ドライ真空ポンプの国際規格

ここでは、ドライ真空ポンプの国際規格について解説するとともに、国際規格を取得した製品の事例を紹介しています。

ドライ真空ポンプの国際規格とは?

国際規格とは

ドライ真空ポンプの国際規格は、製品に関する国際的な取り決めを明文化したものです。簡単に説明すると、ドライ真空ポンプに適用する国際的なルールといえるでしょう。製品に関するルールを定めることを標準化といいます。このため、国際規格は「国際標準」と呼ばれる場合もあります。

国際規格の種類

ドライ真空ポンプに関する国際規格にはいくつかの種類があります。代表的な規格団体の一つが、ISO(International Organization for Standardization=国際標準化機構)です。この団体は、国際規格の制定をおもな目的としています。ISOは、ISO21360で真空ポンプの性能試験方法に関する規格を定めています。その他の国際規格の例は次のとおりです。

名称 概要
CEマーク ECで販売する製品が、EUの基準に適合していることを示す。安全性に関わる規格、環境性能に関わる規格が中心
TUV認証 製品の安全性、環境規制対応、機能の有効性などを検査、認証する
UL規格 UL(アメリカ保険業者安全試験所)が定める規格。安全性と機能に関する標準化を目的とする

参照元:日本規格協会グループ
(https://webdesk.jsa.or.jp/books/W11M0090/index/?bunsyo_id=ISO+21360-3%3A2019)

国際規格の目的

国際規格のおもな目的は、メーカー間の規格を統一することです。この取り組みにより以下のメリットを期待できます。

  • 利便性が高まる
  • 安全性が高まる
  • 互換性を保てる
  • 環境性能が高まる
  • 開発スピードがアップする

国際規格に従うことで、開発にかかる時間とコストを減らしたり、ユーザーの利便性を高めたりできます。また、国際市場にも参入しやすくなるでしょう。

国際規格を取得したドライ真空ポンプの製品事例

ULVAC:多段ルーツ型ドライ真空ポンプ「Model:CR」

CEマークとcTUVus(北米市場の安全規格)を取得したドライ真空ポンプです。油を使用しないため、長時間にわたり安定した排気を行えます。冷却水、窒素ガスを不要にしている点もポイントです。コストを抑えつつ運転できます。主な用途には、水蒸気やクリーンな気体の真空排気が含まれます。

参照元:ULVAC SHOWCASE
(https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/vacuum-pump/multi-stage-roots-type-dry-vacuum-pump/cr.html )

ULVAC:ダイアフラム型ドライ真空ポンプ「DAP-12S」

特定有害物質の使用を制限したRoHS指令に対応しているダイアフラム型ドライ真空ポンプです。複数の製品を用意しているため、用途に合わせて選択できます。おもな特徴は、シンプルな構造で扱いやすさを高めていることです。導入しやすい価格を目指している点もポイントといえるでしょう。

参照元:ULVACアルバック機工株式会社
(https://ulvac-kiko.com/product.php?action=detail&category=1&ID=DAP-12S)

ORION:モータ直結型高真空ドライポンプ「KHFシリーズ」

CEマークに対応したモータ直結型高真空ドライポンプです。「KHF08」「KHF14」「KHF20」を用意しています。到達圧力(8kPa以下)で連続運転を行える点が特徴です。流量は150~400L/minで設定されています。

参照元:ORION
(https://www.orionkikai.co.jp/product/vacuum-pump/dry/khf/)

安全性・信頼性の高いドライ真空ポンプを選択しよう!

ドライ真空ポンプには、ISOやCEなど、さまざまな国際規格があります。国際規格に適合することで、互換性を保てたり、安全性を高めたり、製造コストを抑えたりできます。国際規格に従うことは、メーカーにとっても、ユーザーにとっても、メリットのある取り組みといえるでしょう。

当サイトでは、ドライ真空ポンプの選び方、ドライ真空ポンプの型などを紹介しています。導入を検討している方は、以下の記事も参考にしてください。

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現場条件で選ぶドライ真空ポンプ3選

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防爆エリア設置向け

アネスト岩田の
ISPシリーズ

ISP-250E

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/isp-250e)

  • 防爆モーター搭載のカスタマイズに対応(ポンプ本体は標準仕様のため可燃性ガスの吸気は不可)
  • 大気と真空の繰り返し運転に強いスクロール式構造で、大気付近での連続運転にも対応
  • JALエンジニアリングのFRP成形現場での導入事例あり
腐食性ガス吸引向け

樫山工業の
SDEシリーズ

SDEシリーズ

引用元:樫山工業公式HP
(https://www.kashiyama.com/pumps/product/sde/)

  • 塩素系を含む腐食性ガスの吸引に対応し、半導体や液晶製造装置のハードプロセスで使用
  • ポンプ構造材に耐食材料を採用、温度設定によるデポジット対策にも配慮した設計
  • CVD・スパッタ・蒸着・エッチング・ALDなど多様な半導体プロセスに対応
大流量プロセス向け

大晃機械工業の
SDVシリーズ

SDVシリーズ

引用元:大晃機械工業公式HP
(https://www.taiko-kk.com/jp/vacuum/sdv/)

  • スクリュー式において世界最低速運転を実現するクインビー式(Queen Bee Screw)スクリュー採用
  • SDV-100の電動機定格は50Hz時18.5kW/60Hz時22kWで、大型装置・プラントに対応
  • 化学・医薬/自動車・電子部品/その他産業の業界別ラインアップが整備されている
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
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