【PR】メーカーにドライ真空ポンプの選び方を聞いてみた

真空ポンプの選定に必要なのは、大きく分けて2点。到達圧力と排気速度です。
高い真空度を必要とする装置には、ターボ分子ポンプなどの高真空用真空ポンプの粗びきとして、スクロール真空ポンプや、マルチルーツ真空ポンプなどが適しています。軽いものの吸着などであれば、高い真空度は必要ありませんので、「ドライベーン真空ポンプ」や「ダイアフラム真空ポンプ」で対応可能です。

各種類別の特長は下記の通りです。

• スクロール真空ポンプ
  小排気量から中排気量。真空度が優れておりオイル式真空ポンプの置き換えで使用できる。水分などの吸引にも比較的強い。シール材の定期交換が必要。
• ドライベーン真空ポンプ
  比較的安価で、小排気量から大排気量まで可能。構造的に真空度は悪く水分の吸引などには不向き。吸着搬送などに使用される。ベーンの定期交換が必要。
• ダイアフラム真空ポンプ
  比較的安価で構造的に小排気量の用途に向いている。ダイアフラムの定期交換が必要。
• ドライスクリュー真空ポンプ
  中排気量から大排気量。非接触型であり消耗部品が無い。構造的に小型化は難しい。単段圧縮の為、内部温度が高くなりやすい。
• ドライ多段ルーツ真空ポンプ
  中排気量から大排気量。非接触型であり消耗部品が無い。構造的に小型化は難しい。部品点数が多く、修理には専門の業者への依頼が必要。

また、各メーカーの製品にまつわるサービスも十分にチェックする必要があります。
装置開発にフィットするカスタマイズや、アフターフォロー体制についても、製品・会社選びの大きなポイントです。

近年は環境への配慮が進み、油潤滑式よりもクリーンな排気を可能とするドライ真空ポンプの使用が増えてきております。
今現在でも多くの真空ポンプは油潤滑式ですが、その中でもドライ真空ポンプを選ぶお客様が増えております。
アネスト岩田では、高い真空度を必要とする、研究施設などへのドライ真空ポンプの納入が多かったのですが、近年は一般産業で使用される産業機器の真空源としてのドライ真空ポンプの販売比率が増加傾向となっております。
用途としては、半導体製造装置向けなど、従来からドライ真空ポンプの要望の多い用途が多くの売り上げを占めておりますが、先述したように、電池関連製造設備など新たな産業への販売も増加傾向です。

ドライ真空ポンプ全体の需要は高まってきており、さらに幅広いニーズ・環境・用途に対応ができる汎用性の高い製品を作っていくことが、いまのメーカーには求められていると感じます。

アネスト岩田は1993年に世界で初めてドライスクロール真空ポンプを開発・発売し、発売当初からさまざまな業界から引き合いをいただき、納入させていただきました。
真空ポンプは用途によって吸い込んでくるガスなどが異なるため、用途別に向いているもの、向いていない物があることがわかり、スクロール真空ポンプがすべてに対応できるわけではないことも学びました。
当社としては、その経験を活かし、お客様の望む用途に適した真空ポンプを提案することを大切にしております。不具合が発生した場合には、詳しい用途・状況をヒアリングさせていただき、必要な場合にはカスタマイズを行い、お客様に適した真空ポンプを提供させていただきます。
弊社はECサイトも展開しておりますので、ぜひこちらもご利用ください。
真空ポンプ製品選びでお困りの方は、是非一度ご相談ください！