ドライ真空ポンプのオプション

本体以外のオプションとは?

ドライ真空ポンプには、本体以外のオプションのほかに外部オプションを付けることが可能です。オプション機器にはサイレンサーをはじめ、パージバルブや吸込真空フィルタなどがあります。メーカーや製品によって付けられるオプションが異なる場合があるため、外部オプションの詳細については各メーカーにお問い合わせください。

オプションを付けることでより適した条件での操作が可能

あくまでもオプションのため、オプション機器をつけなくてもドライ真空ポンプの動作に問題はありません。ただ、オプション機器を付けることでドライ真空ポンプの標準仕様にはない性能を補え、自社により適した条件での操作が可能になります。導入するドライ真空ポンプをより快適な状態または設定条件に近づけたいのであれば、オプション機器の活用がおすすめです。

どのオプションを付ければいいのか分からないという場合は、オプションを含めて自社に合った製品を提案してくれるメーカーを選ぶと良いでしょう。

オプション機器の種類

サイレンサー

真空ポンプは容量が大きいものほど稼働音や外に漏れる音が大きくなります。真空ポンプの排気音対策としては、サイレンサーが有効です。

サイレンサーはドライ真空ポンプの排気音を低減できるオプション機器で、優れた消音効果を持っているのが特徴。ドライ真空ポンプの騒音源に近い排気口にクランプで接続することが可能です。真空ポンプの初動時や稼働時の騒音を抑えたい場合に検討したいオプション機器です。

パージバルブ

パージバルブは、ボンベと調整器の間に取り付けることで、調整器や配管内部に溜まった大気成分を追い出せるのが特徴です。高純度ガスの純度保持や腐食性ガスから調整器や配管・機器などを保護する役割を担っています。また、ボンベ交換時に、大気中に漏れる危険性のあるガスを未然にパージすることも可能です。

逆止弁付きのパージバルブの場合、ストップバルブを万が一閉じ忘れたとしても、逆止弁によってバージラインにガスが流れ込むのを抑えられます。

吸込真空フィルタ

真空吸込フィルタは、真空ポンプの吸気口に取り付けることで、ゴミや粉じんの吸入を防ぐオプション機器です。粉じんによるトラブルの減少やメンテナンス周期・保守費用の安定化を実現することが可能。ゴミや粉じんの吸入が考えられる環境下では、真空吸込フィルタのような防止手段を検討する必要があります。

より限定した条件下で使用するならオプション機器を導入すべき

ドライ真空ポンプの使用条件にこだわらない場合は、オプション機器の導入を検討する必要性はそこまでありません。ただ、研究分野など条件の再現が求められるような環境で使用するのであれば、限定した条件下に適したオプション機器の導入をおすすめします。ドライ真空ポンプの標準仕様のままでも自社の使用環境に適しているかを考え、必要に応じてオプション機器の導入を検討しましょう。

オイル不使用・幅広く使えるスクロール型
ドライ真空ポンプメーカー3選

▼横にスクロールできます▼

食品製造向け

アネスト岩田の
DVSLシリーズ

DVSLシリーズ

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/dvsl-500e)

  • 排気経路内にベアリングが無いため、密閉性が向上し衛生面も安心
  • 真空状態でのネリが必要な製麺会社の要望に応えた実例あり
半導体製造向け

宇野澤組鐵工所の
KTSシリーズ

KTSシリーズ

引用元:宇野澤組鐵工所公式HP
(https://www.unozawa.co.jp/product/dry/)

  • 到達圧力:≦0.08Paという半導体製造に適した真空状態を実現
    ※KTS030-H(ECOタイプ)最大排気速度:500L/m、到達圧力:≦0.08Pa(2024/5/24時点)
  • スパッタリング装置、イオンプレーティング装置といった薄膜形成プロセスに対応
  • 水蒸気やミストといった小さな水滴もしっかり排出
製薬・化学品製造向け

東製のスクリュー式
ドライ真空ポンプ

スクリュー式ドライ真空ポンプ

引用元:東製HP
(https://www.dryvacuum-pump.com/wp/wp-content/uploads/anestiwata_dvsl-500e_image.png)

  • 化学反応、蒸留操作などに適した環境生成のため、さまざまな圧力領域に対応
  • 接ガス部は耐食性ガス対策のため、特殊コーティングすることにより錆から守る
  • 化学物質や粉塵の発生を考慮し、少ない部品で分解・組立・洗浄が可能
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。