排気を実現するには課題も存在しました。

排気速度を上げると電力消費が増加し、一方で省電力化を優先すると排気時間が長くなってしまうのが大きな課題。環境への配慮から省エネ性も同時に求められる中、この相反する要求のバランスを取りながら、効果を上げることが重要な技術的テーマとなっています。

排気時間の短縮と省電力化を両立した製品が開発され、ドライ真空ポンプの利用がより手軽になった点が特徴です。装置の大きさや使用条件、用途に適したドライ真空ポンプを選ぶことで、効率的な運用と生産性向上が期待できます。

組み合わせにより大排気量化が可能で、ウエハーやFPDの大口径化にも対応できる製品例です。大気側排気速度を確保することで、高速排気によるタクトタイムが短縮されました。海外規格対応や溶剤排気仕様についても相談可能です。

参照元：株式会社アールデック公式HP
（https://rdec.co.jp/update/3591）

水素などの軽ガス排気に適した製品事例です。大型チャンバの高速排気に適したモデルもあり、必要に応じて選べるのが特徴です。また、大流量軽ガス排気用途に適したモデルはコンパクト設計であり、耐腐食性材料オプションが選択できます。さらに、静音・低振動を特徴とした大排気量の大型モデルでは、有機溶剤排気用オプションの選択が可能です。

特定化学物質を吸着できる性能があり、高速排気によって生産効率の向上が期待されるため、研究設備などでの利用に適しています。

参照元：荏原製作所公式HP
（https://www.ebara.co.jp/products/details/ESA.html）

異なる排気速度に対応した製品が用意されています。空気排気や窒素排気などのクリーンプロセス向けの低消費電力仕様から、水蒸気や揮発性薬液排気といったライトプロセス向けに表面処理を施した製品があります。

また、大量生産を行う装置において、ドライ真空ポンプの排気に時間がかかってしまうとその分電力も必要になり、ランニングコストが高くなってしまいます。

しかし、高速排気と低電力を両立させることで、生産効率の向上とコスト削減が期待できます。

参照元：株式会社アルバック公式HP
（https://showcase.ulvac.co.jp/ja/solution/technology/tj-82-ls-series.html）

本記事では、高速排気対応ドライ真空ポンプについて解説しました。高速排気対応ドライ真空ポンプを使用することで、排気量が増加し、生産効率の向上が見込まれます。高速排気対応ドライ真空ポンプにもさまざまな製品があるため、自社に合った製品を選ぶことが大切です。

また、低電力との両立により、従来品と比べて電力を抑えられるため、ランニングコストの削減が期待できます。生産時間の短縮を目指す場合は、高速排気対応ドライ真空ポンプの導入を検討してみてはいかがでしょうか。

以下の記事では、ドライ真空ポンプについて解説しているので、ぜひ参考にしてみてください。