コーティングに適したドライ真空ポンプ

ドライ真空ポンプは油や液体を使わないため、金属やガラスなどへのコーティングにも適しています。このページでは、ドライ真空ポンプがコーティングに適している理由と製品の事例についてご紹介します。

コーティングにドライ真空ポンプが必要な理由とは?

薄膜コーティングは、真空状態でガラスや金属などの基板に薄膜を付着させる加工方法です。不純物が混入しない清潔な環境下でコーティングを実施する場合は、ドライ真空ポンプが役立ちます。

薄膜コーティングでは、対象の基板に薄膜を張り付けて一定の耐久性や機能性を付与します。コーティングの段階で不純物が含まれていると正しく薄膜の機能を付与できないため、ドライ真空ポンプを使った加工方法が適しています。

一例として、ソーラーパネルへの機能性コーティングでは真空ポンプによる薄膜コーティングが用いられています。太陽電池としての性能を付与するほか、耐摩耗性や反射防止などの機能付与に役立てられています。

コーティングに適したドライ真空ポンプの製品事例

拡散真空ポンプ

産業用の高真空用途に適した設計の、拡散真空ポンプです。ガラスコーティングや金属コーティング、物理蒸着や表面処理に用いることができます。

ターボ分子ポンプ

薄膜コーティング用のターボ分子ポンプです。環境に配慮した装置として、従来製品よりも排気速度を向上させたことで、高品質な成膜が行えるようになりました。

ドライスクリュ真空ポンプ

スパッタリング処理に適した真空ポンプです。粉塵ガスによる負荷の増加やショックベントに対応し、環境に配慮しながらスパッタリングが行えます。

産業用ドライスクリュ真空ポンプ

熱処理・冶金・コーティング・太陽光・乾燥とあらゆる用途に対応するドライスクリュ真空ポンプです。要件にあわせたカスタマイズ性を搭載し、長寿命化を施したモデルも揃っています。

コーティングに適したドライ真空ポンプを検討しよう!

コーティングでは、耐久性や反射防止などの機能を付加するために、ドライ真空ポンプが用いられています。メンテナンスがほぼ不要なものや長寿命なものなど、機器自体も高性能なものが揃っていますので、用途や環境に合う設備を選んでみてはいかがでしょうか。

当サイトでは、ドライ真空ポンプを導入する際に役立つポイントやメーカーの特徴を紹介しています。機器選びに迷っている方や、メーカーごとの強みをチェックしたい方は、ぜひ以下のページも参考にしてください。

オイル不使用・幅広く使えるスクロール型
ドライ真空ポンプメーカー3選

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食品製造向け

アネスト岩田の
DVSLシリーズ

DVSLシリーズ

引用元:アネスト岩田公式HP
(https://www.anest-iwata.co.jp/products-and-support/vacuum-equipment/dry-vacuum-pump/dvsl-500e)

  • 排気経路内にベアリングが無いため、密閉性が向上し衛生面も安心
  • 真空状態でのネリが必要な製麺会社の要望に応えた実例あり
半導体製造向け

宇野澤組鐵工所の
KTSシリーズ

KTSシリーズ

引用元:宇野澤組鐵工所公式HP
(https://www.unozawa.co.jp/product/dry/)

  • 到達圧力:≦0.08Paという半導体製造に適した真空状態を実現
    ※KTS030-H(ECOタイプ)最大排気速度:500L/m、到達圧力:≦0.08Pa(2024/5/24時点)
  • スパッタリング装置、イオンプレーティング装置といった薄膜形成プロセスに対応
  • 水蒸気やミストといった小さな水滴もしっかり排出
製薬・化学品製造向け

東製のスクリュー式
ドライ真空ポンプ

スクリュー式ドライ真空ポンプ

引用元:東製HP
(https://www.dryvacuum-pump.com/wp/wp-content/uploads/anestiwata_dvsl-500e_image.png)

  • 化学反応、蒸留操作などに適した環境生成のため、さまざまな圧力領域に対応
  • 接ガス部は耐食性ガス対策のため、特殊コーティングすることにより錆から守る
  • 化学物質や粉塵の発生を考慮し、少ない部品で分解・組立・洗浄が可能
さまざまな真空装置にフィットする スクロール型ドライ真空ポンプのメーカーに注目!

接ガス部だけでなく、各部にギアオイルなども使用していないスクロール型のドライ真空ポンプは、さまざまな使用環境に幅広く対応できるメリットをもっています。
このサイトでは、スクロール型の真空ポンプを扱っているメーカーを、サービスの多様さで比較しています。