芝浦エレテック

真空ポンプやレーザ装置、マイクロ波装置などの製造販売を行っている芝浦エレテック。1972年の設立から40年以上の歴史をもっており、日本の各地に拠点を置いています。
真空ポンプでは小型・軽量・低騒音のピストンポンプや、粉塵の発生が少なく保守点検が容易なルーツポンプを扱っており、それぞれサイズや性能の異なる数種類を展開。さまざまな業界や用途で活用できます。

芝浦エレテックでは真空ポンプのメンテナンスサービスも行っています。ルーツポンプなど芝浦エレテック製の真空ポンプのほか、芝浦エレテック製以外の真空ポンプでも対応可能。九州地区や中部地区、関東地区、東北地区など近くのサービス拠点にて対応してくれます。

真空ポンプの装置改善も行っている芝浦エレテック。現在使用している真空ポンプを省エネ仕様に変更してくれます。装置改善前に省エネ効果を確認できるため、期待通りの効果を実感できるでしょう。
また、芝浦エレテックでは部品洗浄なども行っています。真空ポンプの分解洗浄が可能なため、導入した真空ポンプを長期間使用できるでしょう。各社半導体製造装置部品の精密洗浄やドライエッチング装置の反応生成物除去にも対応してくれます。

芝浦エレテックでは、中古装置・中古機器の買取・販売・仲介も行っています。新規の設備投資を抑えたい場合の中古装置の導入のほか、遊休設備をご要望の仕様に改修・再塗装し、機能を再生させるリニューアルにも対応。導入後は立ち上げから保守メンテナンス、保守パーツの安定供給まで対応してくれます。

製造工程にマッチした専用設計の装置製作から、研究用途向け、特殊量産仕様、オーダーメードまで幅広く対応しています。既存設備部品や手持ち部品の流用にも対応可能なため、真空排気系を含めた装置を用途や仕様に合わせて用意できます。

芝浦エレテックは、中古真空装置を活用した装置レンタルプログラム「SUP（SHIBAURA Used Equipment Rental Program）」を提供しています。新製品の立ち上げや新技術の確立にあたり、投資効果が見えにくい段階でも、リスクを抑えて装置を活用できる仕組みです。スパッタリング装置やエッチング装置などが対象で、量産設備としての継続利用や買取にも対応します。