水素排気に対応できるドライ真空ポンプ

油や水を使うことがなく、逆流の心配がない非接触型の真空ポンプが、水素排気対応のドライ真空ポンプです。オイルフリーでクリーンな真空を得られ、LEDや太陽電池、半導体などの製造工程に用いられています。

水素排気対応のドライ真空ポンプは、工業用や研究用として使用されていますが、粒子やオイル汚染が問題になる場面に最適なポンプです。水素などの軽ガス排気に適したモデルには、コンパクトで耐腐食性材料オプションが選択できるモデルもあります。大型モデルには、大量の水素を廃棄することが可能でありながら、静音・低振動を実現しているモデルもあります。

大排気容量のドライ真空ポンプです。電源電圧は、単相200Vと三相200Vのどちらかを選択できます。溶剤排気仕様や水素排気仕様といった排気タイプ、ノイズ低減仕様や排気ユニット型など、使い方に合わせて仕様を選べます。

参照元：株式会社アールデック
（https://ec.rdec.co.jp/item/2408-1.html ）

NeoDry Eシリーズは、6年に1度のメンテナンスサイクルを実現している点が特徴のドライ真空ポンプです。チップシールの交換や性能劣化などもありません。軽量かつコンパクトな仕様となっていて、真空乾燥や電極乾燥、真空脱泡、エバポレータ、ターボ分子ポンプのバックポンプなど幅広く使用できます。主に大学や研究所などで使用されていますが、ノイズの低減や溶剤排気仕様、水素排気仕様などを組み合わせるなら問い合わせをしてみてください。

参照元：樫山工業株式会社
（https://www.kashiyama.com/pumps/product/neodry/）

一口に多段ルーツ型ドライポンプといっても、空冷式 ACPシリーズやコンパクト A100L / A200L、産業用途 ACP120G / ACG600G、A3Pシリーズなど、さまざまな製品があります。腐食性ガスに強い構造になっている機器、低ノイズ・低振動を実現している機器、パージガスポートが装備されている機器などそれぞれに特徴があります。

その中でも、A4H シリーズのドライポンプは、半導体やコーティング産業の細かな要望に応えられる機器です。低温および高温の動作温度をカバーする温度管理機能、高いガススループットと改善された粉体耐性などを備えています。

選ぶ際には、安全性や安定性などにも留意することをおすすめします。

参照元：伯東株式会社
（https://www.hakuto-vacuum.jp/multi-stage-roots/）

ESA型は、製造元に相談の必要もなく、初めから水素などの軽ガス排気に対応している製品です。大型チャンバの高速排気に適した、排気性能のある製品がラインナップされているのもポイントです。コンパクトな設計になっているだけでなく、オプションで耐腐食性材料を選択できます。大排気量でありながら静音・低振動を実現しています。

参照元：株式会社荏原製作所
（https://www.ebara.co.jp/products/details/ESA.html）

この記事では、ドライ真空ポンプの中でも、水素排気に適したポンプを選びたいという人のために、いくつかの製品を紹介しました。以下のページでは、ドライ真空ポンプのタイプやメーカーなどを解説しています。ぜひ参考にしてみてください。